【課題】LCDパネルのような電気的絶縁体からなる大型のワークであっても確実に吸着支持することができ、ワークの搬送操作等に的確に使用することができる静電チャックを提供する。
【解決手段】電気的絶縁体からなるワーク２０を吸着支持する静電チャック１５であって、正負の電圧が印加されるプラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂとが、内層に形成されたチャック本体１０を備え、前記プラス側の電極１２ａとマイナス側の電極１２ｂが、前記チャック本体１０の吸着面に対して占める面積比が６０％〜９０％に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 吸着面側の電界強度を強めた静電チャック部材およびそれを用いた静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 静電チャック部材は、絶縁性材料よりなる絶縁層１と、該絶縁層を介して電位差を生じさせるための該絶縁層の一面に設けた電極パターンを有する第１の電極層２および他面に設けた電極パターンを有する第２の電極層３と、これら２つの電極層の表面を被覆する絶縁性薄膜４、５とよりなり、そして前記第１の電極層のパターン状電極２１と第２の電極層のパターン状電極３１とが、電極層面に対して垂直方向から見て、互いに重なり合わない部分が存在するように配置されている。この静電チャック部材を、基材上に第２電極層が基材側に位置するように貼着して静電チャック装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】吸着の面内不均一が生じない静電チャック部材およびそれを用いた静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 静電チャック部材は、絶縁性材料よりなる絶縁層１と、該絶縁層を介して電位差を生じさせるための該絶縁層の一面に設けた電極パターンを有する第１の電極層２および他面に設けた第２の電極層３と、これら２つの電極層の表面を被覆する絶縁性薄膜４、５とよりなり、そして第１の電極層の電極パターンが網状電極２１よりなり、また、第２の電極層が複数の島状電極３１よりなる電極パターンを有するものであって、前記第１の電極層の網状電極２１と第２の電極層の島状電極３１とが、電極層面に対して垂直方向から見て、互いに重なり合わないように配置されている。この静電チャック部材を、基材上に第２電極層が基材側に位置するように貼着して静電チャック装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、プラズマにさらされた後も平滑な面が維持できその結果、シリコンウェハ等の被吸着物に対するパーティクル汚染を抑制でき、かつ被吸着体の吸着、離脱特性の優れ、低温焼成で作製することが容易な静電チャックを提供することである。
【解決手段】 本発明では、アルミナが９９．４ｗｔ％以上、酸化チタンが０．２ｗｔ％より大きく０．６wｔ％以下、体積抵抗率が室温において１０^８〜１０^１１Ωｃｍかつアルミナ粒子の粒界に酸化チタンが偏析した構造の静電チャック用誘電体を備えた静電チャックとした。 （もっと読む）

【課題】吸着面となる静電チャックの表面に水分や有機物などの汚染物質が付着しても、所望の吸着力を発現することが可能な双極型静電チャックを提供する。
【解決手段】 基台４と、この基台４の上面に形成された一対の正負の電極２ａ、２ｂと、この電極２ａ、２ｂを被覆するように該基台４の上に形成された絶縁層３と、を具備してなる双極型静電チャック１において、該絶縁層表面からの深さが、該一対の正負の電極２ａ、２ｂが位置する深さよりも大きい溝部６を、該一対の正負の電極２ａ、２ｂの間が分断されるように形成する。 （もっと読む）

【課題】 長時間真空下で装置を動作させる場合において真空状態を安定に維持することができ、大気と真空状態を交互に繰り返す作業時には空気の出入りを防止して給電コネクタと装置本体との接点部での真空放電を防止し、かつ均一な品質が得られる給電コネクタ、及び当該給電コネクタを有する静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 導線３１及び該導線３１が先端で延出して露出するようにこれを被覆する被覆層３２を有するリード線３０を接続する給電コネクタ１００であって、前記リード線３０が挿入される挿入孔１３が形成されたコネクタ本体１０と、該コネクタ本体１０に取り付けられて前記導線３１と電気的に接続される給電ピン２０とを具備し、前記被覆層３２の端部ないし該端部から延出した導線３１の一部が位置する場所に、樹脂６０が充填される樹脂充填部１２が形成されていることを特徴とする給電コネクタ１００である。 （もっと読む）

【課題】 耐プラズマ性と被吸着物の冷却性能に優れた静電チャックを提供する。
【解決手段】 静電チャック２０の基本的な構成は、金属プレート２１の表面に溶射によって絶縁体膜２２が形成され、この絶縁体膜２２の上に絶縁性接着剤層２３を介して誘電体基板２４が接合され、この誘電体基板２４の表面は半導体ウェーハ等の被吸着物Ｗの載置面とされ、下面には電極２５，２５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】冷媒の温度を均一化し、ウェハの局所的な熱変形を低減することが可能な静電チャックおよびこの静電チャックを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】チャック本体に基板を吸着する吸着面を備えた静電チャックにおいて、チャック本体に、冷媒の流入部から流出部に冷媒を流通させる冷媒通路を形成し、流入部側の冷媒通路と流出部側の冷媒通路とを交互に形成してなる。また、冷媒通路は、渦巻き状に形成されている。さらに、流入部および流出部は、チャック本体の中央部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板のハンドリングにおいて、吸着固定を安定化させ、傷等をつけないことにより、生産効率や歩留まり低下を防止するための静電チャック装置を提供すること。
【解決手段】液体吐出基板を静電吸着力により把持する為の静電チャック装置で、金属基盤上に接着層を介して２つの異なる電極及び、絶縁性吸着層を有し、２つの異なる電極が液体吐出基板の長辺と平行に且つ、２つの異なる電極が液体吐出基板の液体吐出口列を跨ぐ様に配置されていると共に、２つの異なる電極上に接着層を介して積層された絶縁性吸着層の２つの異なる電極間に位置する液体吐出基板吸着表面がへこんでいることを特徴とする静電チャック装置。 （もっと読む）

【課題】 加工前のセッテイングに要する時間を短縮でき、かつエンボス高さのバラツキを抑制可能な技術を提供する。
【解決手段】 上面部にブラスト加工によって凹凸を形成された基材１０１と、基材１０１中に埋設された金属からなる電極１０２と、電極１０２と外部電源１０５とを接続する端子１０４とを備える静電チャック。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの吸着面において、さらに良好な面精度を実現できる分割静電チャック構造を提供する。
【解決手段】分割静電チャック構造を構成するベースプレート３１と静電チャック３０とをピエゾ素子アクチュエータに連なる絶縁性昇降支柱３２ａ、３２ｂ、３２ｃの上下両端により連接し、静電チャック３０の各下面３０Ｂ内で平面を成す少なくとも３点を、支柱３２ａ、３２ｂ、３２ｃの上端のそれぞれで支持することにより、静電チャック３０を傾動可能とする。またベースプレート３１の静電チャック３０は、互いに隣接する静電チャック３０から成る配列方向のうち、少なくとも１つの配列方向で電極の正負が互いに異なる配列とする。そして、静電チャック３０上を走査するレーザ変位計により測定された傾斜状態に基づき、各静電チャック３０が水平姿勢となるように、ピエゾ素子アクチュエータを伸縮する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性の基板を吸着できる吸着装置を提供する。
【解決手段】表面が絶縁されている基体１０上に第１、第２の電極１１、１２を露出して設け、絶縁性の基板７が第１、第２の電極１１、１２表面に接触するか、非常に近接して配置されるようにする。第１、第２の電極１１、１２間には、空間変化率の大きな電場が形成されるので、グラディエント力により、基板７は吸着装置１表面に吸着される。グラディエント力の大きさは電場の変化率の大きさに依存しているので、第１、第２の電極１１、１２間に電圧を印加し、１．０×１０⁶Ｖ／ｍ以上の電場を形成するとよい。 （もっと読む）