【課題】切断中にブレードの変位を安定的に抑制でき、これにより切断されたインゴットブロックやウェーハの切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できるバンドソー切断装置及びインゴットの切断方法を提供する。
【解決手段】周回駆動されたブレードを静圧パッドによって案内しながら、ブレードをインゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによってインゴットを切断するバンドソー切断装置であって、さらに、静圧パッドをブレードの周回方向に対して前後方向に移動させる駆動部と、該駆動部による静圧パッドの移動距離及び移動速度を制御する制御部とを有し、静圧パッドを制御部で移動制御しながらインゴットを切断するものであることを特徴とするバンドソー切断装置。 （もっと読む）

【課題】基板の研磨中にノズルにより研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの表面の温度を制御することによりディッシングやエロージョン等を防止することができるとともに研磨パッド上の研磨液が飛散してノズルやノズル取付部品等に付着する量を減らすことができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨テーブル１上の研磨パッド２に基板を押圧して基板の被研磨面を研磨する研磨装置において、研磨パッド２に向けて気体を噴射する少なくとも１つの気体噴射ノズル２４を有し、研磨パッド２に気体を吹き付けて研磨パッド２の温度を調整するパッド温度調整機構２２と、研磨パッド２に向けて液体又は気体と液体の混合流体を噴射する少なくとも１つのノズルを有し、研磨パッド２に液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザ３０とを備え、パッド温度調整機構２２とアトマイザ３０とは一体のユニットとして形成されている。 （もっと読む）

【課題】装置が大型化せず、作業性を向上させるとともに装置の重心を安定させることが可能であるダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法を提供すること。
【解決手段】Ｘ移動軸４と、Ｘ移動軸４と垂直に交差するＹ移動軸５とが平面視方形に形成されたダイシング装置１の方形匡体２の対角線上に配置され、且つ、ダイシング装置１の略中央部にワーク切断加工部９が配設されているとともに、Ｘ移動軸４が配置された一端側にワーク交換部１３が設けられ、Ｘ移動軸４のワーク切断加工部９を挟んでワーク交換部１３と反対側には、ワークＷの切断時にブレード２１の回転に伴って飛散する廃液又はミストを排出する排出口１１及び排気口１２を有する排出機構８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の表面に傷が付くことを十分に防止できる研磨体及びこれを用いた研磨方法を提供すること。
【解決手段】研磨面１０ａを有し、研磨面１０ａに溝１１が形成されている研磨体１０であって、溝１１は、研磨面１０ａ上にあって溝１１の開口１３を形成する一対の縁部１２ａ，１２ｂと、縁部１２ａ，１２ｂに沿って延びる底部１４と、底部１４と縁部１２ａとを結び、研磨面１０ａに対して傾斜する傾斜面１５ａと、底部１４と縁部１２ｂとを結び、研磨面１０ａに対して傾斜する傾斜面１５ｂとによって形成され、研磨面１０ａと、傾斜面１５ａ及び傾斜面１５ｂの各々とのなす角が鈍角である、研磨体１０。 （もっと読む）

【課題】 複数種類のドレスボードを同時に保持可能なドレステーブルを備えた切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第１ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第２ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の基板の研磨中に研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの表面（研磨面）の温度を制御することにより、ディッシングやエロージョン等を防止して段差特性の向上を図ることができるとともに研磨レートの向上を図ることができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド２に向けて気体を噴射する少なくとも１つの気体噴射ノズル２２と、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２を保持するとともに気体噴射ノズル２２に気体を供給する気体供給部２０とを備え、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２の直下の点Ｐ１，Ｐ２を通り、研磨パッド２の回転中心を中心とする同心円Ｃ１，Ｃ２を描き、同心円Ｃ１，Ｃ２上の直下の点Ｐ１，Ｐ２における接線方向を研磨パッド２の回転接線方向と定義すると、少なくとも１つの気体噴射ノズル２２の気体噴射方向は、回転接線方向に対して研磨パッド２の回転中心側に傾いている。 （もっと読む）

【課題】片手モード及び両手モードの両方の操作モードに適切に適合された手持ち式機械を提供する。
【解決手段】手持ち式機械は、この機械の使用者の一方の手を受け止めるための第１のグリップ１０６、この機械の使用者のもう一方の手を受け止めるための第２のグリップ１１８、及びこの手持ち式機械を可撓性管路１１６に接続するための少なくとも１つの継手１１４を備える。第２のグリップ１１８は継手１１４を越えてその使用位置に延在するが、この位置から移動可能である。 （もっと読む）

【課題】大径，薄肉の外周刃鋸を回転振れすること無く安定して回転駆動できるようにし、より大きな円柱状シリコンインゴットの外周部の切断および切り粉の削減に対応可能とする。
【解決手段】切断機構８０の回転モータにより回転駆動され、ワークＷ１の外周部を切断する外周刃鋸８１と、切断機構８０およびスライダ機構５０に設けられ、外周刃鋸８１の回転駆動時における回転振れを抑制する回転振れ抑制機構（サブチャック６３，カバー部材８３，液圧供給パイプ８４，液圧導入室および液圧安定部材）を備えている。これにより、外周刃鋸８１を大径，薄肉にしてもその回転振れを抑制でき、より大径のワークＷ１の外周部の切断および切り粉の削減に対応できる。また、基台の長手方向に沿って移動するスライダ機構５０によりワークＷ１を移動させるので、より長尺のワークＷ１の外周部の切断に対応できる。 （もっと読む）

【課題】研磨レートを下げることなく、研磨液の使用量を削減できるようにする。
【解決手段】研磨パッドの表面に研磨液を供給しながら、研磨パッドの表面に基板を摺接させて該基板を研磨する研磨方法において、研磨パッドの表面温度を制御することなく基板を研磨した時の研磨液供給流量と研磨レートとの関係、及び研磨パッドの表面温度を所定温度に制御しながら基板を研磨した時の研磨液供給流量と研磨レートとの関係を予め求めておき、研磨パッドの表面温度を所定温度に制御しながら基板を研磨した時の研磨レートの方が研磨パッドの表面温度を制御することなく基板を研磨した時の研磨レートよりも高くなるように、研磨パッドの表面温度を所定温度に制御しながら、高い研磨レートが得られるように、研磨パッドの表面に研磨液を継続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡素な構成を追加するのみで、微少量の流体供給により剥がし力をワークに付与するようにして、上定盤へのワークの貼り付きを確実に防止し、復帰作業および清掃作業を無用としてプロセスの連続性を向上させる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】上定盤と下定盤とによりワークの表裏両面をラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置において、旋回ロッド２１８がシール用ボール２２０を押して形成する隙間を通じて微少量の圧力流体を流路空間２２２へ進入させる供給を順次行い、複数の流路空間２２２を通じて外部へ圧力流体を吐出する圧力流体吐出装置２１と、圧力流体吐出装置２１の複数の流路空間２２２と連通するように上定盤に複数設けられ、圧力流体を上定盤とワークとの間に流入させる吐出を、全てのワークに対して行う複数の流体吐出孔と、を備える両面研磨装置とした。 （もっと読む）

【課題】、安定性に優れた研磨機の提供。
【解決手段】モータハウジング２２内に内蔵されたディスクモータ３と、ディスクモータ３により回転駆動され、被研磨材を研磨する先端工具１Ａが装着可能な工具装着部３４と、ディスクモータ３に電力供給する電池５が装着される電池装着部４４と、を有し、ディスクモータ３は、ディスクモータ３の軸心の軸方向が工具装着部３４の軸心の軸方向と同じ方向になるように配置されており、モータハウジング２２には、ループ状を成すハンドル４が設けられている研磨機を提供する。 （もっと読む）

【課題】加工物からウェハをスライスする方法を提供する。
【解決手段】加工物（１２）からウェハをスライスする方法は、切断動作中に、加工物に対して、ワイヤソーのワイヤの、平行に配置されたワイヤセクションを移動させて、ウェハを形成するステップを含み、ワイヤセクションは、特定の厚みを有する、溝を有するコーティング（８）を各々が有するワイヤガイドロール（１）間に張設され、前記方法はさらに、ワイヤガイドロールを冷却し、ワイヤガイドロールの固定された軸受（２）を冷却するステップを含み、ワイヤガイドロールおよび固定された軸受は、互いから独立して冷却される。 （もっと読む）

【課題】メインローラの搬送、ワイヤソーの軸受けユニットに対するメインローラの取り付け、取り外しの他に、ワークの搬送、ワイヤソーの加工位置へのワークの着脱にも利用可能なワイヤソー用のリフターを提供する。
【解決手段】昇降案内用の支柱２を有する台車３と、支柱２に支持され、支柱２に沿って昇降自在の昇降部４と、昇降部４に支持され、横方向に移動可能な横移動部５と、横移動部５の前面に対して横方向に揺動自在に取り付けた水平出し部６と、水平出し部６の前面に取付けられた左右一対の第１フックと、水平出し部６の前面に取付けられた左右一対の第２フック８と、第１フックに対し着脱自在に掛かり合い、ワイヤソーのメインローラ９を保持するメインローラホルダー１０と、第２フック８に対し着脱自在に掛かり合い、ワークを保持するワークホルダーとによって、ワイヤソー用リフター１を構成する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの研磨を支援すること。
【解決手段】ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置２００における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定部１６０と、研磨部材劣化推定部１６０が推定した研磨レートと、研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定部１７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】携帯型のディスクグラインダーを用いた平面研削作業の作業性を高めることである。
【解決手段】集塵カバー３１のカバー本体３２に取付部３３を設け、この取付部３３をギヤケース１５のボス部１５ａに固定して集塵カバー３１をディスクグラインダー１１に装着する。カバー本体３２の天壁３２ｂにハンドルスタンド４１を一体に設ける。ハンドルスタンド４１を天壁３２ｂからカバー本体３２の開口とは反対側に突出する半円筒状のスタンド４１ａとスタンド４１ａの上端に設けられる円形のハンドル４１ｂとで構成し、集塵カバー３１がディスクグラインダー１１に装着されたときに、ハンドル４１ｂの軸心がスピンドル１６の軸心に一致するようにする。 （もっと読む）

【課題】工作機械における刃物台などが摺動するスライドベースの摺動面の磨耗修正を行うための修正装置において、前記摺動面が工作機械の内側に位置する場合でもその修正を効率よく行うことを可能にする。
【解決手段】スライドレール５にスライド自在に支持される修正装置本体４が、その第一垂下部材１１に対して上下移動可能に固定される第二垂下部材１２と、第二垂下部材１２に傾動可能に支持される保持部材１９と、保持部材１９に保持されるグラインダーＧと、保持部材１９及びグラインダーＧの上下位置を決定する第一調節部材１３と、保持部材１９及びグラインダーＧの傾動角を決定する第二調節部材１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 工具本体の振動低減を図りつつ、使用性を向上できる手持式の回転工具を提供する。
【解決手段】 回転工具は、工具本体１０３と、工具本体に設けられた駆動軸１１２と、先端工具１２５が取付けられる被動軸１２１と、駆動軸１１２と被動軸１２１との間に介在され、駆動軸１１２の回転を被動軸１２１に伝達するオルダム継手１２３と、被動軸１２１と工具本体１０３との間に介在された弾性体１４１と、を有する。被動軸１２１は、当該被動軸１２１の長軸方向については、工具本体１０３に対する相対移動が規制され、当該被動軸１２１の長軸方向と交差する方向については、工具本体１０３に対する相対移動が許容されるとともに、当該相対移動時にオルダム継手１２３を介して駆動軸１１２からの動力伝達が維持される構成とし、被動軸１２１の工具本体１０３に対する相対移動は、弾性体１４１によって緩衝される構成とした。 （もっと読む）

【課題】スピンコータはワックスの無駄が多いことから、その廃液を回収し、異物除去・溶剤添加・粘度調整する事で、再利用可能な液状ワックスとする。
【解決手段】使用済み液状ワックスに、希釈溶剤と同一の溶剤を使って希釈し粘度を調整する。異物を除去するための濾過フィルターを通して使用済み廃ワックスをリサイクルする再生する。 （もっと読む）

【課題】
軽量化及び製造コストダウンを図るとともに、ギヤカバーの上部を手の平で押さえ込む作業の快適性を向上させたグラインダを提供する。
【解決手段】
モータ１１と、モータ１１を収容するモータハウジング２と、回転軸と略直角に延びるスピンドル７と、スピンドル７の一端側に設けられる第１の軸受１６と、スピンドル７の他端側に設けられる第２の軸受１７と、モータハウジング２に取り付けられ、第１の軸受１６を保持するギヤカバー３と、ギヤカバー３に取り付けられ第２の軸受１７を保持するパッキングランド４を有するグラインダにおいて、ギヤカバー３とパッキングランド４をプラスチック等の樹脂部材で構成した。さらに、第１及び第２の軸受１６，１７を、補強部材たる金属製の第１及び第２の軸受保持部材５０、６０を介してギヤカバー３又はパッキングランド４に固定した。 （もっと読む）

【課題】ハウジングを長くしなくても工具カバーをプラグと干渉することなく装着すると共に、装着した工具カバーの回り止め及び抜け止めも低コストで合理的に行う。
【解決手段】工具１０を覆うカバー部１７と、ベアリングボックス７の下部に外装されるリング状のバンド部２０とを含んでなる工具カバー１６を備え、ベアリングボックス７の後面に流体供給口１２を開口する円形突起１３を突設させたディスクサンダ１において、バンド部２０を、前バンド２２と後バンド２３とに分割して流体供給口１２を含むベアリングボックス７の外周部分に沿って外装させると共に、後バンド２３における流体供給口１２との重合部に、ベアリングボックス７への外装状態で円形突起１３が嵌合してバンド部２０の周方向の回り止めと下方への抜け止めとを行う逃げ部２９を形成した。 （もっと読む）