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Fターム[3C034CA24]の内容

研削盤の構成部分、駆動、検出、制御 (11,657) | 検出対象 (2,276) | 振動検出 (52)

Fターム[3C034CA24]に分類される特許

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【課題】回転砥石側のAEセンサの検出信号を非接触で固定側に誘起し、誘起信号の信号処理により、接触状態や砥石の表面状態を判定可能にしたウェーハ面取り装置の実現。
【解決手段】ウェーハWを保持して回転するウェーハテーブル10と、面取り用砥石20を保持して回転する砥石回転機構と、を有するウェーハ面取り装置であって、砥石回転機構は、回転ユニットと、固定ユニットと、を有し、回転ユニットは、AEセンサ34と送信手段31と、を有し、固定ユニットは、送信手段と通信する受信手段41と信号処理回路65と、を有し、送信手段はAEセンサの信号を検出し、信号処理回路は、アンプ63と、AD変換器64と、デジタル処理回路と、を有し、低周波数成分を除去するフィルタリング処理を行い、さらに回転ユニットの回転周期に対応した信号変化を抽出する処理を行う。 (もっと読む)


【課題】研磨面において研磨ムラを生じさせることなく、一様で意匠性の高い研磨面を形成することのできるベルト研磨装置を提供する。
【解決手段】このベルト研磨装置PSは、研磨ベルト9に加えられる加圧力の大きさを測定する加圧力測定手段17と、加圧力の大きさを調整する加圧シリンダ4とを有しており、加圧力測定手段17により測定された加圧力が一定となるように制御しながら研磨を行う。 (もっと読む)


【課題】AEセンサをなるべく加工点の近くに設置し、加工中にS/N比の良い明瞭なAE信号を検出することによりワークの面粗さの推定及び砥石のドレスタイミングの検出を可能とするとともに、AEセンサの取り付けを容易にする。
【解決手段】研削加工中の加工物に接触してその寸法変化を検出しこれを電気信号として出力する測定ヘッドと、前記測定ヘッドのフィンガー部に取り付けられた接触子と、前記接触子からの電気信号に基づいて前記加工物の寸法を検出し、前記加工物が所定の寸法に加工されるように前記加工物を加工する工作機械を制御する定寸制御手段と、前記工作機械の加工具が前記加工物に接触する際のアコースティックエミッションを検出するため、前記加工物に直接接触する部位に取り付けられたAEセンサと、前記AEセンサの検出信号に基づいて前記加工物の加工状況を検出するAEセンサ制御手段とを備えたことを特徴とする定寸装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】スピンドルの回転が完全に停止したことを表示可能な研削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、研削手段と、研削送り手段と、制御手段92とを備えた研削装置であって、該研削手段は、スピンドル22と、ラジアルエアベアリング80と、スラストエアベアリング82と、ハウジング20と、該スピンドル22の一端に連結されたホイールマウント24と、該ホイールマウント24に着脱可能に装着された研削ホイール25と、該スピンドル22の他端に連結されて該スピンドル22を回転するモータ23と、該ホイールマウント24又は該スピンドル22の何れかに配設された加速度センサ90とを含み、該制御手段92は、該加速度センサ90から出力される加速度値を受信する受信部94と、該受信部94で受信した加速度値を回転速度に変換する変換部96とを含んでおり、該変換部96で変換された回転速度を表示手段上に表示する。 (もっと読む)


【課題】ワークの熱変形に起因して、加工後のワークの寸法誤差とか被研削面の表面粗さの品質低下が発生するのを阻止する。
【解決手段】精研後のスパークアウトが開始された後の時間経過に伴うワークwの熱変形量を推測し、そのスパークアウトの開始後に前記熱変形量を考慮しつつ前記相対変位を制御する寸法誤差最小化研削機能部26、27を備えた研削盤とする。また精研後のスパークアウトが開始された後の時間経過に伴う加工中のワークwの熱収縮量及び熱収縮速度を推測し次にそのスパークアウト過程で研削砥石10をワークwに対し前記熱収縮速度の変化に関連した極微少切込み速度で且つ前記熱収縮量の変化に関連した量だけ一定時間切り込むように相対変位させ次に該相対変位の停止された状態でのスパークアウトをワークwの実寸法が目標寸法となるまで実行させる表面粗さ改善研削機能部28を備えた研削盤とする。 (もっと読む)


【課題】フィレットローリング加工時に発生するフィレットローラに欠けなどの異常を精度よく判定可能なフィレットローリング加工装置及びフィレットローリング装置の異常判定方法を提供する。
【解決手段】フィレットローリング加工装置(100)は、フィレット溝部Fにフィレットローラ(5)を圧接しながら、クランクシャフトSを回転することによりフィレットローリング加工を行う。フィレットローリング加工後、低圧力値でフィレットローラ(5)をフィレット溝部Fに圧接しながら、低回転速度でクランクシャフトSを回転駆動して検出した振動振幅にフィレットローラ(5)における異常の有無を判定する判定手段(15)を備える。 (もっと読む)


【課題】 サファイア基板等に破損が生じる前に研削加工を停止可能な研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、該研削ホイールが連結されるスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着された振動測定手段と、該スピンドルハウジングを支持し該チャックテーブルに対して該スピンドルハウジングを接近及び離反させる方向に移動する研削送り手段と、該振動測定手段から出力される振動情報を受信する受信部と、異常な振動情報が予め記録されている異常記録部と、該受信部が受信した振動情報と該異常記録部に登録された該異常な振動情報とに基づいて該受信部が受信した振動情報の異常を検出し、該研削送り手段を制御する制御部とを有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】砥石部の径方向への拡幅振動により、ワークの被加工穴内径面についての高い加工能率化を実現することができる内径面加工技術を提供する。
【解決手段】ツール本体30と、このツール本体30の一部に設けられ、軸方向振動により径方向へ拡幅振動する構造を有する砥石加工部31と、ツール本体30に軸方向振動を与える超音波振動子32とを備えてなり、超音波振動子32によりツール本体30に軸方向振動が与えられると、この軸方向振動により砥石加工部31が径方向へ拡幅振動して、ワークの被加工穴内径面に対して径方向振動を伴った加工を行う。これにより、ホーニング加工等の内径面加工における加工効率を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】周波数掃引法によって厚み検出を行う圧電振動子の両面ポリッシング加工において、非導電性のポリッシングパッドの厚み、弾性、あるいは使用時間の影響を実質的に受けることなく、共振周波数の高周波数化と表面粗度への要求とに対応することを課題とする。
【解決手段】上定盤11には、流体貯留部34内に開口し、樋25から通電用流体を供給するための注入路32が設けられている。流体貯留部34内には、電極端面331が流体ポケット35より突出しない位置になるように測定電極33が設けられている。測定電極33は、電極端面331を除いて周囲が絶縁壁332により電気的に絶縁されている。 (もっと読む)


【課題】ドレッシング工具のセンタリングを自動的に行い大幅に時間短縮することを可能とする方法並びに装置を得る。
【解決手段】ドレッシング工具(27)を予備センタリングするために軸方向の移動を伴わずに放射方向の装入によって回転する切削ウォーム(11)の周囲部と接触させるとともに切削スピンドル(16)の音響センサの信号および回転角度センサ(18)を使用してねじ山間隙(36)の横断が開始または終止する切削ウォーム(11)の回転角度位置を検出する。次に、ねじ山間隙(36)内に装入されるドレッシング工具(27)を正確にセンタリングするために軸方向の移動によって左右のフランク(38,39)と接触させ、この際音響センサ信号によって予め設定可能な信号レベルを超過した際に軸方向の装入を停止するとともに、ここで到達したドレッシング工具(27)の接触位置から切削ウォームのねじ山間隙(36)の正確な中央を計算する。 (もっと読む)


【課題】砥石車と総形ツルーイングロールの周速度比に係らず砥粒を所望の度合いに破砕するツルーイング方法を提供する。
【解決手段】総形ツルーイングロール9を砥石車7の研削作用面に垂直方向に振動させる加振装置102を備えたツルーイング装置10を用い、砥石車7の回転周期を加振装置102の振動周期で除した値が循環数となる周期と、所望の振幅で、振動させる。この振動で総形ツルーイングロール9の砥粒押込み方向の速度を所望に制御して、砥石車7の砥粒の破砕度合いを制御する。 (もっと読む)


【課題】円筒研削盤1の研削に伴い生じる工作物Wのビビリの低減。
【解決手段】研削加工中に、被加工部の測定点でのビビリの位相と工作物回転速度とビビリの周期を検出することにより、研削作用点での現在の砥石車7の研削作用面と工作物の相対変位の位相を演算する。
相対位置制御手段により前記工作物と前記砥石車の相対位置を、演算された相対変位の位相と逆位相に変位させることで、インプロセスで被加工部のビビリを低減する。 (もっと読む)


【課題】砥石台に複数の砥石が載置された複合研削盤において、装置が大型化することなく、より単純な構成にて振動の発生をより低減することができる複合研削盤における回転バランス調整方法、及び複合研削盤を提供する。
【解決手段】砥石台15上には、第1砥石駆動モータ40Mの回転軸Z40と第2砥石駆動モータ50Mの回転軸Z50とが平行、且つ隣り合うように、第1及び第2砥石装置が載置されており、回転軸Z40に対して対称となる位置が回転軸Z50と一致する仮想対称面MAを仮定し、第1砥石駆動モータの回転方向と第2砥石駆動モータの回転方向が互いに逆方向となるように、且つ回転速度を一致させ、回転中の第1砥石駆動モータのアンバランス位置UB1と、回転中の第2砥石駆動モータのアンバランス位置UB2と、が仮想対称面MAに対して対称位置となるように、第1砥石駆動モータと第2砥石駆動モータとを同期させて回転させる。 (もっと読む)


【課題】ワークの切削状況を高精度にリアルタイムで把握可能な切削方法を提供する。
【解決手段】ワーク10を切削する切削方法であって、ワーク10のテストカットを行う際にスピンドル20に取り付けられた加速度センサ25からの第1出力信号に基づいて基準データを生成する工程と、ワーク10の実カットを行う際に加速度センサ25からの第2出力信号に基づいて実カットデータを生成する工程と、実カットデータが基準データの範囲から外れているか否かを判定する工程と、実カットデータが基準データの範囲から外れている場合に警報を出力する工程とを有し、基準データ及び実カットデータは、加速度センサからの第1出力信号及び第2出力信号のそれぞれに対して、ハイパスフィルタを用いた波形処理を行い、この波形処理で得られた信号を二重積分することにより生成される。 (もっと読む)


【課題】工具に接近するガイド部を用いて工具の振れ量を算出する。
【解決手段】工具210を回転駆動して振れが無視できなくなった状態で工具210に対してガイド部131を移動させ、工具210とガイド部131との接触を振れ検出手段140により検出する。工具210とガイド部131との接触を検出すると、ガイド部131が工具210に接触するまでの移動量を計測する。工具210の振れが無視できる状態でガイド部131が工具210に接触するまでの基準移動量を求めておき、振れが無視できなくなった状態で計測された移動量と基準移動量とに基づいて、工具210の振れ量を算出する。 (もっと読む)


【課題】所望の砥石真直形状が達成できたか否かを判定することのできるドレッシング状態判定方法を提供する。
【解決手段】ドレッシングの際に発生する超音波と、予め定められた複数の標本線との交差点数をMTシステムのT法における微分特性として取得すると共に、各交差点の内、交差点の位置を上回る位置に超音波が存在する交差点間の間隔の和をMTシステムのT法における積分特性として取得し、複数の標本線の内、予め定めら有効標本線における微分特性及び積分特性について、所定の単位空間データによって規準化し、その規準化された微分特性及び積分特性を基にドレッシングによる砥石真直度の推定値を算出し、算出された推定値が所定のしきい値を満足する場合に所望のドレッシング状態に達したと判定するものである。 (もっと読む)


【課題】ワイヤおよびガイドローラに生じる振動を抑制することで切断面品位を高めてワークを切削することを可能にする。
【解決手段】ワイヤ鋸装置1は、ワイヤ2、ガイドローラ3A〜3C、フレーム4、モータ6、ワーク送り部5、センサ7A,7B、および、制御部8を備える。ガイドローラ3A〜3Cは、ワイヤ2が張架される。フレーム4は、ガイドローラ3A〜3Cを回転自在に保持する。モータ6は、設定された速度でワイヤ2を走行させる。ワーク送り部5は、ワイヤ2の側面に対して垂直な方向から、ワイヤ2の側面に向けてワーク50を送る。センサ7A,7Bは、ガイドローラ3B,3Cの位置に関する検出瞬時値を出力する。制御部8は、センサ7A,7Bから入力される検出瞬時値を解析し、検出瞬時値に生じる振動の振幅代表値を検知し、その振幅代表値を低減するようにワイヤ2が走行する速度を設定する。 (もっと読む)


【課題】 切削状況を正確にモニタリング可能な切削装置を提供することである。
【解決手段】 切削装置の切削手段は、スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、スピンドルとスピンドルハウジングとの間に形成されスピンドルの周囲をエアを介して支持するラジアルエアベアリングと、スピンドルの外周にスピンドルと一体的に形成された環状スラストプレートと、環状スラストプレートとスピンドルハウジングとの間に形成され環状スラストプレートをエアを介して支持するスラストエアベアリングとを含んでいる。ラジアルエアベアリングにはスピンドルとスピンドルハウジングとの間のギャップを計測する第1の計測センサーが配設され、スラストエアベアリングには環状スラストプレートとスピンドルハウジングとの間のギャップを計測する第2の計測センサーが配設されており、第1の計測センサーと第2の計測センサーからのギャップ計測値に基づきモニタ上で切削状況をモニタする。 (もっと読む)


【課題】
ダミーウェーハを使用せずに加工用砥石とウェーハまたはツルアーとの相対的位置または加工砥石直径を決定し、短時間で無駄なく面取り形状精度を向上させる面取り加工装置及び面取り加工方法を提供すること。
【解決手段】
ウェーハWまたはツルアーTに供給される加工補助液Lを介して設けられたセンサ3によりウェーハWまたはツルアーTと加工用砥石との接触を検知し、接触した座標位置から相対的座標位置または加工用砥石直径を決定する。 (もっと読む)


【課題】 力センサなどのセンサを使用することなく、しかも、精度よく砥石とワークとの接触を検知することができる研削装置を提供する。
【解決手段】 接触前からインプロセスゲージを使用して(S1)、インプロセスゲージ値を収集する(S2)。このインプロセスゲージ信号は、LPF処理され(S3)、インプロセスゲージ信号の振幅量が閾値と比較される(S4)。インプロセスゲージ信号の振幅は、最初は大きくて徐々に小さくなっていくので、ある時点で閾値よりも小さくなり、これによって、砥石がワークに接触したと判定される(S5)。 (もっと読む)


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