【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】簡易設置型ロボット等が具える低剛性の作業腕の振動を加速度の変化が穏やかな制御によって充分に抑制する方法を提供することにある。
【解決手段】作業腕の基部を駆動して先端部を移動させるとともに、その先端部の移動中および停止後の振動を抑制するに際し、前記基部の駆動を、ｓｉｎ関数を用いて速度を連続的に変化させる速度パターンで行うことを特徴とする作業腕の振動抑制方法である。 （もっと読む）

【課題】制振制御に用いられる角速度センサーの数を低減するとともに該角速度センサーに接続される電気配線に要求される耐久性を低くした水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットは、基台に連結される第１水平アームと、第１水平アームを介して前記基台に連結される第２水平アーム１５と、各アームを回転させる第１及び第２モーター１３，１６と、各モーターの回転角度及び回転速度を算出するための第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅとを有している。第１モーター制御部４３は、角速度センサー３０が検出したセンサー角速度ωＡ２から第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅに基づく第１及び第２角速度ωＡ１ｍ，ωＡ２ｍを減算し、演算結果である振動角速度ωＡ１ｓに基づく振動速度Ｖ１ｓと第１回転速度Ｖ１ｆｂとの加算した速度計測値が速度指令Ｖｃとなるように第１モーター１３を制御する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサーを用いて制振制御を行う水平多関節ロボットにおいて、該角速度センサーに接続される電気配線の耐久性を高めることの可能な水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット１０は、第２水平アーム１５に設置され基台１１に対する第１水平アーム１２の角速度を得るための角速度センサー３０を備え、第１水平アーム１２の角速度に基づく第１モーター１３の駆動によって第１水平アーム１２を制振する。ロボット１０は、基台１１と第２水平アーム１５とに端部が連結されるとともに、第１水平アーム１２の外側、且つ第２水平アーム１５の外側に配設されて、基台１１内と第２水平アーム１５内とに通じる通路を有する配線ダクト３３に、第２水平アーム１５に内蔵された第２モーター１６に接続される電気配線３５と、角速度センサー３０に接続される電気配線３６とが引き回されている。 （もっと読む）

【課題】慣性センサーを用いたフィードバック系において、発振してしないロボットを提供する。
【解決手段】アーム１０１と、アームを回動させるモーター１０３とトルク伝達機構１０２とを含むアーム連結部１０４と、アーム１０１の端部のアーム連結部１０４に連結された基体１０５と、モーター１０３の回動角度を検出しモーター１０３の回動角度情報を出力する角度センサー１０６と、アーム１０１に作用する慣性力の情報を出力する慣性センサー１０７と、アーム１０１の回動動作を制御する制御部１０８と、角度センサー１０６の出力と慣性センサー１０７の出力とから慣性センサー１０７のノイズ周波数を検出するノイズ検出部１０９と、ノイズ検出部１０９の情報からフィルター１１１の特性を決めるフィルター定数決定部１１０と、フィルター定数決定部１１０に基づき慣性センサー１０７のノイズを除去するフィルター１１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロボット動作中のサーボアンプの電源電圧の変動に対して簡易な制御で制御ループを安定化させる。
【解決手段】ロボットの各関節に設けられたサーボモータに対して外部からの制御指令に応じた該サーボモータの制御量を帰還させて制御ループを形成するサーボアンプの制御ループゲイン調整方法であって、前記制御ループゲインのデフォルト値及び前記サーボアンプの電源電圧のデフォルト値に基づいて、前記制御ループを形成するとともに前記サーボモータの駆動を開始する工程と、前記サーボアンプの電源電圧を検出する工程と、前記制御ループゲインを構成する制御ゲインのうち前記サーボアンプの電源電圧と相関して変化する制御ループゲインを、検出した前記サーボアンプの電源電圧の変化に対して逆方向に変化するように調整する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】始点から終点までの搬送対象物を直線移動させるにあたり、移動時間の短縮と振動の低減とを両立した軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】多関節ロボットで搬送対象物を直線移動させるにあたり、搬送装置１０３の動力学モデルに基づいて始点Ｓから終点Ｅまでの移動に要する時間ｔ_ｅをパラメータの一つとして含む評価関数の値が最小となるように最適化手法を用いて軌道情報１３２を生成する。動力学モデルとして搬送対象物Ｗを搬送する先端リンクの動作を直線動作に限定したモデルを予め設定しておき、予め設定された搬送装置の振動特性を用いて先端リンクの移動により生じる模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を算出し、算出した模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）をパラメータの一つとして評価関数に含め、少なくとも上記２つのパラメータである移動時間ｔ_ｅ及び模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を含む評価関数の値が最小となるように軌道情報１３２を生成する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに外力が作用したときに、状況に拘らずロボットの衝撃吸収性能を良好に保持できるとともに、ロボットの動作遅れによる振動の発生を抑制する。
【解決手段】本発明の動作制御装置１２では、変位量ｘを時間ｔで分数階微分（微分階数ｒ）し、定数Ｐを乗じた値が、ロボット１０に作用した外力に等しくなる関係を維持するように、ロボットアーム１１の動作を制御する処理がなされる。 （もっと読む）

【課題】従来のロボット装置の制御方法にあっては、制御装置における演算量が多くなり処理に時間が掛かったり、処理速度を上げるために制御装置のコストが増加したりする問題があった。
【解決手段】アクチュエーターの角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第１演算部と、前記第１演算部の演算対象の前記アクチュエーターを含む連結装置を介して連結される前記アームに備える慣性センサーの角速度検出データより、前記連結装置を軸とする前記アームの角速度を演算する第２演算部と、低周波成分を除去した、前記アクチュエーターと前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第３演算部とを備えるロボット装置。 （もっと読む）

【課題】カットオフ周波数の高いローパスフィルタを適用したときに停止振動を低減するためには、カットオフ周波数の低いローパスフィルタを適用したときと同等の減速時間を持たせられるような加減速特性を実現し、停止振動が発生し難い長い減速時間を持った速度指令プロファイルを生成する必要がある。
【解決手段】プログラムで指定された動作速度によらず加速度が常に一定となる手法により生成した速度指令プロファイルにカットオフ周波数の低いローパスフィルタを適用したときの減速時間と、前記速度指令プロファイルに前記ローパスフィルタよりもカットオフ周波数が高いローパスフィルタを適用したときの減速時間とが、同等になるようにして求められた加減速特性を用いて生成した速度指令プロファイルに、前記カットオフ周波数の高いローパスフィルタを適用したときの速度指令プロファイルを求める。 （もっと読む）

【課題】減速機角度伝達誤差によるうねりを補正する。
【解決手段】ロボットの手先部に発生するうねりの振幅を求める手段と、複数の関節の所定の関節Ｊiに対応するうねりの振幅値Ｄｉを求める手段と、所定の関節Ｊｉをモータの位置指令θrefｉで単軸動作させた際に、関節の軸に現れる位置フィードバック信号Ｂｉを計測する手段と、関節Ｊｉに対する位置指令値θrefｉに振幅Ｃのうねりを重畳的に加え、更に、他の軸Ｊｘに位置指令θrefｘが加えたと仮定した場合に、手先位置において発生するうねりＣ’ｉを計算する手段と、Ａｉ＝（Ｃｉ／Ｃ’ｉ）×Ｄｉという式に従って、Ｂiに対応するＡｉを求める手段と複数のロボットに対して、以上の各手段を用いて、Ｂiに対応するＡｉを求める手段とを備える、ロボット制御装置の補正パラメータ同定装置。 （もっと読む）

【課題】大部分の現場において、学習制御器の調整は経験に基づいて試行錯誤で行われており、調整が難しいという問題があった。
【解決手段】本発明のロボットは、位置制御の対象とする部位にセンサを備えたロボット機構部と、ロボット機構部の動作を制御する制御装置とを含むロボットであって、制御装置は、ロボット機構部の動作を制御する通常制御部と、作業プログラムによりロボット機構部を動作させて、センサによって検出した前記ロボット機構部の制御対象位置を通常制御部に与えられた目標軌跡もしくは位置に近づけるために学習補正量を算出する学習を行う学習制御部と、を有し、学習制御部は、学習稼動状態で設定可能な最大速度オーバライドを算出し、最大速度オーバライドに至るまで複数回に渡って速度オーバライドを増加させながら学習補正量を算出する学習を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の始点から終点までの移動時間の短縮と移動によって生ずる振動の低減とを両立した軌道情報を生成する新たな軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】軌道情報生成装置２は、所望の始点から終点まで移動装置１０３を移動させるための軌道及び軌道上の速度に関する軌道情報１３２を生成するにあたり、予め設定された移動装置の振動特性を用いて移動により生ずる模擬振動の大きさ（θ_３−θ_ａ）を算出し、算出した模擬振動の大きさ（θ_３−θ_ａ）をパラメータの一つとし、始点Ｓから終点Ｅまでの移動に要する時間ｔ_ｅをパラメータの一つとして、少なくともこれら２つのパラメータを含む評価関数の値が最小となるように最適化手法を用いて軌道情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】無線化した加速度センサをロボットに取り付ける場合、センサを用いた振動抑制の効果を向上できるとともにセンサ基板における消費電力が低減できるようにする。
【解決手段】センサ信号の主成分の振動パラメータ（周波数、振幅、位相）を得る信号解析装置と、該パラメータからセンサ信号の近似波形を生成する信号発生器８１を備えて、該パラメータが変更された場合のみパラメータの無線伝送を行う。得られる近似波形から各軸モータの速度を求め、シミュレーションによりロボット動作に基づくモータ速度を得て、モータ速度の差をモータ速度の振動成分とする。モータ速度の振動成分をモータの位置−速度制御ループにフィードバックしてロボットアームに発生する振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】関節とこれを駆動するアクチュエータとの間の動力伝達系にばね部材を備えた移動ロボットのふらつきを防止しつつ、該移動ロボットの所望の動作を安定に行なうことを可能とする。
【解決手段】移動ロボット１の運動状態量目標値は、移動ロボット１全体の並進運動量の１階微分値の鉛直方向成分の目標値を少なくとも含み、この目標値は、移動ロボット１の全体重心点の鉛直方向の位置の観測値をフィードバック制御則により所定の目標値に収束させるように状態量目標値決定部８４で決定される。制御入力決定部８５は、運動状態量目標値を用いて逆動力学演算の処理を実行することにより、各関節の目標駆動力を決定する。この目標駆動力に応じてアクチュエータ５０の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】 基板保護、装置保護のための基板有無検出、および衝突検出を小型、低コストな１つのセンサにて精度よく検出し、基板の大型化に対する鉛直方向の振動についても同時に低減できる基板搬送用装置を提供する。
【解決手段】 エンドエフェクタに取り付けたひずみセンサと、ひずみセンサ出力から基板有無を検出する基板有無検出部と、衝突有無を検出する衝突有無検出部と、鉛直方向の振動を低減する振動低減部を備える。 （もっと読む）

【課題】加速または減速運動に伴って運動体に生じる、少なくとも１自由度かつ時変の振動を抑制する振動抑制方法を提供する。
【解決手段】加速または減速運動に伴って運動体に生じる、少なくとも１自由度かつ時変の振動を、インプットシェイピング法を用いて抑制する場合に、運動体の姿勢変化に伴って生じるコリオリの力がする仕事を考慮して、第２のインパルス入力の大きさを決定しているため、時間によって第１のインパルス応答の振幅が変化する時変の振動系に対して、第２のインパルス応答を重ね合わせることで効果的に振動を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】コーナ形状のように指令経路の方向が急峻に変化するような場合でも駆動系に過大な負荷や振動を生じさせずに、また制御系の安定性を損なうことなく軌跡誤差を抑制すること。
【解決手段】複数の可動軸のモータを同時制御することにより可動部の軌跡を制御する軌跡制御装置１０において、サーボ系応答軌跡を演算するサーボ系応答軌跡算出部１と、誤差ベクトルを演算する誤差ベクトル算出部２と、誤差ベクトルとサーボ系応答軌跡の所定の参照点における移動方向に基づいて補正ベクトルを演算する補正ベクトル演算部３と、補正ベクトルを各軸に分配して各可動軸の補正量を演算する各軸補正量演算部４と、各可動軸の補正量を対応する軸の位置指令に加算する補正量加算部５、６と、各可動軸の位置がそれぞれの軸の補正後位置指令に追従するように各軸のモータ駆動トルクを出力することによりそれぞれの軸のモータを制御するサーボ制御部７、８を備えた。 （もっと読む）

【課題】ロボットの先端の振動を抑制する。
【解決手段】複数のリンク２４〜３４と対応するリンクを駆動する複数のモータ３６〜４６とを有するロボットの動作が停止するときに発生するロボット先端の振動を抑制するロボットの制振方法であって、ロボット先端の加速度を加速度センサ５２によって検出し、加速度センサが検出した加速度に基づいてロボット先端の速度を算出する。ロボット先端の速度と、加速度センサの加速度検出タイミングにおける複数のモータの回転角度と、ヤコビ行列Ｊの逆行列Ｊ^−１とに基づいて、各リンクと対応するモータとの間のねじれ角速度を算出する。さらに、ねじれ角速度に基づいてねじれ角度を算出し、ねじれ角速度とねじれ角度とに基づいて、各リンクと対応するモータとの間に発生したねじれが解消する、各モータの制御入力に加算する補償量を算出し、補償量を加算した制御入力を各モータに出力する。 （もっと読む）

【課題】ロボットのリンクの振動を十分に抑制する。
【解決手段】複数のリンクと、対応するリンクを駆動する複数のモータとを有するロボットの制御装置であって、対応するモータの回転角度または回転角速度を検出する複数のセンサと、各リンクと対応するモータとの間のバネ要素それぞれについて、そのねじれ角度およびねじれ角速度を、複数のモータそれぞれへの制御入力と複数のセンサそれぞれが検出した回転角度または回転角速度とに基づいて推定する状態観測器と、状態観測器が推定した対応するバネ要素のねじれ角度およびねじれ角速度に基づいて、対応するバネ要素のねじれが解消するトルクをモータが出力するように、対応するモータの制御入力に加算するトルク補償量を算出する複数のトルク補償量算出手段と、トルク補償量算出手段が算出したトルク補償量を加算した制御入力を対応するモータに出力する複数のモータ制御手段とを有する。 （もっと読む）