【課題】Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向のいずれの方向においてもリンクの剛性を得ることができる可動体支持装置を提供すること。
【解決手段】可動体支持装置１０は、可動体１８の移動範囲の中で、Ｚ軸と一致する方向に可動体を支持可能な第１のリンク機構部２０、Ｘ軸と一致する方向に支持可能な第２のリンク機構部３０、及びＹ軸と一致する方向に支持可能な第３のリンク機構部４０を有する。第１〜第３のリンク機構部２０，３０，４０は２本の第１〜第３のリンク２６，３６，４６を有する。第１〜第３のリンク２６，３６，４６それぞれは可動体１８の移動範囲の中で各軸に一致可能に延びるとともに、可動体１８の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２６，３６，４６のなす角度が９０度を取り得るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】 可動部が自由度機構として構成され、可動部の可動範囲が広く、可動部が軽量で、可動部の位置決め精度が高いリンク作動装置を提供する。
【解決手段】 入力部材１０４に対し出力部材１０５を、３組以上のリンク機構１０１を介して姿勢を変更可能に連結する。リンク機構１０１は、入力側および出力側の端部リンク部材１０１ａ，１０１ｃと中央リンク部材１０１ｂとでなる。リンク機構１０１は、各リンク部材１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを直線で表現した幾何学モデルが、中央リンク部材１０１ｂの中央部に対する入力側部分と出力側部分とが対称を成す形状である。リンク機構用駆動源１２１により２組以上のリンク機構１０１を動作させて、出力部材１０５の姿勢を制御する。各リンク機構１０１の配置の内側に通して、可撓性を有し入力部材１０４および出力部材１０５の並び方向に回転力を伝達する可撓性ワイヤ４Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】断面積が大きな長尺のワークであっても、材料の無駄を低減して加工できると共に、複雑形状の多品種の部品を加工することが可能な加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１は、長尺のワークＷを把持及び解放すると共に、ワークを把持した状態ではワークを変位させることなく一の姿勢に保持する把持装置２０と、回転工具の主軸を備え、把持装置からワーク前端部Ｅを突出させた状態で把持装置に把持されているワークを、主軸に取り付けられた回転工具で加工すると共に、加工済みのワーク前端部をワークの未加工部分から切り離す多軸ロボット４０と、把持装置から解放されている状態のワークを、長軸方向に前進させるワーク送り装置３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】モータの質量に関わらず、応答性の高い揺動装置を提供する。
【解決手段】揺動装置１０は、ベース１２と、揺動テーブル１４と、複数のリンク機構２０と、当該リンク機構２０を駆動するモータ２６と、リンク機構２０と揺動テーブル１４との間に介在する連結部材と、を備える。リンク機構２０は、モータの駆動に応じて、その上端位置がリンク機構面内で変化するものの、リンク機構面の位置およびリンク機構面の角度は不変である。連結部材は、スライド機構２２と、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸回りの回動を許容する回転ジョイントと、を有しており、揺動テーブル１４がリンク機構２０に対して回動およびスライドすることを許容する。そして、かかる構成とすることで、モータ２６をベース１２に固定設置（位置固定）することが可能となる。そして、結果として、リンク機構２０、ひいては、揺動装置１０の応答性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】パラレルリンクステージおよび光学素子測定装置において、パラレルリンク機構の並列方向に沿う可動部材の回転範囲を向上することができるとともに可動部材およびパラレルリンク機構によって囲まれる領域の中心部に開放空間を形成することができるようにする。
【解決手段】パラレルリンクステージ１は、回転軸線Ｃ回りに回転可能に支持された回転台部２と、回転台部２を回転軸線Ｃ回りに回転させるモータ１０と、回転台部２と間隔をあけて配置される可動部材３と、回転台部２および可動部材３の間で回転軸線Ｃを取り囲むように周方向に間隔をあけて少なくとも３箇所で回転台部２および可動部材３を連結し、回転台部２に対する可動部材３の各連結距離を変化させるパラレルリンク機構４と、パラレルリンク機構４およびモータ１０の動作制御を行うことにより、可動部材３の位置制御および姿勢制御を行う制御ユニット５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パラレルリンクステージの調整方法、基準位置決め治具、およびパラレルリンクステージにおいて、ベースに対するエンドエフェクタの基準位置出しとアクチュエータの原点補正とを、高精度かつ容易に行うことができるようにする。
【解決手段】パラレルリンクステージの調整方法であって、各パラレルリンク機構の動作を自由化するリンク自由化工程と、ベース２およびエンドエフェクタ３を相対移動させ、上基準部材２８および下基準部材３０を介して、ベース２およびエンドエフェクタ３を一定の位置関係に連結する位置出し工程と、各パラレルリンク機構のエンコーダから、各リンク長を取得して制御部に記憶させる調整位置取得工程と、上基準部材２８および下基準部材３０をパラレルリンクステージから取り外す基準位置決め治具取り外し工程と、各パラレルリンク機構の各リンク長を、制御部に記憶された各リンク長に設定する位置初期化工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来より小型化が可能なゴニオステージ装置を提供する。
【解決手段】一部に球面部分１１２を有するテーブル部１１０と、前記球面部分１１２に当接して、前記テーブル部１１０を３点支持する支持部材２１１ａ〜２１１ｃと、前記テーブル部１１０に連結されて、前記テーブル部１００のテーブル面１１１の向きを操作する面方向操作部２２０と、前記面方向操作部２２０の位置を変化させる面方向操作駆動部２４０と、前記テーブル部１１０と一体をなし、前記テーブル部１１０を、テーブル面１１１に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部２３０と、前記回転操作部２３０の位置を変化させる回転操作駆動部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】パラレルリンクステージにおいて、必要以上に大きな信号線の引き回しスペースを必要とすることなく、信号線の摩擦による損傷を確実に防止する技術を提供する。
【解決手段】エンドエフェクタ１とベース６との間に設けられたパラレルリンク機構ｐのサーボモータ５ａ〜サーボモータ５ｆの各々を、サーボドライバ群２０にて個別に閉ループ制御することでエンドエフェクタ１の変位を制御するパラレルリンクステージ７において、複数のサーボモータ５ａ〜サーボモータ５ｆに対応して設けられたスレーブモジュール８ａ〜スレーブモジュール８ｆと、サーボドライバ群２０に接続されたマスタモジュール２３との間をシリアル通信ケーブル１０で接続し、サーボモータ５ａ〜サーボモータ５ｆからサーボドライバ群２０へのモータ位置情報等のフィードバックをシリアル通信で行うようにした。 （もっと読む）

【課題】各リンクの同一方向への加速度移動時におけるリンクヘッドの変位を抑制して良好なリンクヘッドの加速度動作を得ることができるパラレルメカニズムを提供する。
【解決手段】アクチュエータ３５６〜３５９は、リンク３５０Ａ，３５０Ｂ，３５１Ａ，３５１Ｂに移動力を付与する送りねじ３５６Ａ〜３５９Ａをそれぞれ含み、これら送りねじ３５６Ａ〜３５９Ａがリンク３５０Ａ，３５０Ｂ，３５１Ａ，３５１Ｂの他端の同一方向への加速度移動に伴いリンク集合体３５１のリンク３５１Ａ，３５１Ｂの他端に作用するモーメントとリンク集合体３５０のリンク３５０Ａ，３５０Ｂの他端に作用するモーメントとを互いに打ち消す位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】計算負荷を増大させることなく、また製作時の製造誤差等に影響されることなく、エンドエフェクタの位置制御精度を向上させることが可能なパラレルリンクステージの制御技術を提供する。
【解決手段】ベース６に支持された複数のアクチュエータ５ａ〜５ｆ、リンク３ａ〜３ｆ、駆動リンク４a〜４ｆ、可動リンク２ａ〜２ｆからなるパラレルリンク機構ｐを介してエンドエフェクタ１を可動に支持するパラレルリンクステージ７において、コントローラ２１に実装されたキャリブレーションプログラム２２により、エンドエフェクタ１の目標位置と実際に測定された移動位置との移動誤差を測定して近似式５１を成し、機構演算プログラム２３は、この近似式５１から目標位置に対応した移動誤差を得て補正後の目標位置を算出して移動指令を発行して、演算負荷を増大させることなく、エンドエフェクタ１を高精度に制御する。 （もっと読む）

【課題】コストの低廉化を図ることができるとともに、作業者の操作負担を軽減することができるハイブリッドメカニズムを提供する。
【解決手段】絶対座標系で与えられるリンクヘッド３０１の回動位置及び移動位置に対応する指令値を、パラレルメカニズム３００及びシリアルメカニズム４００を含む機構全体の構成を規定する機構パラメータに基づいてヘッド駆動機構３０２，リンク駆動機構３０４，３０５（第１駆動機構）及びレール駆動機構（第２駆動機構）に対する指令値に変換し、第１駆動機構及び第２駆動機構を駆動制御する制御部を備え、制御部は、リンクヘッド３０１の回動位置及び移動位置に対応する指令値を第１駆動機構及び第２駆動機構に対する指令値に変換するにあたり、リンクヘッド３０１の回動位置及び移動位置から特定の演算式に基づいて第１駆動機構及び第２駆動機構の駆動量を演算する。 （もっと読む）

【課題】機構パラメータの変動に応じてアクチュエータを駆動制御し、リンクヘッドの位置精度を高めることができるパラレルメカニズムを提供する。
【解決手段】直交座標系で与えられるリンクヘッドの回動位置及び移動位置に対応する指令値を機構パラメータに基づいてヘッド駆動機構３０２及びリンク駆動機構３０４，３０５に対する指令値に変換し、ヘッド駆動機構３０２及びリンク駆動機構３０４，３０５を制御する制御部を備え、この制御部は、リンクヘッド３０１に所定の回動量及び移動量で動作させたときのヘッド駆動機構３０２及びリンク駆動機構３０４，３０５に対する指令値とそのときの角度センサの出力値とに基づいて機構パラメータを補正する。 （もっと読む）

【課題】リンクヘッドを移動させることができない特異点を無くしてリンクヘッドの可動範囲を広げることができるパラレルメカニズムを提供する。
【解決手段】リンクヘッド３０１の３自由度の動作が制御可能なパラレルメカニズム３００であって、リンクヘッド３０１をＹ軸と直交するＸ軸に沿って移動させるためのヘッド駆動機構３０２と、一端がリンクヘッド３０１にリンク連結用回転ジョイント３０３０を介してＹ軸と直交する平面内で互いに回動可能に接続され、他端がＹ軸と平行な軸線の回りに回動可能にかつＸ軸と平行な軸線に沿って移動可能に支持された１対のリンク３０３Ａ，３０３Ｂからなるリンク機構３０３と、１対のリンク３０３Ａ，３０３Ｂの他端をＸ軸と平行な軸線に沿ってそれぞれ移動させるための１対のリンク駆動機構３０３４，３０５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】駆動部間の調整を不要にして製造コストを抑えるとともに、移動体が延在する方向に小型化が可能な移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】台状の移動体２を台厚方向に沿う移動方向Ｈに平行移動させる移動ステージ装置１であって、移動体に対して移動方向に対向する位置に配置された基台部３と、基台部と移動体との間に配置され、移動方向に直交する方向に沿う軸線Ｃ１を中心として、基台部に回動可能に支持されたアーム部４と、軸線に平行な直線上に少なくとも２つ並んでアーム部に設けられ、移動体を前記移動方向に支持する第１の支持部５と、基台部と移動体との間に設けられ、移動体を移動方向のみに移動可能に支持し、かつ第１の支持部が並ぶ直線回りの移動体の回動を規制して支持する第２の支持部６と、基台部と移動体との間に配置され、アーム部に対して、軸線回りのモーメントを発生させる駆動力を作用させる駆動部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】
基部に対するステージ面を上下方向とピッチ方向、ロール方向に可動可能で、他の自由度には強く拘束され、かつ、アクチュエータへの力学的な負担が少ないステージの可動機構を、簡素で安価な構造で実現する。
【解決手段】
バネ性を有する素材がもつ弾性変形が許容される方向を活かすよう，板バネまたは曲げ棒バネなどのバネ材を用い、一つの間接部を有するくの字型の支持機構３０〜３３を構成し、これを二つ以上用いてステージ１０と基部２０とを弾性接続することで課題の自由度をもたらすステージ可動機構を構成している。同時に，くの字型を形成することで支持機構が弾性変形する際には，変位増加に対する反力が一定か減少するような逆バイアス特性がもたらされることで，アクチュエータを用いた場合の動作寿命を向上させることができる。また、センサ装置と組み合わせることによって３自由度の動作検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】工作機械を用いたワークの微細加工を高精度に実現可能な工作機械用アタッチメントの提供。
【解決手段】工作機械に着脱可能に取り付けられる工作機械用アタッチメント６に、微細加工用工具５をワークに対してＸ，Ｙ，Ｚ方向に微動させる各微動駆動機構６１，６２，６３を設けた。そして、Ｚ微動駆動機構６３により、微細加工用工具５を±Ｚ方向へ往復微動させつつワークの微細加工を実施する。このため、微細加工用工具５を±Ｚ方向に往復微動させることでワークを微細加工するので、微細加工用工具５をＺ方向に粗動させてワークを微細加工する構成と比べてイナーシャを小さくすることができ、ワークの微細加工を高精度に実現できる。 （もっと読む）

【課題】複数のワークの微細加工を高精度にかつ高速に実現できる工作機械の提供。
【解決手段】工作機械１に、微細加工用工具５をワークＷｎに対してＸ，Ｙ方向に微動させるＸ，Ｙ微動駆動機構６１，６２と、このＸ，Ｙ微動駆動機構６１，６２を有する工作機械用アタッチメント６をワークＷｎに対してＸ，Ｙ，Ｚ方向に粗動させる粗動駆動部３と、を設けている。そして、微細加工用工具５を微動させつつワークＷｎを微細加工して、微細加工用工具５を粗動させてワークＷｎ間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】小型のリンクヘッドを有するコンパクトなパラレルメカニズムを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】リンクヘッド３０１を上面部及び下面部に配設された回転ジョイント３５５に回転可能に接続されたリンク集合体３５１により、直動ジョイント３５３を介して支持し、また、リンクヘッド３０１を上面部及び下面部に配設された回転ジョイント３５４に回転可能に接続されたリンク集合体３５０により支持する構成とし、リンクヘッド３０１の外部に加工ツール５０１を回転駆動するための回転モータを搭載する構成とした。 （もっと読む）

【課題】揺動軸受、それを用いたパラレルリンク機構、および移動ステージにおいて、小型化に適し、経時的にも円滑かつ高精度を維持することができるようにする。
【解決手段】球状ジョイント部３０ｂが設けられた可動軸３０と、軸受本体９との組合せからなる揺動軸受３であって、軸受本体９は、球状ジョイント部３０ｂを球中心点回りにすべり支持する凹球面部８ｂ、内側球面部７ａと、可動軸３０を揺動可能に挿通させるための開口部７ｃと、開口部７ｃの近傍の外表面側に、凹球面部８ｂ、内側球面部７ａと同心に形成された外側球面部７ｂと、凹球面部８ｂの一部に開口し、潤滑流体６を供給する流体供給溝８ｄとを備え、可動軸３０は、球状ジョイント部３０ｂ近傍で、軸部３０ａに径方向に突出して固定され、開口部７ｃを覆った状態で外側球面部７ｂに摺動可能に密着された流体封止部材３１を備える。 （もっと読む）