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Fターム[3C043BA15]の内容

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Fターム[3C043BA15]に分類される特許

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【課題】外周に欠けを発生させることなく所定の厚みに研削することができるサファイア基板の研削方法を提供する。
【解決手段】被研削面と被研削面と反対側の支持面とを有し外周部に被研削面および支持面に対してそれぞれ45度の角度を持った面取り部が形成されたサファイア基板の被研削面を研削する研削方法であって、サファイア基板の支持面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、保護テープ側を研削装置のチャックテーブルの保持面上に保持し、サファイア基板の被研削面を研削する研削工程とを含み、研削工程は、サファイア基板の支持面側に形成された面取り部の外周面側端部から50μm以上被研削面側の位置で研削を終了する。 (もっと読む)


【課題】サファイア基板効率よく研削することができるサファイア基板の研削方法を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持面を有し回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するダイヤモンド砥粒をボンド剤で固定した研削砥石が環状に配設された研削ホイールを備えた研削手段と、研削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直な研削送り方向に研削送りする研削送り手段とを具備する研削装置を用いてサファイア基板を研削するサファイア基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面にサファイア基板を保持する保持工程と、サファイア基板を保持した該チャックテーブルを回転するとともに研削ホイールを回転しチャックテーブルの中心を研削砥石が通過するように位置附けて該研削送り手段を作動して研削送りする研削工程とを含み、チャックテーブルの回転速度は500〜1000rpmに設定され、研削ホイールの回転速度は500〜800rpmに設定される。 (もっと読む)


【課題】方形ワークの3面(XZ面、YZ面、XY面)の直角出し研削加工をなす安価な平面研削装置を提供する。
【解決手段】中央プレーン砥石車部2bの両側面に10〜45度の傾斜角を有するアンギュア砥石車部2a,2cが一体化された外周縁断面が傾斜−平行−傾斜形状を示す複合研削砥石車2を用い、ワークテーブルを往復動させつつ、方形ワークWのXY面、XZ面をアングラー砥石車部2a、2cで平面研削し、ワークテーブルを移動せず、砥石軸を上下方向移動および前後方向移動させて、方形ワークWのYZ面をプレーン砥石車部2bで平面研削する。 (もっと読む)


【課題】サファイア基板等の硬質基板を損傷させることなく所定の厚みに研削することができる硬質基板の研削方法を提供する。
【解決手段】環状のフレーム3に装着され紫外線を照射することによって硬化する粘着層32を有する粘着テープ30の粘着層に硬質基板2の被研削面と反対面を貼着する工程と、硬質基板より大きい押圧面を有する第1の押圧部材41と第2の押圧部材42とによって粘着テープと硬質基板とを挟んで所定の温度で加熱しつつ所定の圧力で所定時間押圧することにより、硬質基板の外周から粘着層を盛り上がらせて硬質基板の外周部を囲繞する環状の保持土手322を形成する工程と、保持土手形成工程が実施された粘着テープに紫外線を照射し、粘着テープの粘着層における少なくとも保持土手を含む内側の領域を硬化せしめる工程と、粘着層硬化工程が実施された粘着テープ側を研削装置のチャックテーブルに保持し、硬質基板の被研削面を研削する。 (もっと読む)


【課題】量産コストを低減させることができる圧粉磁心の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁被覆処理された純鉄粉又は鉄を主成分とする鉄系合金粉末を金型を用いて加圧成形して圧粉磁心を得る工程S1、得られた圧粉磁心に熱処理を施す工程S2、及び熱処理された圧粉磁心の少なくとも一部に研削砥石を用いた後加工を施す工程S3を含んでいる。前記後加工を施す工程において、圧粉磁心及び研削砥石を自転させつつ研削加工を施すことで圧粉磁心の加工面に生じる加工跡を等方性にする。 (もっと読む)


【課題】ワークの両側面を研削する一対の研削砥石の切れ味の違いを極力解消でき、所定の研削精度を長期間にわたって安定的に維持できるようにする。
【解決手段】薄板状ワークWを保持する一対の静圧パッド1,2と、静圧パッド1,2間に保持されたワークWの両側面を研削する一対の研削砥石5,6と、研削中のワークWの両側面の位置を測定する一対の測定ヘッド9,10と、ワークWの両側面の基準値M1,M1と各測定ヘッド9,10の測定値M1,M1との減算により算出したワークWの両側面の位置を比較して両研削砥石5,6の切れ味差を求める切れ味比較手段26と、両研削砥石5,6に切れ味差があるときに、両研削砥石5,6の切れ味が同じになるように、研削砥石5,6の切れ味に関係する研削条件を切れ味差に応じて補正する研削条件補正手段27とを備えている。 (もっと読む)


【課題】ワークの両側面を研削する一対の研削砥石の切れ味の違いを極力解消できるようにする。
【解決手段】薄板状ワークWを保持する一対の静圧パッド1,2と、一対の静圧パッド1,2間に保持されたワークWの両側面を研削する一対の研削砥石5,6と、研削中のワークWの両側面の位置R1,R2を測定する一対の測定ヘッド9,10と、ワークWの研削精度が基準精度内に収まったときの測定ヘッド9,10の測定値M1,M2からワークWの相対位置Xを算出する演算手段22と、その相対位置Xと静圧パッド1,2間にワークWが適正に保持されるべき研削基準位置X0とを比較して差分を求める位置比較手段24と、両者に差分があるときに当該ワークWの研削後に両者の差分に応じて研削砥石5,6の研削後退端を補正する後退端補正手段25とを備えている。 (もっと読む)


【課題】 透明板状物の外周エッジを的確に検出できるエッジ検出装置を提供することである。
【解決手段】 第1面及び該第1面と反対側の第2面を有する透明板状物のエッジを検出するエッジ検出装置であって、透明板状物より小さい支持面を有し該支持面で透明板状物の該第1面側を支持する支持台と、該支持面より下方に配設されて該支持台で支持された透明板状物の該第1面に向かって光を照射する光源と、該光源と該支持面との間に配設されて該光源から透明板状物の外周エッジに照射される光を遮光するとともに、該支持台を囲繞する透明板状物のサイズより小さい開口を備え、該開口を通して該光源から照射された光の一部を透明板状物に照射するマスク部と、該支持面に対面して配設されて該光源からの光が照射された透明板状物の第2面側を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像された撮像画像に基づいて透明板状物の外周エッジを検出するエッジ検出部を有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被加工物を外周部に環状の凸部を残して凹部に研削することができるとともに、被加工物の全面を研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】研削手段をチャックテーブル6の保持面に対して相対的に平行に移動しチャックテーブル6に保持された被加工物10の全面を研削する第1の研削位置と、被加工物10を外周部に環状の凸部を残して凹部に研削する第2の研削位置に位置付ける位置きめ手段を具備し、研削砥石332の環状の研削帯域の外径は被加工物10の半径より大きく、研削すべき凹部の直径より小さく設定され、研削砥石332の環状の研削帯域の内径は研削すべき凹部の半径より小さく設定されており、環状の研削帯域の幅は研削砥石332が第1の研削位置および第2の研削位置のいずれに位置付けられた状態においても環状の研削帯域がチャックテーブルに保持された被加工物10の回転中心を通過する寸法に設定されている。 (もっと読む)


【課題】中心から外周に向けて徐々に厚くなるように保護膜を被覆する保護膜被覆機構を備えるとともに、被加工物を均一な厚みに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物10を保持する円錐状の保持面を備えたチャックテーブル532と、研削手段と、研削送り手段と、支持面に液状樹脂を滴下し被加工物を回転させて支持面に保護膜210を被覆する保護膜形成手段とを具備する研削装置であって、保護膜210の厚みを計測する厚み計測手段と、対面態を調整する対面状態調整手段と、保護膜210の厚み情報を記憶するメモリを備え、厚み情報に基づいて対面状態調整手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は、保護膜210の厚み情報に基づいて保護膜210の外周から中心に至る勾配を求め、外周から中心に至る勾配とチャックテーブル532の円錐状の保持面における外周から中心に至る勾配に基づいて対面状態調整手段を制御する。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、硬質基板の研削すべき面を荒らす面荒らし工程と、硬質基板の荒れた面が露出するようにチャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で研削手段を研削送りしながら該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して第1の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板に研削砥石を接近させ、研削砥石が硬質基板に接触した瞬間を厚み検出手段によって検出する接触検出工程と、該接触検出工程によって該研削砥石と硬質基板との接触を検出した後直ちに該研削送り手段を作動して該研削砥石を硬質基板から離反させる離反工程と、該研削送り手段を作動して該第1の研削送り速度よりも遅い第2の研削送り速度で該研削砥石を研削送りしながら該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、該チャックテーブルを研削位置に位置づける位置付け工程と、研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板に研削砥石を接触させる際、研削水の供給を停止して乾式で硬質基板を僅かに研削する乾式研削工程と、該乾式研削工程に引き続き、研削水供給手段を作動して研削水を供給しながら硬質基板を研削する湿式研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 硬質基板を損傷させることなく研削可能な硬質基板の研削方法を提供することである。
【解決手段】 硬質基板の研削方法であって、チャックテーブルの保持面で硬質基板を保持する保持工程と、研削送り手段を作動して該チャックテーブルに保持された硬質基板の上面より研削砥石の研削面が僅かに下になる様に研削手段を位置づける研削手段位置付け工程と、該研削ホイールを回転させるとともに位置付け手段を作動して該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルを研削位置まで移動する移動工程と、該研削送り手段を作動して所定の研削送り速度で該チャックテーブルに保持された硬質基板を研削する研削工程と、硬質基板が所望の厚みに達した際研削を終了する研削終了検出工程と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ワークテーブルに回転支持されたワークを、コラムに設けられた砥石車により研削加工する立型研削盤において、高精度な研削加工を実施することができる配置構成を備えた研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車3を回転支持する砥石台10の旋回ユニット11の旋回テーブル21に対する配置構成は、砥石台10に回転可能に軸承される砥石車3の砥石軸20が旋回テーブル21の旋回軸21aに対してワークWを回転支持するワークテーブル1側となるように配置されている。これにより、旋回テーブル21とワークWの干渉がなくなり、旋回テーブル21をワークWから上下方向に離隔させる必要がなく、砥石軸20の長さを小さく設定することができる。 (もっと読む)


【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎスライシング装置と四角柱状インゴットの四隅Rコーナー部と四側面の研削面取り加工装置をインライン化して複合面取り加工機に設計する際、一方の装置で面取り加工しているときに他方の装置でもインゴット面取り加工できる装置の提供。
【解決手段】 インゴットのクランプ機構を一対7,7’用い、かつ、スライシングステージ90と研削面取り加工ステージ11間を結ぶライン上にインゴットの受け渡しステージ80を新たに設け、インゴットのローディングステージ8Rとアンローディングステージ8Lをそれぞれ前記クランプ機構待機位置70と60の正面前側に設けた複合面取り加工装置1。 (もっと読む)


【課題】従来よりも容易かつ正確に、球面曲率を有するウエハホルダを製造できるウエハホルダの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体1は、球面形状を有する凸状の表面5を有し、基板固定工程S21では、支持体1の表面5に基板100を載置し、かつ基板100を支持体1に固定し、前記基板研削工程S22では、基板100が支持体1に固定された状態において基板100の研削された表面が平面となるように、基板100の表面を研削する。 (もっと読む)


【課題】 ステンレス鋼スラブの表面をグラインダーによって手入れするにあたり、研削バリの除去作業を設けなくても、製品の表面品質を確保することができる、生産性に優れた表面手入れ方法を提供する。
【解決手段】 熱間圧延時にスラブ幅が圧下されるステンレス鋼スラブをグラインダーによって手入れする方法において、回転方向がスラブ長手方向に対して傾斜したグラインダー砥石2を、固定したスラブ1の一方の端部から他方の端部に向かって移動させて研削し、スラブ端部に到達したなら、グラインダー砥石を1回の研削面の幅に相当する長さ分またはそれよりも少ない長さ分だけ幅方向にずらし、当該砥石を前回の移動方向とは逆方向に移動させて表面を研削し、この操作を反復繰り返しする表面手入れ方法であって、グラインダー砥石の回転方向下流側に位置するスラブコーナー部は、研削を行わずに未研削のままとする。 (もっと読む)


【課題】縦長のワークについて、ワーク高さを均一に加工するとともに、その一平坦面を中凸面形状に研削加工することができる片面研削技術を提供する。
【解決手段】回転する砥石車1の平坦な研削砥石面1aと、砥石車1に対向して固定的に配置した押えガイド2の研削案内面2aとから形成された研削部GPに、ワークWを通し送りしながらその底面Wbを片面研削する。押えガイド2の研削案内面2aは、ワークWの研削代分hを研削する研削砥石面1aの部位に対向して配置される切込み傾斜案内面5と、切込み傾斜案内面5に連続して設けられる研削砥石面1aと平行な平坦案内面6と、平坦案内面6に連続して設けられる切込み傾斜案内面5と逆の傾斜とされた逃し傾斜案内面7とを備えてなる。 (もっと読む)


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