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Fターム[3C043BA03]の内容

円筒・平面研削 (5,214) | 汎用平面研削 (896) | 工作物支持テーブルが回転するもの (190)

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【課題】加工室カバーを小型化できると共に、加工室カバーの外部でキャリアプレートに対するワークの着脱を行うことができる両頭研削盤を提供する。
【解決手段】両頭研削盤1において、キャリアプレート30は、キャリア軸23を中心とする90度未満の中心角αを持つ扇形の外形形状を呈すると共にワークポケット33が複数形成された一対のキャリア部31,32を有し、キャリア軸23は、当該キャリア軸23の中心線CLの延長方向から見て、加工室カバー40の内外の境界部に設置され、キャリア軸23の回転に従って、キャリア部31,32が加工室カバー40の内部に対して出入りする。 (もっと読む)


【課題】吸着保持面を有するチャックテーブルにおいて板状ワークを保持する場合に、吸着保持面が完全に覆われるように板状ワークを載置できるようにする。
【解決手段】チャックテーブル2に位置決めブロック24が固定され、位置決めブロック24には板状ワークWのオリエンテーションフラットOFと吸着保持部20に形成されたフラット部200とを平行にする角度位置決め部243と、角度位置決め部243の両端に設けられチャックテーブル2の中心と板状ワークW中心とを一致させる2つの中心位置決め部244とを備え、板状ワークWを位置決めブロック24に押し当てるだけで、板状ワークWの角度と中心位置をあわせることができ、板状ワークWを容易かつ確実に吸着保持することができる。 (もっと読む)


【課題】 貫通電極付きセラミック基板の研削加工速度を向上させる。
【解決手段】 貫通電極付きセラミック基板(ワーク)wのカップホイール型研削砥石3aによる研削加工作業と一緒に前記カップホイール型研削砥石3aの刃先3agをドレッサー4の成形砥石4gでインプロセスドレッシング作業を行う。 (もっと読む)


【課題】外周に欠けを発生させることなく所定の厚みに研削することができるサファイア基板の研削方法を提供する。
【解決手段】被研削面と被研削面と反対側の支持面とを有し外周部に被研削面および支持面に対してそれぞれ45度の角度を持った面取り部が形成されたサファイア基板の被研削面を研削する研削方法であって、サファイア基板の支持面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、保護テープ側を研削装置のチャックテーブルの保持面上に保持し、サファイア基板の被研削面を研削する研削工程とを含み、研削工程は、サファイア基板の支持面側に形成された面取り部の外周面側端部から50μm以上被研削面側の位置で研削を終了する。 (もっと読む)


【課題】表面に金属膜が被覆された硬質基板を研削して金属膜を除去可能な硬質基板の研削方法を提供する。
【解決手段】硬質基板の研削方法であって、硬質基板の裏面を保持して該金属膜を露出させる保持工程と、チャックテーブルを回転させると共に、研削ホイールを回転させながら研削送りして、該チャックテーブルに保持された硬質基板の表面に被覆された該金属膜を研削する金属膜研削工程と、該金属膜が研削されて露出した硬質基板を引き続き研削して硬質基板を所定の厚みに形成する硬質基板研削工程とを具備し、該金属膜研削工程は、該研削ホイールを駆動するモータの負荷電流値が所定の値を超えて上昇した際に該金属膜から該研削砥石を離反させる離反工程と、該金属膜に該研削砥石を再度接触させて該金属膜を研削する接触工程とを含み、該離反工程と該接触工程とを繰り返し実施して該金属膜を研削して除去する。 (もっと読む)


【課題】 被加工物を研削して薄く加工しても割れが生ずることのない被加工物の研削方法を提供することである。
【解決手段】 研削砥石を有する研削ホイールで被加工物を研削する研削方法であって、研削を実施中に、研削砥石の端面の下に被加工物が侵入する研削砥石に対する被加工物の少なくとも入口側で被加工物上に圧力を付与する。これにより、研削砥石に対する該入口側の被加工物を該端面の下の被加工物に対して平坦にしつつ研削を遂行する。 (もっと読む)


【課題】中心から外周に向けて徐々に厚くなるように保護膜を被覆する保護膜被覆機構を備えるとともに、被加工物を均一な厚みに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物10を保持する円錐状の保持面を備えたチャックテーブル532と、研削手段と、研削送り手段と、支持面に液状樹脂を滴下し被加工物を回転させて支持面に保護膜210を被覆する保護膜形成手段とを具備する研削装置であって、保護膜210の厚みを計測する厚み計測手段と、対面態を調整する対面状態調整手段と、保護膜210の厚み情報を記憶するメモリを備え、厚み情報に基づいて対面状態調整手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は、保護膜210の厚み情報に基づいて保護膜210の外周から中心に至る勾配を求め、外周から中心に至る勾配とチャックテーブル532の円錐状の保持面における外周から中心に至る勾配に基づいて対面状態調整手段を制御する。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板に研削砥石を接触させる際、研削水の供給を停止して乾式で硬質基板を僅かに研削する乾式研削工程と、該乾式研削工程に引き続き、研削水供給手段を作動して研削水を供給しながら硬質基板を研削する湿式研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、研削送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された硬質基板の上面より研削砥石の研削面が僅かに下になる様に研削手段を位置づける研削手段位置付け工程と、該研削ホイールを回転させるとともに位置付け手段を作動して該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルを研削位置まで移動する移動工程と、該研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ワークの一面を被覆する硬化した樹脂を容易に剥離できる樹脂剥がし装置を提供する。
【解決手段】円盤状のワークWの表面に貼りついた硬化樹脂膜Rを前記ワークWから剥離する樹脂剥がし装置であって、前記硬化樹脂膜Rは前記ワークWのエッジ全周からはみ出した状態で前記ワークWの表面に貼りついており、前記ワークWの裏面を吸着保持する保持面10hが形成された保持部10aと、前記保持部10aに保持された前記ワークWに貼りついた前記硬化樹脂膜Rのうち前記ワークWのエッジからはみ出した箇所に前記ワークWの裏面から表面に向けて外力を与える外力付与部10bと、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、硬質基板の研削すべき面を荒らす面荒らし工程と、硬質基板の荒れた面が露出するようにチャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で研削手段を研削送りしながら該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して第1の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板に研削砥石を接近させ、研削砥石が硬質基板に接触した瞬間を厚み検出手段によって検出する接触検出工程と、該接触検出工程によって該研削砥石と硬質基板との接触を検出した後直ちに該研削送り手段を作動して該研削砥石を硬質基板から離反させる離反工程と、該研削送り手段を作動して該第1の研削送り速度よりも遅い第2の研削送り速度で該研削砥石を研削送りしながら該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 加工品質の悪化や加工不良、ウエーハの破損を抑制可能なリチウムタンタレートの研削方法を提供することである。
【解決手段】 リチウムタンタレートの研削方法であって、リチウムタンタレートをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持されたリチウムタンタレートを所定の回転周速度で回転させ、研削液を供給しつつ研削砥石を有する研削ホイールを所定の回転周速度で回転させながら該研削砥石をリチウムタンタレートに当接させてリチウムタンタレートを研削する研削ステップとを具備し、該研削液の温度は5℃以上15℃以下であり、リチウムタンタレートの回転周速度は47.85m/分以上79.76m/分以下であり、該研削ホイールの回転周速度は879.2m/分以上1381.6m/分以下である、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】研削砥石による研削加工部に供給された研削水の流動性を良好にすることにより、脱落した砥粒や研削砥石に詰まった砥粒を流すことができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、研削手段がスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントに取り付けられたホイール基台とホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置であって、研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている。 (もっと読む)


【課題】従来よりも容易かつ正確に、球面曲率を有するウエハホルダを製造できるウエハホルダの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体1は、球面形状を有する凸状の表面5を有し、基板固定工程S21では、支持体1の表面5に基板100を載置し、かつ基板100を支持体1に固定し、前記基板研削工程S22では、基板100が支持体1に固定された状態において基板100の研削された表面が平面となるように、基板100の表面を研削する。 (もっと読む)


【課題】縦長のワークについて、ワーク高さを均一に加工するとともに、その一平坦面を中凸面形状に研削加工することができる片面研削技術を提供する。
【解決手段】回転する砥石車1の平坦な研削砥石面1aと、砥石車1に対向して固定的に配置した押えガイド2の研削案内面2aとから形成された研削部GPに、ワークWを通し送りしながらその底面Wbを片面研削する。押えガイド2の研削案内面2aは、ワークWの研削代分hを研削する研削砥石面1aの部位に対向して配置される切込み傾斜案内面5と、切込み傾斜案内面5に連続して設けられる研削砥石面1aと平行な平坦案内面6と、平坦案内面6に連続して設けられる切込み傾斜案内面5と逆の傾斜とされた逃し傾斜案内面7とを備えてなる。 (もっと読む)


【課題】研削加工装置の搬送ロボットの電池の残量がなくなることによって搬送ロボットにおける各軸の位置の記憶が消えないようにする。
【解決手段】主電池部55aの残量がなくなった場合等に使用する予備電池部55bを電池部55に備え、主電池部55aの残量がなくなった場合でも予備電池部55bからの電力供給によって記憶部54の記憶内容を維持し、搬送ロボット5の軸部51a〜51dの位置に関する情報が記憶部54において保持されるようにする。また、記憶部54への電力の供給源が主電池部55aから予備電池部55bに切り替わった際に予備電池部55bが使用されていることをオペレータに知らせる警告部57を備え、主電池部55aの残量が少なくなった場合又はなくなった場合に主電池部55aを迅速に交換することを可能とする。 (もっと読む)


【課題】吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度が許容範囲であるか否かを容易に確認することができる平行度確認治具を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、下面に被加工物を吸引保持する吸着面を有する吸引保持パッドを備えチャックテーブルに被加工物を搬入または搬出する搬送手段とを具備する加工装置における、吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度を確認する平行度確認治具あって、第1の厚みを有する第1の厚み確認部と第2の厚みを有する第2の厚み確認部とを具備し、第1の厚み確認部の第1の厚みは該吸引保持パッドを基準待機位置に位置付けた状態においてチャックテーブルの保持面と吸引保持パッドの吸着面との基準間隔に設定されており、第2の厚み確認部の第2の厚みは第1の厚みより僅かに厚い許容できる平行度の上限値に設定されている。 (もっと読む)


【課題】割れ易い方向を有する電子部品素子が集合されているワークの厚みをインフィード研削により薄くすることができ、しかも電子部品素子の割れや欠けが生じ難い、ワークの研削方法を提供する。
【解決手段】回転駆動されるチャックテーブル12の回転中心Oがワーク6の下面の外側に位置するようにチャックテーブル12上にワーク6を配置し、チャックテーブル12を回転させつつ、ワーク6の上面に、チャックテーブル12と同一方向に回転駆動されている研削ホイール13を当接させ、ワーク6を上面から研削する、ワークの研削方法。 (もっと読む)


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