【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、本体２の端部に設けられ、平坦部を有する先端部３と、先端部３の平坦部３ａに設けられた複数の突部４と、を備え、突部４のうち少なくとも１つが、可撓性を有する材料からなる吸着部４であることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関し、操作性及び簡易性を向上する。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ装置に組み込んだ微小マニピュレータ部をその場でエッチング加工することで、従来困難であった１μｍ以下の微小物のハンドリングの確実性を高めるとともに、マニピュレータの再利用により作業効率やメンテナンス性を向上する。
【解決手段】微小マニピュレータ部を位置および向きを変えることのできる移動機構で保持することにより、マニピュレーション作業前にマニピュレータ先端部をＦＩＢ加工するとともに、作業中のマニピュレータ先端の汚染や破損があった場合でも、加工により再度使用可能な形状に再生する。 （もっと読む）

【課題】高電圧や熱を対象物に加える恐れがなく、様々な微細物体がグリップ可能なグリッパー及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】圧電駆動部２５０が伸縮すると、それに伴い接点部２３０，２４０が移動する。接点部が移動するとベンディング構造物２１０，２２０を介してリンク１３１，１３２がアーム１１１，１１２とニッパ１５１，１５２を押し引きする。それによってニッパ１５１，１５２の先端が開閉し、微細物体をグリップする。 （もっと読む）

【課題】
装置が簡便で操作が容易で、微小部品の形状を問わず操作が可能であり、微小部品に機械的な損傷を与えにくい微小部品の操作方法を提供することにある。
【解決手段】
キャピラリに液体を満たし、キャピラリの先端のキャピラリ穴から液体が漏れ脱さない表面張力と内圧とが均衡した状態で、キャピラリ穴を微小部品に接触させ、キャピラリを上昇させることにより液体の液架橋力により微小部品を持ち上げ、キャピラリを微小部品を載置したい設置面の位置の上方に移動し、位置でキャピラリを下降させ、微小部品が位置に着地した状態でキャピラリを横方向に移動させて液体を微小部品及び設置面に漏れ出させ、その後、キャピラリを上昇させ微小部品を位置に載置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】極めて小さい微粒子を単体で安定して保持することができるとともに、同保持した微粒子を極めて小さい間隔で配置することが可能な磁気プローブを提供する。
【解決手段】磁気プローブ１０は、先端部１２が尖った円筒状のプローブ本体１１を備えている。プローブ本体１１の内周面には鉄による被膜Ｃｉが形成されており、先端部１２における被膜Ｃｉは磁性部１３を構成する。プローブ本体１１の外周面にはパーマロイによる被膜Ｃｏが形成されており、先端部１２における被膜Ｃｏは磁性部１４を構成する。磁性部１３と磁性部１４とは鉄柱１５およびワイヤ１６を介して磁気的に接続されている。鉄柱１５の外周面にはコイル２３が配置されている。コイル２３に通電させると、磁性部１３から磁性部１４に向けて磁力線が生じ磁気プローブ１０の先端部１２に局所的な磁界が形成されて微粒子Ｐを保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

【課題】挟持する力（挟持力）を容易且つ高精度に検出することができると共に、小型化を図ること。
【解決手段】電子顕微鏡観察用の試料を挟持可能なピンセットであって、所定間隔離間して隣接配置され、それぞれ対向する側の先端に試料を挟持する挟持面７１ａ、７２ａを有する一対の棒状挟持部材７１、７２を備え、一対の棒状挟持部材が、挟持面の基端側に挟持面と電気的に独立した状態で互いに対向して配された導電部７３、７４と、これら導電部間の静電容量を測定する静電容量センサ７５とを備えていることを特徴とするピンセット７０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 先端で微細加工が可能なマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】 アームホルダ２に保持されるアーム３と、前記アーム３の先端に備えられたモータホルダ４と、前記モータホルダ４に固定された小型モータ５と、から構成され、前記小型モータ５の出力軸６はダイヤモンドで形成され、その先端にレーザ加工を行い、ドリル刃７を形成することにより、穴あけや切削等の微細加工が可能となり、また、ドリル刃の芯出し精度を考慮する必要が無くなり、より高精度な加工が可能となる。 （もっと読む）

【課題】汚れにくいナノピンセットの提供。
【解決手段】ナノピンセット１は、開閉自在な一対のアーム３と、アーム３の各々に形成された試料把持部３ａと、各アーム３の少なくとも試料把持部３ａを含む領域に形成された撥水性膜とを備えることを特徴とする。撥水性膜には、例えば、導電性を有する撥水性膜や化学吸着単分子膜が用いられる。 （もっと読む）

【課題】 真空ピンセットを構成する吸着シールと保持部材との接合構造の安定性を高めるとともに保持性能を長期に渡り維持可能とする。
【解決手段】 負圧を利用して被吸着物を吸着保持する真空ピンセットにおいて、一方の面に溝１１が形成され、溝１１の底部１１ａに開口するとともに真空ポンプに連通する通路１７を備えた吸着シール保持部材４と、溝１１に嵌合する形状を有するベース部５Ｂ及び、ベース部５Ｂから突設され、内面が通路１７と連通して被吸着物との間に負圧領域を形成する外周壁６を備えた吸着シール５とを有し、溝１１の側面には溝１１の長手方向に沿って保持部材凹条１６が形成され、ベース部５Ｂの側面には保持部材凹条１６に対応する吸着シール凸条１５が形成され、ベース部５Ｂには、外周壁６の内面と通路１７とを連通する連通孔９が穿設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡観察画像視野下で顕体試料とマイクロプローブの針先を観察しながら、半導体集積回路などの多層微細配線深層部へダイレクトに電気的特性の測定を行ない不良箇所の解析を行なうにおいて、絶縁膜を効率的に除去し、測定対象箇所へのプローブの移動と位置決めを効率的に行ない、同時に操作性および確実性に優れた微細作業を行なうことのできるマニピュレーション装置の提供
【構成】局所プラズマ機構、および該局所プラズマ機構の先端部であるプラズマキャピラリー管を把持するプラズマキャピラリー管位置決めステージ、試料ステージおよび１つまたはそれ以上のプローバがプローバベース上に載置され、該プローバベースが顕微鏡の視野下に着脱自在に装着できる構造を有することを特徴とする顕微鏡微細作業用マイクロマニピュレーション装置である。 （もっと読む）

【課題】ナノピンセットユニット取り付け作業中のナノピンセット破損を防止することができるナノピンセット保護用治具を提供する。
【解決手段】
ナノピンセット保護用治具の取付アダプタ７０Ａにガイド溝７２Ａを設け、保護カバー８０Ａにガイド突起部８４Ａを設ける。そして、取付アダプタ７０Ａのガイド溝７２Ａに保護カバー８０Ａのガイド突起部８４Ａを嵌合させながら保護カバー８０Ａを移動することによって、保護カバー８０Ａを回転し、斜め横方向に移動することができ、保護カバー８０Ａをナノピンセットユニット１１に接触させないで外すことができる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の真空中、電子線下で生物試料に微細操作を行えるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡の真空の試料室内２で微小試料を掴んで微小な回動、移動、開放動作が可能なマニピュレータ１０を備える。マニピュレータ１０は並進３自由度型である。マニピュレータ１０を光軸に対して位置合わせする位置調整機構５と、試料室内にあるマニピュレータの微小な針先合わせを電子顕微鏡モニタを観察しながら外部から操作する針先合わせ機構１２と、電力供給用及び電気信号検出用のリード線を試料室の内から外へ気密性を保持して引き出すリード線引出し孔９５とを備え、これらの位置調整機構，針先合わせ機構の操作部及びリード線引出し孔とが一つのフランジ７１に集約的に配設され、このフランジが試料室の壁部の取付孔９６に気密封止により取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】例えば微小機械部品などの被把持物を、より良好に把持することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１０は二つのフィンガー部材４６、４６と、フィンガー部材４６、４６を互いに近接する方向に付勢する弾性梁３８、３８と、弾性梁３８、３８の付勢に抗して、フィンガー部材４６、４６を互いに離間させるスピンドル３６を備えたマイクロメータヘッド２２とを有する。マイクロメータヘッド２２のスピンドル３６が移動することによって、弾性梁３８、３８の押圧面５０、５０が押圧されると、弾性梁３８、３８が弾性変形して、フィンガー部材４６、４６の先端部５６、５６が互いに離間する。 （もっと読む）

広範囲のサイズのマイクロ物品およびナノ物品を把持できかつ二軸の力の検出能力を備えているマイクログリッパの設計およびマイクロファブリケーション法を提供する。グリッピング運動は、１つ以上の電熱アクチュエータにより引起こされる。ｘ方向およびｙ方向に沿う集積形の力センサは、グリップ力並びに法線方向に沿ってマイクログリッパアームの端部に加えられる力を測定でき、両方ともナノニュートンより小さい分解能を有する。マイクロファブリケーション法は、アクチュエータおよび力センサのモノリシック集積を可能にする。 （もっと読む）

【課題】１本のプローブでも容易に試料の採取が行うことができるマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】プローブ７は、中心部１５と、中心部１５を同心円状に覆う外周部１６とからなり、中心部１５の先端１７を外周部１６から露出させている。中心部１５はガラス１５などの絶縁体で形成されており、電源９に接続されて、電源９に接続されて選択的に正極性もしくは負極性の電圧が印加されることで静電気を帯びる。また、外周部１６は、鉄１４などの導電体で形成されており、アース接続されて電気を帯びない状態となる。したがって、半導体ウエハ２上の試料３を採取した時に、試料３が外周部１６の表面には吸着せず、先端１７に吸着する。 （もっと読む）

【課題】微小な把持力を検出することができるナノピンセット
【解決手段】ナノピンセットに設けられたグリッパ部Ｇには一対のアーム１，２が設けられており、アーム１を駆動機構３による駆動することにより、アーム１，２間に試料を把持することができる。アーム２側には駆動機構４が設けられており、櫛歯状凹凸部４０，４１間に働く静電力によりアーム２が振動駆動される。試料を把持する際にはアーム２が振動駆動され、把持時における振動振幅の変化をアドミッタンス変化として検出することにより、把持力を算出する。 （もっと読む）