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Fターム[3C047AA00]の内容

研削機械のドレッシング及び付属装置 (4,541) | ドレッシング一般 (865)

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【課題】砥石表面の切れ刃分布の定量的な評価を可能とする砥粒切れ刃分布測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】回転軸心周りに回転して外周の作業面11aで工作物を研削するための砥石11の切れ刃分布を測定する砥粒切れ刃分布測定装置1であって、長手方向中間部に作業面11aを回転状態で接触させるセンサ本体3と、作業面11aの切れ刃が接触するセンサ本体3の接触点から入力された接触信号がセンサ本体3の両端部3a,3bに伝播された伝播信号を検出する第1、第2センサ5,7と、センサ本体3の接触点から両端部3a,3bに到達する両伝播信号の時間差とセンサ本体3の既知の信号伝播速度Vとにより接触点からセンサ本体3の両端部3a,3bまでの距離を演算して作業面11aの切れ刃分布を求める演算部9とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


研磨パッドコンディショニングディスクを化学機械研磨システム内で交換する方法及び装置が提供される。前記装置は、使用済みコンディショニングディスクをパッドコンディショニングアセンブリから取り外し、未使用コンディショニングディスクを前記パッドコンディショニングアセンブリに装着するディスクロード/アンロードステーションと、使用済みコンディショニングディスク及び未使用コンディショニングディスクの両方を収容する1つ以上のディスク収納ステーションと、使用済みコンディショニングディスク及び未使用コンディショニングディスクの両方を前記ディスクロード/アンロードステーションと前記1つ以上のディスク収納ステーションとの間で搬送するために十分な移動範囲を持つ中央ロボットとを備える。本明細書において記載される実施形態によって、システムの中断時間を、安全装置を作動させてシステムにロックを掛けて研磨パッドコンディショニングディスクを交換するという必要を無くすことにより短くすることができる。
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【課題】 良好な品質で研削を行う。
【解決手段】 (a)作用面上の周方向に沿って第1の方向が固定的に画定された砥石であって、作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、作用面をドレスされた砥石を準備する。(b)被研削面に第2の方向が固定的に画定された研削対象物を準備する。(c)ドレスされた砥石の作用面を研削対象物の被研削面に接触させ、砥石を回転させながら、回転する砥石の作用面が第2の方向と平行な方向に沿って、研削対象物の被研削面上を移動するように、砥石と研削対象物とを相対的に移動させて、研削対象物の被研削面を研削する。工程(c)は、(c1)砥石が研削対象物の被研削面と接触する位置における第1の方向と、第2の方向とを同一の方向とする条件で、砥石を、第1の方向に回転させるとともに、研削対象物上を第2の方向に移動させる工程を含む。 (もっと読む)


【課題】ワークの大型大寸法化に伴いますます難しくなって来ている研磨の再現性精度を高め、高精度の平面研磨を持続可能とする研磨方法及び研磨装置を提供する。
【解決手段】水平面を有する支持台11に配置された矩形大型ワーク1の表面を、そのワーク1の大きさより小さい研磨定盤20にエアシリンダにより加圧圧力を加えるとともに回転駆動モータで回転力を与えて平面上を移動させ、かつ研磨定盤20へ研磨液をスラリー制御部から供給しつつ平面研磨する研磨装置において、予め設定されたモータ回転数、エア圧及び目標電源の設定値に基づき、エアシリンダのエア圧を圧力制御部を介して制御するか、または回転駆動モータに対する過去データとして持つ研磨パターンに対応する駆動電力を記録した研磨パターンデータ記憶部を有し、エアシリンダのエア圧を圧力制御部を介して制御する。 (もっと読む)


【課題】 作業性が容易であり、また、効率よくツルーリングを行う。
【解決手段】 砥粒が固定された複数本のワイヤーWを並べて、ワイヤーWに張力を与えながら巻き取るワイヤー巻取手段10と、回転軸方向に作用面が向く回転工具Bを保持し、回転させながらワイヤー巻取手段10に回転工具Bを押し当てる工具保持回転押圧手段20と、を備え、ワイヤーWが1本からなり、回転工具Bが押し当てられる前後の位置にローラーLが設けられ、これらローラーLにワイヤーWを巻きつけて、回転工具Bが押し当てられる位置で当該ワイヤーWを複数本並べた状態としたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 研削後に整形された研削砥石においてクラックが発生した不安定な砥粒や結合剤のみを強制的に除去することによりスクラッチ傷の発生がない研削砥石を再生することができる研削砥粒除去装置を提供すること。
【解決手段】 研削砥石82により被加工物を研削した後に、研削砥石82を工具により整形する研削盤80に用いられる研削砥粒除去装置10であって、非鉄材料により成形され、工具により整形した後に研削砥石82の表面に押し付ける押し付け部材15を備えた研削砥粒除去装置10。 (もっと読む)


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