【課題】装置を小型化しながら、ワークを把持する把持力を自由に調節でき、かつ、高速加工および高精度加工に対応する。
【解決手段】厚さ方向に変形可能な薄板状のダイヤフラム部１１と、該ダイヤフラム部１１に周方向に間隔をあけて固定されワークＷを着脱可能に把持する複数の爪１３を備えるチャック部７と、ダイヤフラム部１１を変形させてチャック部７の爪１３を開閉させるチャック駆動部９とを備え、該チャック駆動部９が、ダイヤフラム部１１の厚さ方向双方向に加える駆動力を発生する複動型ピストン２５を備えるチャック装置１を提供する。 （もっと読む）