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Fターム[3C047GG01]の内容

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【課題】ブレード及び被切削物における付着物の除去及び抑制を効果的に実行して、切削品質及びブレードの寿命性の向上を図る。
【解決手段】ノズル41に接続した給水管45には、純水中にマイクロナノバブルBを発生させるマイクロナノバブル発生器49が接続され、ノズル41の先端はブレード26とワークWの被切削部近傍に配置されている。ノズル41の吐出口部には圧力維持バルブ51が設けられ、マイクロナノバブル発生器49で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルBを含む切削水Cが、切削加工中にノズル41から吐出して、ブレード26とワークWの被切削部に至近距離から供給される。 (もっと読む)


【課題】被加工物上面が乾燥することを防止して被加工物上に切削屑が固着することを防止可能な切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル18と、スピンドルと、被加工物11を切削する切削ブレード28と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、切削ブレード28を覆うブレードカバー46と、を含む切削手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバー46は、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレード28に向かって切削液を供給する切削液ノズル70と、該ブレードカバー28から加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物11を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段50と、を有する。 (もっと読む)


【課題】単純な構成で2方向に研削液やクーラント液を供給可能でかつ廉価な二方向動作クーラントノズルへの研削液供給構造を提供する。
【解決手段】研削液を供給する流路が内部形成された固定軸10の一部に半球状または球状の固定軸突出部11を設け、固定軸突出部は、回動可能なノズル本体50へ研削液を送給するための連通孔を備え、ノズル本体の漏斗状に形成されたノズル基底部53を固定軸突出部と対向して配置するとともに、固定軸突起部が固定された状態で、ノズル基底部がノズル軸線周りに回転可能であり、かつ固定軸突起部の周面に沿って移動可能となっており、固定軸突出部とノズル基底部の間が弾性シール部材によってシールされ、固定軸突出部とノズル基底部の相対位置の如何に関わらず固定軸からノズル先端51まで弾性シール部材80を介して液密に研削液が送給される。 (もっと読む)


【課題】極少量の液体で切削加工点に対する潤滑や冷却を効率よく行い、液体が高い粘性をもっていても途切れることなく安定して且つ、連続的にブレード周側面にピンポイントで供給しブレード周側面に該液体を薄く引き延ばすように供給することにより液体を蒸発させやすくして、気化熱による熱の発散を促すとともにブレード周側面とワークの摩擦点で起こる摩擦熱を取り除く。
【解決手段】所要の回転速度で回転するブレード5により、該ブレード5に対し相対移動するワークに個片化用の切削を施すとともにブレード5の周側面に潤滑用ないし冷却用の液体を供給する潤滑機構21を備えたダイシング装置のブレード潤滑機構において、前記潤滑機構21は、適宜の液体供給手段19から潤滑用ないし冷却用の液体供給を受け、該供給を受けた潤滑用ないし冷却用の液体を毛細管現象により前記ブレード5の周側面に移送させる毛細管構造部材20で構成した。 (もっと読む)


【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎ切断加工を行って角柱状インゴットに形成する際の切断屑の発生量を低下させたい。
【解決手段】 切断装置1の薄い厚みの回転切断刃91a,91bを挟む外周刃横揺れ自己補償機構96を新たに設けるとともに、インゴットの切断方法を予め回転切断刃91a,91bで1/2カットする溝切加工を行った後、インゴットを回転させて残りの1/2の溝を回転切断刃91a,91bで加工し、側面を切断するハーフカット方法に変更した。 (もっと読む)


【課題】給水管が加工作業を妨げることなく、加工作業の効率を向上させた注水式電動工具を提供する。
【解決手段】モータ11を収容したハウジング10に、モータの出力軸12に対して略直交状にハンドル20を突設して、出力軸と平行に配置されて出力軸から回転伝達され、ハウジングの端部19から突出するスピンドル16と、スピンドルに装着される円盤状工具50と、を備え、端部19に円盤状工具への注水路16Aを設けた注水式電動工具1であって、ハウジングの端部とハンドルの突設側の端部20Aとの間に、注水路に給水する給水管41を架設状態で保持する保持部40を設けた。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、研磨面に供給された研ぎ水を一瞬の間に飛散させることなく、適正な研磨に必要な研ぎ水を研磨面に供給できる電動刃物研ぎ機を提供することを目的とする。
【解決手段】 研磨砥石8を有する回転研磨部材9が、回転用駆動装置により回転される回転軸7に一体回転可能に固定され、回転している研磨砥石8の研磨面19に研ぎ水を供給することによりその研磨面19で刃物を研磨する電動刃物研ぎ機1であって、研磨面19に供給される研ぎ水にあらかじめ研磨砥石8の回転と同じ回転の慣性を与える手段を有する。 (もっと読む)


【課題】 加工液供給ノズルの定量的な品質管理を可能とする加工液供給ノズルの品質管理方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物に加工液を供給する加工液供給ノズルの品質管理方法であって、該加工液供給ノズルに加工液を供給して加工液噴出口から加工液を噴出させる噴出ステップと、該加工液噴出口から噴出した加工液を撮像手段で撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像ステップで形成した撮像画像を元に該加工液供給ノズルの良否を判定する判定ステップと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】CMPスラリーの使用量を削減しても、実用的な研磨速度で被研磨膜を研磨することが可能な半導体装置の製造方法を提供することである。
【解決手段】実施形態の半導体装置の製造方法は、ターンテーブル(11)に支持され回転している研磨布(12)に半導体基板(14)上の被研磨膜を当接させる工程と、前記研磨布上における前記被研磨膜が当接する領域に、研磨フォーム(15)を供給して前記被研磨膜を研磨する工程とを具備する。前記研磨フォームは、総量の0.01〜20質量%の研磨粒子および総量の0.1〜10質量%の泡形成保持剤を含む水系分散体を泡状として得られる。 (もっと読む)


【課題】吐出する研削油を低減できる歯車研削盤を提供する。
【解決手段】歯車研削盤は、歯車となるワークを研削する砥石と、砥石を回転駆動する研削スピンドルと、ワークを載置するワークテーブルと、ワークの研削中に、研削油を吐出するクーラントパイプと、を含み、クーラントパイプの先端が研削中の砥石及びワークに向けて配置され、先端の幅又は研削油を吐出する研削油吐出口の幅は、ワークの中心軸を通るワーク幅よりも狭い。 (もっと読む)


【課題】 Rx0.01μm、Ry0.10μm前後の鏡面を有する長さが5〜10mのT−ダイを製作加工する。
【解決手段】 平面研削装置の機枠6の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管20a,20bよりクーラント液を常時ワークwを固定する磁気チャック13表面に供給して磁気チャック表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、ダイヤモンド砥石車3による2ステージ以上の研削加工を行う。 (もっと読む)


【課題】ノズルヘッドを支持するアーム強度を確保し、かつ充分な加工液を供給し、メンテナンスの容易な内面研削用加工液供給装置を提供。
【解決手段】砥石4の外周面4aとワーク5との間に配置されたノズルヘッド6を支持するアーム7を軸直角断面弧状の内側弧状断面部材71と、軸直角断面弧状の外側弧状断面部材72と、内側及び外側弧状部材の両側面を形成する側壁部材73、74とで形成し、軸直角扇形断面の連通路10を形成する。アーム7の砥石台2側部の閉塞部材8と砥石台間に砥石軸直角方向へアームが揺動できるようにヒンジ9を設ける。 (もっと読む)


【課題】微細バブルを含む切削液を加工具の板状物に対する加工により有効に利用することができる機械加工装置を提供することである。
【解決手段】回転する円盤状の加工具18が切り込んで板状物Wを加工する機械加工装置であって、回転する前記加工具18の前記板状物Wに切り込む側の端面に対して微細バブルを含む第1切削液を吹き付ける第1の機構14、15と、回転する前記加工具18の両側面の少なくとも一方に対して微細バブルを含む第2切削液を吹き付ける第2の機構16、17とを有し、前記第2切削液に含まれる微細バブルのサイズは前記第1切削液に含まれる微細バブルのサイズより大きい構成となる。 (もっと読む)


【課題】薄板状の被加工物の端面を的確且つ安全に研削加工を行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】外周に被加工物Wの端面を研削可能な研削面を有し回転する砥石61と、この研削面で被加工物Wの端面を研削するよう砥石61及び被加工物Wを相対的に移動する移動手段と、砥石61の周囲に略等角度間隔に配設され研削面に液体を微粒子化して噴射する複数の噴射ノズル112と、被加工物Wに接触する砥石61の研削加工位置を基準として砥石61の回転方向後方に液体が噴射されるよう複数の噴射ノズル112の噴射を制御する制御手段とを備えている。 (もっと読む)


【課題】バッチごとにほぼ一定した研磨速度が得られ、精度よくワークの研磨が行え、また修正砥石を用いるドレッシングの回数を減らせることから、作業性よく、また研磨布の寿命も長くできる研磨布のドレッシング方法を提供する。
【解決手段】回転する定盤14、15の研磨布上にワークを押接し、研磨布上に研磨液を供給しつつワーク表面の研磨を行った後の、該研磨布の表面状態を砥石を用いて調整する研磨布のドレッシング方法において、ワーク研磨後、研磨布上に高圧洗浄水を供給して研磨布を洗浄する洗浄工程中で、目立て砥石26を研磨布の径方向に研磨布の凹凸面に追従させて移動させて研磨布の目立てドレッシングを行う工程を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】設置時の水平出しが不十分であったり設置場所の傾きが変化する場合にも、研磨液の分配の偏りを低減することができる研磨液分配装置及びこれを備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨液分配装置10は、供給された研磨液を蓄える液受皿122が形成されるとともに、液受皿122の側面に放射状に接続され該接続の位置よりも低い位置に研磨液を供給する供出口123を有する複数の流路121が形成された円錐状の分岐体12と、分岐体12を支持する支持部11と、分岐体12の重心よりも高い位置で支持部11を介して分岐体12を支持する自在継手機構とを備えている。 (もっと読む)


【課題】研磨砥液の吐出位置を容易に変更でき、かつ全ての原石の切断面に研磨砥液を十分に行き渡らせて、各原石を精度良く切断することができるウエハ製造装置を提供する。
【解決手段】吐出手段5は、各原石10の上方で研磨砥液35を貯留する貯留部40と、貯留部40を開口しワイヤ22に研磨砥液35を吐出するスリット42(吐出部)と、を備え、第1方向に沿って複数のスリット42が形成され、少なくとも一部のスリット42が閉塞部材50により閉塞されることで、各原石10の第1方向の両外側においてワイヤ22に研磨砥液35を吐出しうるようになっていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】研磨液を研磨工具と被加工面の間に介在させて研磨加工を施す研磨装置において、研磨工具が研磨液に水没して浮力を発生するのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具3は回転しながら被加工物5の被加工面5aに圧接され、被加工面5aの研磨加工を行う。研磨液は、研磨液供給手段19によって研磨工具3の加工部3aに供給され、研磨液排出手段20によって排出される。研磨液供給手段19及び研磨液排出手段20は、回転ステージ17a及び上下ステージ17bによって研磨工具3に対する相対位置を変化させ、常時、研磨工具3の下側から研磨液を排出することで、研磨工具3が研磨液に水没するのを防ぐ。 (もっと読む)


【課題】 ホイールマウントに研削屑が固着することのない研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、被加工物と該研削砥石とに研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、回転駆動されるスピンドルの先端に固定された該研削ホイールが着脱自在に装着されるホイールマウントを含み、該研削ホイールが着脱自在に装着される該ホイールマウントの装着面にはDLCがコーティングされていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】切削ブレードの状態検出を行う検出手段の発光面及び受光面が加工屑によって汚れるのを抑制する。
【解決手段】切削ブレード31を覆うブレードカバー32と、発光面380と受光面381とを結ぶ光軸382が切削ブレード31の刃先によって遮蔽される量に基づいて切削ブレード31の状態を検出する検出手段38と、切削により飛散する切削水を排出する排出手段とを備えた切削装置において、ブレードカバー32は発光面380、受光面381にそれぞれ流体を供給する第一、第二の噴出口390、391を有し、第一、第二の噴出口390、391は、切削ブレード31の半径方向外側かつ発光面380及び受光面381と排出手段との間に形成して発光面380、受光面381の汚れを抑制し、第一、第二の噴出口390、391から噴出される流体が発光面380、受光面381に到達するまでの経路が切削ブレード31を避けるようにして切削ブレード検出の正確性を確保する。 (もっと読む)


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