【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際の基板のすべりや、搬送ロボットから基板保持台上への基板受け渡し時に生じる位置ずれを防止する。
【解決手段】処理室８内に設置された基板７の位置を検出するために搬送アーム４の先端に撮像部１２を備えた搬送ロボット４９を有する。処理室８への基板搬送完了後に再び処理室８へ搬送アーム４を伸ばし、基板７と基板保持台１０の各外周縁部の位置を計測し、代数計算により基板７の各中心座標Ｏｓと基板保持台１０の中心座標Ｏｂを求める。両中心座標Ｏｓ、Ｏｂの位置が実質的に一致しなければ、基板７の位置ずれが生じているので、その位置ずれを補正する方向へ基板７を搬送ロボット４９により再度移動する。 （もっと読む）

【課題】 精度良く物体を選別し、物体を把持することを提供することにある。
【解決手段】 支持部４０と、支持部４０に設けられ、物体１００を把持するための対向する第１及び第２の把持部１１０と、第１及び第２の把持部１１０にそれぞれ設けられ、物体１００に光を照射するための対向する第１及び第２の光源９０と、支持部４０に設けられ、且つ、第１及び第２の把持部１１０を含む平面によって挟まれた領域に設けられ、且つ、光によって照射された物体１００を撮像して物体１００の画像を取得する撮像装置５０と、撮像装置５０に接続され、且つ、撮像装置５０で取得した画像を処理する画像処理装置とを備えたことを特徴とするロボットハンド。 （もっと読む）