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Fターム[3C016GA10]の内容

工作機械の治具 (2,667) | 磁気的、電気的ワーク保持 (112) | 静電チャック (72)

Fターム[3C016GA10]に分類される特許

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【課題】グラディエント力と真空吸着力の両方が大きい吸着装置を提供する。
【解決手段】基体21上に絶縁性の下地膜22を形成し、下地膜22上に第一、第二の電極23a、23bを形成する。第一、第二の電極23a、23b間の下地膜22を表面側から途中まで除去し、吸着溝26を形成する。第一、第二の電極23a、23bや、その表面の保護膜24の膜厚が薄くても、吸着溝26の深さを深くすることができる。 (もっと読む)


【課題】静電チャック部と温度調整用ベース部との間の絶縁破壊を防止し耐電圧性を向上させ、静電チャック部の板状試料の載置面の面内温度の均一性を向上させると共に、静電チャック部に設けられた加熱部材の耐電圧性を向上させることができる静電チャック装置を提供する。
【解決手段】本発明の静電チャック装置1は、表面を板状試料Wを載置する載置面とするとともに静電吸着用内部電極13を内蔵した静電チャック部2と、この静電チャック部2を所望の温度に調整する温度調整用ベース部3とを備え、この静電チャック部2の下面にシート状の接着材4を介してヒータエレメント5が接着され、このヒータエレメント5が接着された静電チャック部2と温度調整用ベース部3とは、有機系接着剤層8及びシート状の絶縁部材7を介して接着一体化されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、試料の吸着、或いは脱着の状態を適正に検出する静電チャック用電源回路、及び静電チャック装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料を支持する支持部材内に、正電極、及び負電極が設置される静電チャックに、電圧を印加する静電チャック用電源回路において、正電極に正の電圧を印加する第1の電源回路と、負電極に負の電圧を印加する第2の電源回路と、第1の電源回路と正電極の間、及び第2の電源回路と負電極との間に、それぞれに接続される抵抗と、正電極、又は負電極の電圧を検出する電圧検出器を備え、電圧検出器が接続される電極と、電源回路との間に接続される抵抗は、他の電源回路と電極との間に配置される抵抗より高い抵抗値を有する静電チャック用電源回路を提案する。 (もっと読む)


【課題】高精度に導体が内蔵された薄型のセラミックス部材を提供するものである。
【解決手段】相対密度99%以上の第1のセラミックス焼結体11の主面に溝111を形成する工程と、溝111に導体12を形成する工程と、第1のセラミックス焼結体11の主面を導体12とともに研磨して、主面における溝111に形成された導体12の表面121と溝111以外の第1のセラミックス焼結体表面111とを面一の研磨面とする工程と、相対密度99%以上の第2のセラミックス焼結体13の主面を研磨面とする工程と、第1のセラミックス焼結体11の主面と第2のセラミックス焼結体13の主面とを密着させてホットプレスする工程とを含む。第1のセラミックス焼結体11及び第2のセラミックス焼結体13は、互いに共通する成分を主成分とする。 (もっと読む)


【解決手段】静電チャックを長寿命化する新規な方法を提供する。方法は、金属製冷却プレートがセラミック製の上側プレートにインジウム接着剤を介して取り付けられたチャックを提供する段階と、使用期間の後チャックを分解する段階と、使用済みの金属製冷却プレートを含む新たなチャックを提供する段階とを備える。所定の実施形態では、インジウムを接着剤として用いることにより、チャックのその他の部品を損傷させることなく、上記の分解および再組み立てを行うことが比類なく可能になる。 (もっと読む)


デバイス(200)を保持するための静電チャック(230)は、チャック本体(244)、クーロン電極(246)、ジョンソン-ラーベック(J-R)電極(248)、及び制御系(224)を含む。チャック本体(244)は、デバイス(200)と係合する吸着面(250)を含み、チャック本体(244)は、比較的高抵抗を有する誘電体で構成される。J-R電極(248)は、吸着面(250)から離れて配置される。クーロン電極(246)も、吸着面(250)から離れて配置される。制御系(224)は、デバイス(200)を吸着面(250)に向かって引き寄せるJ-R力を発生するために、J-R電極(248)に第一電圧を選択的に印加し、さらにデバイス(200)を吸着面(250)に向かって引き寄せるクーロン力を発生するために、クーロン電極(246)に第二電圧を選択的に印加する。この構成で、J-R力とクーロン力の両方が同時に、吸着面(250)に対してデバイス(200)を引き寄せるために使用される。その結果、静電チャック(230)は、デバイス(200)の非平坦さを低減し、及び/又はデバイス(200)と吸着面(250)との間に位置するパーティクルをクラッシュすることが、より可能である。
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本明細書では、静電チャックの実施形態を提供する。いくつかの実施形態では、静電チャックが本体を含むことができ、この本体が、本体の側壁に対して垂直な第1の面、及びこの第1の面と本体の上面の間に配置された階段状の第2の面により定められる切り欠いた上部周縁部と、第1の面に沿って本体を貫いて配置された複数の穴とを有し、前記静電チャックが、本体の下に配置された基部に本体を結合するための、複数の穴の中に配置された複数の留め具と、基板を静電的に保持するための、本体の上面の上方に配置された誘電体部材と、階段状の第2の面と噛み合ってこれらの間に非線形境界面を定める階段状の内側壁を有する、本体の周囲の切り欠いた上部周縁部内に配置された絶縁体リングと、この絶縁体リング上に配置されたエッジリングとをさらに備え、非線形境界面が、エッジリングと留め具の間のアーク放電を制限する。 (もっと読む)


【課題】従来の高電圧発生装置と比較して入力電力が非常に小さくて済む静電チャック用の高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】低電圧電源2によって駆動される発振回路3から出力される高周波信号を増幅するとともに、高周波トランスを用いて高電圧を発生させる高電圧発生回路121と、高電圧発生回路によって発生された高電圧を整流しつつ昇圧する昇圧整流回路122、123と、昇圧整流回路122、123によって整流しつつ昇圧された高電圧が印加されるとともに放電抵抗R6、R7が並列に接続された容量性負荷としての静電チャック22と、起動時は、発振回路3を低電圧電源によって直接駆動するとともに、起動時から予め定められた時間が経過した後は、発振回路3を静電チャック22の静電容量及び放電抵抗R6、R7の抵抗値で決定される時定数よりも短い周期で間欠的に駆動するように制御する制御回路110と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ワークピースをクランプ解除するのに要する時間を短縮し、バリヤ物質によるダメージを防止する。
【解決手段】静電クランプを制御し、モニタしかつ最適化するシステムにより具体化される。コンピュータ16、制御回路22および少なくとも1つの増幅器28が備えられる。また、信号評価回路25を備え、制御回路の出力信号に検出信号を与えるために用いられる。信号評価回路は静電クランプの電気容量をモニタするために使用される検出信号を与え、さらに、信号評価回路は静電クランプの性能をモニタし、制御回路に対し性能情報を与える回路要素を含む。 (もっと読む)


【課題】静電チャック及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】静電チャックは、基体と、基体上に形成された非晶質の第1絶縁層と、第1絶縁層上に形成された静電気力発生用電極層と、電極層上に形成された誘電層とを含む。従って、静電チャックは漏洩電流によるアーキング発生を抑制し、電気的特性及び耐久性が向上される。 (もっと読む)


【解決手段】本発明の一態様は、上面および下面を有する静電チャックと共に用いる装置であって、前記上面は幅の分だけ前記下面から離れており、前記静電チャックは、さらに、前記上面に第1の幅を有すると共に前記下面に第2の幅を有する穴を備え、前記第1の幅は前記第2の幅よりも小さく、前記上面はその上にウエハを配置することが可能である、装置に関する。その装置は、ピンと、シャフトと、ネック部と、外側ハウジング部と、を備える。ピンは、第1の幅よりも小さいピン幅を有する。シャフトは、ピン保持部と、端部と、ピン保持部および端部の間に位置する中央部と、を有する。中央部は、第1のベアリング部を有する。外側ハウジング部は、第1の端部および第2の端部を有し、第2のベアリング部を備える。シャフトは、外側ハウジング部の中に配置され、外側ハウジング部に対して移動可能である。ネック部は、第1の端部に配置される。第2のベアリング部は、ネック部に対して移動しない。第1のベアリング部は、第2のベアリング部に対して移動可能である。 (もっと読む)


【課題】 裏面ガスの均一な分布と、気相熱伝達と、固体接触熱伝達とのバランスを効果的に取る表面エンボスパターンを有する静電チャックを提供する。
【解決手段】 静電チャックは、熱伝達ガスが供給される傾斜管路又は傾斜したレーザードリル形成通路を含む。傾斜管路及び/又は傾斜したレーザードリル形成通路の一区間は、基板をチャックに保持するために生成される電界軸とは異なる軸に沿って延びており、それによってプラズマアークの発生及び裏面ガスのイオン化が最小限に抑えられる。前記管路には、それ自体の第1の外部溝の一区間が前記電界軸とは異なる軸に沿って延びる第1のプラグを挿入することができる。誘電部材と電極のうちの少なくとも一方を貫通するセラミックスリーブに第1及び第2のプラグを挿入することができる。最後に、前記誘電部材の表面は、熱伝達及びガス分布を改善することができるように、前記誘電部材の中心からある径方向距離の位置に配置されるエンボスを含むことができる。 (もっと読む)


【課題】大気中の水分が静電チャックの吸着面表面に付着することによって起きる吸着力の低下を防止することができる静電チャックおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属基材10と、前記金属基材10の上に設けられた第1の樹脂層6と、前記第1の樹脂層6の上に設けられ、第1の電圧が印加される複数の第1の電極4と前記第1の電圧より低い第2の電圧が印加される複数の第2の電極4とを有する電極層と、前記電極層の上に設けられた第2の樹脂層3と、前記第2の樹脂層3の上に設けられた撥水層1と、を具備することを特徴とする静電チャック。 (もっと読む)


【課題】静電クランプ上にクランプされる物体の位置の高い精度および経時的な安定性を与える改善された静電クランプを提供する。
【解決手段】本発明は、バールが設けられた材料層を含むリソグラフィ装置における使用のための静電クランプであって、絶縁体および/または誘電材料に囲われた電極がバール間に設けられた静電クランプおよびそのような静電クランプを製造する方法に関する。静電クランプは、リソグラフィ装置において物体を物体サポートにクランプするために使用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】吸着面の平滑性に優れ、被吸着物を汚染するパーティクルやガスの発生がなく、被吸着物の変形や損傷を防止することができ、かつ、吸着力に優れた静電チャックおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】2枚の板状ガラスの間に金属材料を挟み、加熱および加圧によりガラスを融着させることにより、ガラスの内部に金属層3が埋設され、前記金属層3が電極、前記金属層3からガラス表面までの距離が短い側が誘電層2、前記金属層3からガラス表面までの距離が長い側が基材1であり、前記誘電層2の厚さが40μm以上300μm以下である静電チャックを作製する。 (もっと読む)


【課題】ウエハの温度分布の均一化を図ることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】ワークをワーク載置面に固定する静電チャックであって、ワーク載置面を有する円板状の本体が、本体の周縁に設けられた外壁と、外壁の内側に外壁と同心円状に配置され、それぞれ一部に切り欠きを備える複数の内壁と、本体の外壁と最外郭の内壁との間に定義される外周部と最内郭の内壁に囲まれる中心部にそれぞれガス供給孔と、を有し、ワークを外壁及び内壁のワーク載置部に配置した際に、外壁及び内壁に形成されるワークとの接触面が略同一平面にあり、ワークと本体との間に形成される中心部の空間と外周部の空間とが、内壁に設けられた切り欠きを介して形成されるガスの流路によって互いに連通する静電チャックを要旨とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、プラズマによる損傷を受けにくいセラミック基体と静電電極との間の接合強度を向上させることのできる静電チャック及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】アルミナと、第1のフラックスと、を含有したセラミック基体11と、セラミック基体11に内蔵された静電電極12と、セラミック基体11と静電電極12との間に、第2のフラックスを含み、セラミック基体11及び静電電極12と接触するセラミック材13,14とを備え、セラミック材13,14に含まれる第2のフラックスの含有率を、セラミック基体11に含まれる第1のフラックスの含有率よりも高くした。 (もっと読む)


【課題】静電チャック装置に対する被吸着体の吸着状態、すなわち、静電チャック装置上に被吸着体が存在するか否か、被吸着体が吸着されているか否か、を確認することができる静電チャック装置を提供することを目的とする。
また、被吸着体が絶縁体(ガラス・フィルム等)であっても被吸着体の吸着状態を確認することができる静電チャック装置を提供することも目的とする。
【解決手段】基板上に、(1乃至2以上)個の接着層と(1乃至2以上)個の絶縁層とが交互に、かつ最表面が絶縁層となるように順次積層されてなる静電チャック装置であって、前記絶縁層の面に吸着用電極と計測用電極が設けられていることを特徴とする静電チャック装置である。 (もっと読む)


【課題】絶縁性が確保され、且つ、脱着応答性が良好な状態で広い温度範囲で使用可能な静電チャック及びその製造方法を提供する。
【解決手段】静電チャック1は、平面視で円盤形状のESC電極E1と、平面視でドーナツ形状のESC電極E2と、ESC電極E1,E2表面を被覆するように形成された誘電体層とを備える。誘電体層は、ESC電極E1表面に対応する領域に形成された円形形状の誘電体領域R1と、ECS電極E2表面に対応する領域に形成されたドーナツ形状の誘電体領域R2とを有し、誘電体領域R1と誘電体領域R2は一体でシームレスに焼成されている。誘電体領域R1及び誘電体領域R2は、互いに体積抵抗率が異なる、同じ組成系の材料により形成されている。ESC電極E1及びESC電極E2には個別の電圧印加用端子が接続され、ESC電極E1及びESC電極E2に個別に電圧を印加可能なように構成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基板を載置するセラミック板を有した静電チャック及び基板温調固定装置に関し、基板載置面に載置された基板の温度ばらつきを低減することができる静電チャック及び基板温調固定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板15が載置される基板載置面18Aを有したセラミック板18と、セラミック板18に内蔵された静電電極21と、セラミック板18に内蔵され、基板15を加熱する抵抗発熱体21と、を備えた静電チャック10であって、基板載置面18Aの反対側に位置するセラミック板18の下面18Bと抵抗発熱体22との間に位置する部分のセラミック板18に、セラミック板18よりも熱伝導率の高い金属部材23を複数内設した。 (もっと読む)


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