【課題】下限は１ｎｍから最大は１ｍｍあるいはそれ以上のピッチの細密な細溝パターンからなる格子状パターンを形成する方法を提供すること。
【解決手段】細溝加工する加工部をパルス駆動し、個々の駆動エネルギを制御することにより細溝加工を制御し、加工微細化下限は１ｎｍまで到達でき、高次構造が形成でき、加工部位を多重加工できるという特徴をもちながら加工部の作成が容易で加工線速度は速いので、広幅、長尺加工が可能という新規な微細加工法を提供するものである。 （もっと読む）