【課題】ＦＩＢ装置に組み込んだ微小マニピュレータ部をその場でエッチング加工することで、従来困難であった１μｍ以下の微小物のハンドリングの確実性を高めるとともに、マニピュレータの再利用により作業効率やメンテナンス性を向上する。
【解決手段】微小マニピュレータ部を位置および向きを変えることのできる移動機構で保持することにより、マニピュレーション作業前にマニピュレータ先端部をＦＩＢ加工するとともに、作業中のマニピュレータ先端の汚染や破損があった場合でも、加工により再度使用可能な形状に再生する。 （もっと読む）

【課題】微小マニピュレータ自体の振動を軽減することで、微小な試料を確実に操作できる微小マニピュレータ、及びそれを備えた観察装置を提供する。
【解決手段】試料３００（４００）を把持するための対向する一対のアーム７１と、アームを支持するベース部１１と、ベース部に取り付けられてアームを開閉させる開閉アクチュエータ３５とを有するマニピュレータ部１００ａと、マニピュレータ部の変位を検出する変位検出部１１０ａ１、１１０ａ２と、ベース部と外部装置２００との間に取り付けられ、マニピュレータ部を試料に対して３次元移動させる移動機構１２０と、変位検出部によって検出された変位を打ち消すように、移動機構を制御する制御部１３０とを備えた微小マニピュレータである。 （もっと読む）

【課題】パラレルリンク型作業装置において、可動部に動力を伝達する動力伝達部のリンク等がベースの領域からはみ出ないようにする。
【解決手段】ベース４に扁平な回転型アクチュエータ６を３つ設ける。アクチュエータ６は、その回転出力軸がベース４に対して平行で、ベース４の中央に向き、かつベース４の中央から放射状に並ぶように配置、固定されている。各回転型アクチュエータ６の回転出力軸と可動部５とを平行リンク機構２１で構成される動力伝達部で連結する。３つの回転型アクチュエータ６を駆動して可動部５の位置を制御する。ベース４に設けられたエンドエフェクタ姿勢制御用のアクチュエータ７で回転動力伝達手段１５を介して可動部５に設けたエンドエフェクタ２０を回転させる。平行リンク機構２１はベース４の内側領域で移動することから、リンク等がベースの領域からはみ出ることはなく、安全が確保できる。 （もっと読む）

【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

【課題】汚れにくいナノピンセットの提供。
【解決手段】ナノピンセット１は、開閉自在な一対のアーム３と、アーム３の各々に形成された試料把持部３ａと、各アーム３の少なくとも試料把持部３ａを含む領域に形成された撥水性膜とを備えることを特徴とする。撥水性膜には、例えば、導電性を有する撥水性膜や化学吸着単分子膜が用いられる。 （もっと読む）

【課題】 微小試料の把持および解放を正確に行うことができるナノピンセット装置の提供。
【解決手段】 ナノピンセット１の静電アクチュエータ４ａ，４ｂを構成する固定電極５ａ，５ｂおよび可動電極６ａ，６ｂは、いずれも櫛歯形状を呈しており、相互に複数の櫛歯が噛み合うように対向配置されている。固定電極５ａ，５ｂは台座１０に固定され、アーム３ａ，３ｂおよび可動電極６ａ，６ｂは、支持部７ａ，７ｂおよびアーム支持部９ａ，９ｂにより弾性的に支持されている。記憶部４０ｂには、各アーム３ａ，３ｂの弾性特性に応じた電圧出力パターンが記憶されている。この電圧出力パターンに基づいて静電アクチュエータ４ａ，４ｂに駆動電圧を印加することにより、アーム３ａ，３ｂは左右対称に駆動される。 （もっと読む）

【課題】 微小物体を正確に把持したり解放したりすることができるナノピンセット装置を提供すること。
【解決手段】 ナノピンセット１の静電アクチュエータ４ａ，４ｂを構成する固定電極５ａ，５ｂおよび可動電極６ａ，６ｂは、いずれも櫛歯形状を呈しており、相互に複数の櫛歯が噛み合うように対向配置されている。固定電極５ａ，５ｂは台座１０に固定され、可動電極６ａ，６ｂは細いビーム状の支持部７によって台座１０に弾性的に固定されている。電源回路２により固定電極５ａ，５ｂと可動電極６ａ，６ｂとの間に直流電圧を印加すると、クーロン力により可動電極６ａ，６ｂが移動してアーム３を駆動する。ナノピンセット装置５０では、静電アクチュエータ４ａ，４ｂをロック状態とすることにより、微小物体を確実に把持することができる。 （もっと読む）

【課題】関節駆動機構を軽量かつ小型にして、人の手サイズであっても多自由度を有し複雑な動きをすることができるロボットハンドを提供することを課題とする。
【解決手段】 ロボットハンド指機構の関節部を駆動する駆動素子１３に、直動式アクチュエータを用いて、把持力を発生する方のアクチュエータ１３ｂの出力は大きく設定し、把持力に関係しない方のアクチュエータ１３ａは出力を小さく設定することで、ロボットハンドの軽量、小型化を実現する。 （もっと読む）

【課題】 試料が把持されたか否かを確実にかつ容易に確認することができ、試料を適切な状態で把持することができるナノグリッパ装置の提供。
【解決手段】 駆動部６には各アーム３を駆動するめの固定電極および可動電極が設けられている。固定電極６０ａおよび可動電極６１ａは左側のアーム３を駆動するものであり、可動電極６１ａは支持部６２により台座７に弾性支持されている。同様にアーム３も支持部６３により台座７に弾性支持されている。電極６０ａ，６１ａ間に電圧を印加すると、クーロン力により可動電極６１ａが右側に移動しアーム３を閉駆動する。検出回路９１Ａ，９１Ｂにより検出される電極６０ａ，６１ａ間の静電容量および電極６０ｂ，６１ｂ間の静電容量の変化に基づいて、試料が把持されたか否かを判断する。 （もっと読む）