【課題】上下両定盤の修正状態をできるかぎり同一として、マッチングのとれた定盤面を形成してワークを高精度で両面研磨する。
【解決手段】回転可能に配置された研磨用サンギア１１１と、研磨用サンギア１１１との間に環状領域１２１を形成するインターナルギア２２と、環状領域内に回転可能に配置された環状の下定盤２０と、下定盤２０の上側に回転可能に配置された環状の上定盤３０と、を備え、下定盤２０、上定盤３０、サンギア部材１１０、及びインターナルギア２２を夫々予め定めた回転方向、及び速度で回転させ、研磨キャリア１０で保持したワーク１１の両面研磨後、研磨用サンギア１１１に代えて、研磨用サンギア１１１のピッチ円径Ｒａより小さいピッチ円径Ｒｂを備えた修正用サンギア１１２を配置し、環状領域に研磨キャリア１０のピッチ円径ｒａより大きいピッチ円径ｒｂの修正キャリア２３０を配置し、下定盤２０、及び上定盤３０の修正を行う。 （もっと読む）

【課題】 木材や金属等の被研磨材の研磨を行なうオービタルサンダで、ベースで発生した振動がモータを通じハウジングに伝わり、作業者へ振動を与えることを低減する。
【解決手段】
モータ４の回転軸４Ａを覆うように円筒形の弾性体１０を設置し、モータ４の駆動力が弾性体１０を介してファン５へと伝えるように構成した。ファン５の下側には偏心軸５Ａが形成され、偏心軸５Ａに軸受６Ｂを介してベース７が保持される。モータ４が回転すると偏心軸５Ａの作用によってベース７がオービタル駆動され、縦横に細かく振動する。回転軸４Ａを覆うように弾性体１０があることで、ベース７からハウジング３に伝わる振動を低減することができ、作業効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】濾過材料の局部的なスラッジの堆積を防止すること。
【解決手段】冷却媒体を循環させる循環経路に設けられ、冷却媒体を貯留させるコンベアタンク（濾過槽）２２と、前記コンベアタンク２２内にて前記冷却媒体に混在するスラッジを取り除く濾過材料２３とを有する冷却媒体濾過装置において、前記コンベアタンク２２に貯留される冷却媒体に浸された状態で冷却媒体を排出する排出部５０が、異なる複数方向に向けて排出口５０ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属製品または非金属製品の成形または切断作業時に発生するバリを自動で除去するだけでなく、デバーリング作業時に発生する騒音及び異質物による作業空間汚染を最小化することができるデバーリング装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明に係るデバーリング装置は、ベースの上に設けられてデバーリング対象物を移送する移送経路を形成する移送モジュール、ベースの上のデバーリング対象物の移送経路の上に設けられてデバーリング対象物をデバーリングするデバーリングモジュール、及びベースの上に往復動可能に設けられて移送モジュール及びこの移送モジュールの上のデバーリング対象物が外部に露出することを選択的に遮断するだけでなく、デバーリングモジュールを用いたデバーリング対象物のデバーリング作業時に発生する粉塵及び騒音が外部に伝えられることを防止する遮断カバーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カップ形砥石の砥粒面と被加工物の摺接部である加工点へ研削液を効率よく供給し、加工点に給液された研削液を周辺に飛散させずに回収することができる給液構造を提供する。
【解決手段】カップ形砥石２０の全周を覆うように筒状のカバー３０が設けられ、カップ形砥石２０の台金２１には、中央壁部２２のスピンドル１０側の面に設けた受液部２５から中央壁部２２を貫通し、周壁２３の内側に開口した複数の給液穴２６が形成され、カバー３０は、台金２１の周壁２３及び砥粒層２４の外周を小間隙Ｓを介して取り囲む円筒状周壁３１を有し、カップ形砥石２０の回転により研削液を小間隙Ｓ内を通してカバーの内側方向に移動させるポンプ手段２７，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】化学機械研磨装置において、コンディショニングディスクを駆動するアームおよび軸受け部を適切に管理できる方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドを担持したプラテンを回転させながら、前記研磨パッドの表面をコンディショニングディスクによりドレッシングする工程を含み、前記コンディショニングディスクを前記研磨パッドの表面に押圧し、さらに前記アームを前記アームの回転軸回りで回転運動させ、前記コンディショニングディスクの位置を、前記プラテンの径方向上に、前記プラテンの中心部と外周部との間で変化させることにより実行され、前記ドレッシングの際、前記アームに作用するトルクの平均値＜Ｎ＞および変動幅Ｙを、前記コンディショニングディスクの、前記プラテンの径方向上における複数の位置にわたって求め、前記トルクの平均値＜Ｎ＞および前記トルクの変動幅Ｙの値をもとに、前記アームに対するメンテナンスの要否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研磨面に供給された研ぎ水を一瞬の間に飛散させることなく、適正な研磨に必要な研ぎ水を研磨面に供給できる電動刃物研ぎ機を提供することを目的とする。
【解決手段】 研磨砥石８を有する回転研磨部材９が、回転用駆動装置により回転される回転軸７に一体回転可能に固定され、回転している研磨砥石８の研磨面１９に研ぎ水を供給することによりその研磨面１９で刃物を研磨する電動刃物研ぎ機１であって、研磨面１９に供給される研ぎ水にあらかじめ研磨砥石８の回転と同じ回転の慣性を与える手段を有する。 （もっと読む）

【課題】破砕したコンクリート片等の比較的大きな異物が先端工具側から遠心ファン側へ侵入することを防止して、この集塵カバーの作動信頼性を高めることである。
【解決手段】集塵カバー３１のカバー本体３４に隔壁３４ｂを設け、この隔壁３４ｂにより、カバー本体３４に遠心ファン３２を収容するボリュートケース部３５とボリュートケース部３５から突出してダイヤモンド砥石ホイール１９の全周を覆うカバー部５１とを設ける。隔壁３４ｂにカバー部５１とボリュートケース部３５とを連通させる吸入口５３を設ける。また、隔壁３４ｂに遠心ファン３２の回転方向に向けて延びるとともにカバー本体３４の軸心に向けて曲がる円弧形状に形成された複数のリブ６２を設ける。これらのリブ６２の先端を吸入口５３に突出させ、リブ６２の吸入口５３に突出した部分と、これらのリブ６２の先端を連結するリング体６３とにより網状部７１を構成する。 （もっと読む）

【課題】回転軸に対する着脱を容易にした円盤状工具、円盤状工具を備えた電動工具を提供する。
【解決手段】回転軸６３への螺合用のネジ孔３０を中心に備えた円盤状工具であって、ネジ孔を中心とする円周上に、複数の貫通孔４０を円周方向に所定間隔をおいて形成すると共に、少なくとも一部の貫通孔の間隔Ｃを、回転軸への着脱操作用の工具７０に設けた一対の係合部７２、７２が係合可能な間隔とした。さらに貫通孔４０を、使用時に発生する粉塵を集塵する集塵孔と兼用した。 （もっと読む）

【課題】ツルアの支持剛性を十分に確保することにより砥石車の形状成形精度を良好にしつつ、ツルアの偏摩耗の発生を防止することができる研削盤および砥石車のツルーイング方法を提供する。
【解決手段】砥石台６０は、砥石車６３の中心軸である第二軸Ｃ１の回りに回転可能に砥石車６３を支持すると共に、第二軸Ｃ１に直交する第三軸Ｂの回りに回転可能にベッド１０に支持される。制御手段８０は、ベッド１０に対して砥石台６０を第三軸Ｂの回りに回転させながら、砥石車６３におけるツルア７２との接線Ｅに対するツルア７２の向きが一定の状態となるように砥石車６３のツルーイングを行う。 （もっと読む）

【課題】仕切り板を有するターンテーブルの回転時に、非接触式の厚さ検出手段を退避させることなく厚さ検出手段への仕切り板の干渉を防ぎ、ワークを次の加工位置に移動させて加工を再開するまでに要する時間を短縮する。
【解決手段】ワーク１の加工時にはターンテーブル１６側の下側仕切り板６０のシャッター６４を仕切り位置に位置付け、ターンテーブル１６上の複数の加工位置の間を下側仕切り板６０で仕切った状態とする。そしてターンテーブル１６を回転させてワーク１を移動させる際には、下側仕切り板６０のシャッター６４を開位置に位置付け、シャッター６４が開いた許容空間６３ａを厚さ検出手段４０が通過して干渉が起こらないようにする。厚さ検出手段４０を退避させる代わりに下側仕切り板６０側に設けたシャッター６４を開くことにより、ワーク１の移動に要する時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】研削砥石による研削加工部に供給された研削水の流動性を良好にすることにより、脱落した砥粒や研削砥石に詰まった砥粒を流すことができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、研削手段がスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントに取り付けられたホイール基台とホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置であって、研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】ステージの上に切削屑のない状態でのウエハの搬入を行うことができる半導体製造装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る半導体製造装置１は、ウエハ５を切削するブレード３と、ウエハ５のブレード３による切削が行われるステージ２と、ステージ２へのウエハ５の搬入、及びステージ２からのウエハ５の搬出を行う搬送機構８と、ウエハ５の搬出の後にステージ２を清浄化する切削屑除去機構１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ラッピング処理能率を向上することのできる球体のラッピング加工方法および加工装置を提供する。
【解決手段】ラッピング加工方法は、窒化ケイ素セラミックスやサイアロンセラミックスよりなる球状の加工サンプル７の表面を砥石２ａ、３ａによりラッピング加工する球体のラッピング加工方法であって、砥石２ａ、３ａは加工サンプル７よりも高硬度の砥粒を含んでいる。加工サンプル７にトライボケミカル反応を起こさせるような粒子を含む加工液を加工サンプル７と砥石２ａ、３ａとの間に供給してラッピング加工する。 （もっと読む）

【課題】簡便且つ確実に、所定量の研磨液を回転バフに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】ロッドレンズアレイのロッドレンズが露出する端面を研磨する端面研磨装置６の回転バフ１２に研磨液を供給する研磨液供給装置３０であって、前記研磨液を収容する研磨液容器３４と、前記研磨液を前記回転バフに向けて吐出する吐出部３６と、前記研磨液容器と前記吐出部とを流体連通させるチューブ３８と、前記研磨液容器から前記吐出部まで前記チューブを通して前記研磨液を搬送するポンプ４４とを備え、前記ポンプが、所定インターバルで、前記研磨液を前記吐出部から吐出させるように作動され、前記ポンプの作動中は、前記回転バフの回転速度が低下する。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被加工物の端面を的確且つ安全に研削加工を行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】外周に被加工物Ｗの端面を研削可能な研削面を有し回転する砥石６１と、この研削面で被加工物Ｗの端面を研削するよう砥石６１及び被加工物Ｗを相対的に移動する移動手段と、砥石６１の周囲に略等角度間隔に配設され研削面に液体を微粒子化して噴射する複数の噴射ノズル１１２と、被加工物Ｗに接触する砥石６１の研削加工位置を基準として砥石６１の回転方向後方に液体が噴射されるよう複数の噴射ノズル１１２の噴射を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの切削時とフランジの端面修正時とでワーク保持用の保持部材とフランジ端面修正治具とを置き換える必要がない切削加工装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持する保持テーブル２０と保持テーブル２０を回転させる回転支持部と回転支持部を囲む支持部カバー２３とを有する保持手段２と、保持テーブル２０に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと切削ブレードを回転させるスピンドルとスピンドルの先端に切削ブレードを端面で挟持して固定するフランジとを有する切削手段とを備えた切削加工装置において、保持テーブル２０に隣接して支持部カバー２３にサブテーブル４を配設し、サブテーブル４は、切削ブレードをドレスするドレスボード７と、フランジの端面を研削する研削砥石８２と研削砥石８２を支持する砥石支持部材８１とを有する端面修正治具８とを選択的に吸引保持する。 （もっと読む）

【課題】表層酸化物を効率よく除去する高張力鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】質量％で、Ｓｉ及びＭｎをそれぞれ０．５％以上含有する高張力鋼板を連続焼鈍した後に鋼板表面粗さＲａを測定し、該鋼板に対して、酸洗処理を行い、続いて、表面研削し、表面研削後の鋼板表面粗さＲａを測定し、その測定値が前記連続焼鈍後の鋼板表面粗さＲａよりも小さくなるように、前記表面研削時に供給されるクーラントの流量を調整することを特徴とする化成処理性に優れた高張力鋼板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】摺動部を持たずに完全に水の浸入を防止可能な加工装置のチャックテーブルシール機構を提供する。
【解決手段】チャックテーブルシール機構であって、チャックテーブルベース５８が挿入される円形開口部５３を有し、回転駆動部５６の上方を覆って該回転駆動部５６を液体から保護するウォーターカバー５２と、該ウォーターカバー５２の該円形開口部５３の周囲に立設された内側円筒状部材６０と、該内側円筒状部材６０の外周面上に半径方向外側へ張り出すように形成された複数の環状内側フランジ部材６２と、該内側フランジ部材６２から半径方向外側に所定間隔離間して該チャックテーブルベース５８から下垂するように該チャックテーブルベース５８に取り付けられた外側円筒状部材６６と、該外側円筒状部材６６の下端から該ウォーターカバー５２の上面と所定の間隙をもって半径方向外側へ延在する環状外側フランジ部材６８と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削屑の混じった切削水の飛散の影響を受けることなく、環状ブレードの切り刃の摩耗及び欠けの検出を正確に行う切削装置を提供する。
【解決手段】基台１２０から外周側に突出した切り刃１２１を有する環状ブレード１２と、環状ブレード１２に切削水を供給する切削水供給ノズル１３２と、環状ブレード１２の状態を検出するブレード検出手段１４とを備えた切削装置において、ブレード検出手段は、切り刃１２１が進入するブレード進入部において互いに対向して配設される発光体及び受光体を備え、ブレードカバー１３には、切削水供給ノズル１３２より環状ブレード１２の回転方向Ａ下流側でかつブレード検出手段１４より環状ブレード１２の回転方向Ａ上流側に、切削水供給ノズル１３２とブレード検出手段１４との間を仕切るためのブラシ状仕切り部材１５を配設し、環状ブレード１２の高速回転に伴うブレード検出手段１４への切削水や切削屑の回り込みを遮断する。 （もっと読む）