【課題】占有空間の縮小を図りつつ、先端部を上下に直進運動させる多関節型ロボットを得ること。
【解決手段】多関節型ロボット５０は、第１回転軸１３ａで回転可能とされた第１アーム２１と、第１アームに沿って移動するスライド部６と、スライド部に第２回転軸１３ｂで連結された第１リンク部３と、第１リンク部に第３回転軸１３ｃで連結された第１先端部１０と、第１アームと第４回転軸１３ｄで連結され、第１リンク部に第５回転軸１３ｅで連結された第２リンク部４と、を備え、第２回転軸は、第１回転軸および第１アームの延びる方向と略垂直に設けられ、第４回転軸は、第２回転軸と第３回転軸との略中央に設けられ、第５回転軸は、スライド部の移動する延長線上に位置し、第４回転軸と第５回転軸との距離は、第２回転軸と第３回転軸との距離の略半分の距離とされ、第３，４，５回転軸は、第２回転軸と略平行に設けられる。 （もっと読む）

【課題】角速度センサーを用いて制振制御を行う水平多関節ロボットにおいて、該角速度センサーに接続される電気配線の耐久性を高めることの可能な水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット１０は、第２水平アーム１５に設置され基台１１に対する第１水平アーム１２の角速度を得るための角速度センサー３０を備え、第１水平アーム１２の角速度に基づく第１モーター１３の駆動によって第１水平アーム１２を制振する。ロボット１０は、基台１１と第２水平アーム１５とに端部が連結されるとともに、第１水平アーム１２の外側、且つ第２水平アーム１５の外側に配設されて、基台１１内と第２水平アーム１５内とに通じる通路を有する配線ダクト３３に、第２水平アーム１５に内蔵された第２モーター１６に接続される電気配線３５と、角速度センサー３０に接続される電気配線３６とが引き回されている。 （もっと読む）

【課題】制振制御に用いられる角速度センサーの数を低減するとともに該角速度センサーに接続される電気配線に要求される耐久性を低くした水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットは、基台に連結される第１水平アームと、第１水平アームを介して前記基台に連結される第２水平アーム１５と、各アームを回転させる第１及び第２モーター１３，１６と、各モーターの回転角度及び回転速度を算出するための第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅとを有している。第１モーター制御部４３は、角速度センサー３０が検出したセンサー角速度ωＡ２から第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅに基づく第１及び第２角速度ωＡ１ｍ，ωＡ２ｍを減算し、演算結果である振動角速度ωＡ１ｓに基づく振動速度Ｖ１ｓと第１回転速度Ｖ１ｆｂとの加算した速度計測値が速度指令Ｖｃとなるように第１モーター１３を制御する。 （もっと読む）

【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第１軸線周りに回転可能に構成された第１リンク部材と、第１軸線に対して所定距離に位置する第２軸線周りに回転可能に構成された第２リンク部材と、第２軸線に対して所定距離に位置する第３軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第１リンク部材、第２リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第１リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 （もっと読む）

【課題】アームの旋回位置によってアーム先端部における重力方向の変位差が生じ得るという不具合や、昇降部の上昇時に基台本体部の内部空間の埃等が舞い上がって基台の外部に放出され得るという不具合を抑制・防止可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】起立壁３３に正対した場合に、シータ軸Ｊ及び昇降軸（ネジ軸６１）の各軸心Ｊｃ，６１ｃを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃと一致させ、且つ、昇降部４を最下降させた状態で基台本体部３の内部空間で起立壁３３の高さ方向中間点３３ｈより下方に存在する部品、すなわち昇降駆動用モータ７、リニアガイド部８（ガイドレール８１）、可動部６２（可動部６２を構成するナット体６２１、ナット保持体６２２、被ガイド体６２３）、排気口９に付帯させたファンを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃを中心に左右対称となるように配置した。 （もっと読む）

【課題】座標系を設定した後にその座標系の設定に用いた基準位置データが消失した場合にも、容易にその座標系を再現することを可能にする。
【解決手段】制御装置１０が、基準位置データを記憶するための基準値記憶部１０ａと、制御対象の所定の運動軸を所定の位置に変位させた状態で位置の検出を行うことにより位置データを取得しそれを保存する基準取得部（第１基準取得部１２ａ、第２基準取得部１３ａ）と、上記位置データと基準位置データとに基づいて座標系を設定する第１座標系設定部１２と、基準位置データに対する位置データの相対データを取得しそれを保存する相対値取得部（第１座標系設定部１２）と、基準位置データが消失したか否かを判断する判断部１３ｃと、基準位置データが消失したと判断された場合に、上記検出により位置データを取得し、その位置データと上記相対データとに基づいて、座標系を再現する第２座標系設定部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材７とを備えている。柱状部材７は、支持部材６を保持する柱部１８と、柱部１８を保持する柱部１７とを備えている。柱部１７、１８は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持し、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。 （もっと読む）

【課題】可動部を高速移動できるようにする。
【解決手段】ベース部１０と可動部５との間の距離が変化しても、伸縮リンク機構により構成された伝達機構７が伸縮して距離の変化に対応しつつ、電動機２ｄの回転運動を回転部８に伝達することができる。伸縮リンク機構として構成した伝達機構７は軽量なカーボン製とすることができるため、伝達機構７を軽量化でき、その結果、可動部５を高速動作させることが可能な多自由度移動体１を実現できる。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 より大きな駆動源、直動ガイド能力を必要とせず、小型化が可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板搬送装置は、第１駆動軸と、第１駆動軸に一端が連結されたアーム部と、基板を保持することが可能な基板保持部と、アーム部の他端と基板保持部を連結する連結部と、を有する。連結部は、アーム部に対して基板保持部を回転可能に支持する回転支持部と、回転支持部によって基板保持部が回転する回転軸の方向に、アーム部に対して基板保持部を上昇させ、または、降下移動させる移動部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ライナーのピッチを設備の段替え作業や段替え交換後の調整等を必要とすることなく簡単に変更できるようにする。
【解決手段】ハンド本体２に、筒状のライナー５を挿入保持可能なチャックユニット３１を、所定のピッチで複数並設したハンド装置１において、ハンド本体２に、チャックユニット３１を並設方向へそれぞれ直線移動可能に設けるスライド機構１０と、チャックユニット３１を所定の位置に位置決めする位置決め機構１５とを設け、この位置決め機構１５を、並設方向に配置されて、並設方向での中心を境にして互いに逆向きとなるネジ部１６，１６を有し、このネジ部１６に螺合させた一対のナット部１８にチャックユニット３１をそれぞれ連結したボールネジ１７で形成して、ボールネジ１７の回転により、ナット部１８と共にチャックユニット３１を同時に相反方向へ直線移動させて、ピッチを変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】ライナー径を変更しても、設備の段替え作業や段替え交換後の調整等を必要とすることなく簡単に変更できるハンド装置及び多関節ロボットを提供する。
【解決手段】
ハンド本体２に、筒状のライナー５を挿入保持可能なチャックユニット３１を、所定のピッチで複数並設したハンド装置であって、チャックユニット３１に、ライナー５の挿入保持位置に対してライナー５の半径方向へ移動可能で、ライナー中心側への移動によってライナー５の端部を外側からクランプする複数のスライドプレート３４を設けて、このスライドプレート３４におけるライナー５の端部との当接部位を、ライナー５の端部外周面に当接するクランプ３５と、ライナー５の軸方向の端面に当接する円形凸部３５ａとからなる段部形状としたことにある。 （もっと読む）

【課題】シートが伸びたことを検知し、作業者に報知することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シートを収容し、スライドベース３１と、方向転換部とを有する。スライドユニット３０には、シートが所定の長さ以上の伸びを発現したときに該シートの過剰な伸びを作業者に報知する報知手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、これらの上面を覆う防塵用の可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、スライドベース３１と、その移動方向に沿って防塵用のシートを収容し、シートの方向を転換するためのローラからなる第１の方向転換部４１と第２の方向転換部４２とを有する。スライドベース３１には、それぞれシートに向かって開口し第１の方向転換部材を支持する第１の支持部３１ｃと、第２の方向転換部材を支持する第２の支持部３２ｃが形成される。第１の方向転換部材４１及び第２の方向転換部材４２は、第１の支持部３１ｃと第２の支持部３２ｃに容易に着脱可能に嵌合する。これによって、スライドベース３１上にワークや工具などが搭載されていても、シートの交換が容易である。 （もっと読む）

【課題】落下防止機構の故障発生確率を低くすると共に、万一故障が発生した場合でも該故障に容易に気付くことができるようにする。
【解決手段】第１スライダ８は固定ベース７に対して垂直方向に移動可能であり、第２スライダ１０はこの第１スライダ８に垂直方向に移動可能である。第２スライダ１０は、第１スライダ８が移動されると、プーリ２２Ａ、２２Ｂ及びベルト２３を有する第２スライダ用移動機構１１により、第１スライダ８に対してこれより先行して移動させられる。落下防止機構２４は、第１スライダ８における前記両プーリ２２Ａ、２２Ｂ間の中間部に支軸２６により回動可能に支承されて、第１長孔部２７Ａ及び第２長孔部２７Ｂを有するレバー２５と、固定ベース７に設けられた第１ピン２９Ａと、第２スライダ１０に設けられた第２ピン２９Ｂとを有し、第１ピン２９Ａ及び第２ピン２９Ｂを前記支軸２６を中心として点対称配置とした。 （もっと読む）

【課題】任意の形状を有する対象物体を安定して把持することができるロボットハンド機構を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド機構においては、第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂが直動機構３０４に移動可能に支持される。第１可動部３０５Ａは、接続機構４０１を介して指部１０１Ａの受動回転部１０４及び指部１０１Ｃの受動回転部１０４に結合される。第２可動部３０５Ｂは、接続機構４０１を介して指部１０１Ｂの受動回転部１０４及び指部１０１Ｄの受動回転部１０４に結合される。直動機構が駆動モータ３０１によって駆動されると、第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂが互いに反対向きに移動される。第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂの直動運動に伴って、接続機構４０１によって各受動回転部１０４が回転される。この結果、指部１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄの駆動方向が変更される。 （もっと読む）

【課題】小型化、軽量化、不感帯領域の削減が可能な直動アクチュエータ、及びこれを備えたロボットを提供する。
【解決手段】直動アクチュエータ１１は、中空電動モータ１３の中空インナロータ１４に固定的に連結されたナット部材１５と、ナット部材１５に保持されるボール１６を介してナット部材１５に螺合するネジ溝１７ａが外周面に形成され、中空インナロータ１４に形成された貫通穴１４ａを挿通する直動出力軸１７と、ナット部材１５の軸線方向に離間して設けられ、ナット部材１５を筐体１８に支持する一対のアンギュラベアリング１９ａ，１９ｂと、アンギュラベアリング１９ａ，１９ｂの外輪間に介設されたアウタカラー２８とを備える。ナット部材１５は、アンギュラベアリング１９ａ，１９ｂの内輪間に介在するインナカラーとして機能する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に複数の吸着パッド１９が設けられ、ハンド本体１１に複数のロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、各支持脚２１は先端側に被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部２１ｆを有し、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】スライド動作の俊敏性を低下させずにツイスト動作の俊敏性を向上させることが可能なツイストスライド機構及びロボットを提供する。
【解決手段】本発明のロボット１０は、平行に配置された１対のボール螺子機構４０，４０における１対のベース駆動用ボールナット４２，４２を旋回ベース３０と連結させた構成とすることで、それらボール螺子機構４０，４０を駆動する１対のベース駆動用サーボモータ８１，８１によって旋回ベース３０のスライド駆動とツイスト駆動の両方を行うことができる。また、それら１対のベース駆動用サーボモータ８１，８１が共に固定ベース１１に固定されているので、スライド動作の俊敏性の低下させずにツイスト動作の俊敏性を向上させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハを略真直ぐ入れることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、旋回ベース１３と、２つのハンド機構１３,１４と、２つのハンド用駆動機構３０，４０とを有する。２つのハンド機構１３，１４は、旋回ベース１３に回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構３０，４０により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構１３，１４は、アーム２０と、ハンド２１と、連動機構２６とを有している。アーム２１は、回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド２０は、ハンド用軸線Ｌ４，Ｌ５を中心に回動可能に前記アーム２１に夫々設けられている。連動機構２６は、アーム２０に対する前記ハンド２１の減速比が１．５５でアーム２０と前記ハンド２１とを連動させるように構成されている。 （もっと読む）