研磨表面を、ある表面と接触させて回転往復させることによって、前記表面を研磨する方法、回転往復ツール内で用いる研磨物品、及び、ある表面内の欠陥を除去する方法であって、回転往復研磨表面を用いてサンディングしてから、１つ以上のポリッシング作業を行うことを含む方法を開示する。
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