【課題】切断砥石で被切断材を切断する際の火花の拡散を効果的に防止し、火花に起因するこげつきや汚れ等の不都合を防止可能である。
【解決手段】被切断材Ｗを固定するバイス２及びこれを設置したベース１と、ベース１の前側にヒンジ３を介して取り付けられ、ベース１に対し離れる乃至接近する方向へ揺動自在に支持されたアーム１０と、これに設けられた駆動部及びこれによって回転駆動される切断砥石３０と、切断砥石３０の上側部分を覆うホイールカバー２５と、この前方側開口部２５ａから後方に延在していて、ホイールカバー２５に揺動自在に取り付けられた補助カバー４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】
切削粉の飛散を防止するホイールガードの回転ストップ機構を簡易な構成で実現し、原価低減を実現したディスクグラインダを提供する。
【解決手段】
スピンドルカバー４に設けられたホイールガード２０の抜け止め用の溝６の一部に塞ぐストッパ部（壁部１０）を設け、ホイールガード２０が回転した際にホイールガード２０の抜け止め用の凸部２２と壁部１０が当接するように構成してホイールガード２０の回動角度を制限するように構成した。ディスクグラインダの作業中の何らかの操作によりホイールガード２０が意図した位置から回動してしまった場合でも、凸部２２と壁部１０が当接するため、作業者側にホイールガード２０の開口部２０ａが向くことがなく、切削粉の飛散を作業者側に招くことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】海水淡水化処理用途などの高圧運転下においても、集液管とこれに塗布された接着剤との固着界面部分に亀裂を生じさせることのない、すなわちシール漏れによるスパイラル型流体分離素子の性能低下を防ぐ。
【解決手段】集液孔を有する集液管の外周部に、分離膜、透過液流路材および原液流路材を含む膜ユニットが、分離膜が接着剤によって集液管と接着されるようにして巻回されてなるスパイラル型流体分離素子において、集液管の外周部の少なくとも一部が、ＪＩＳＲ ６００１の沈降試験方法により規定される番手が＃６００以上＃２０００以下の研磨材によって研磨されたものであることを特徴とするスパイラル型流体分離素子。 （もっと読む）

【課題】 木材や金属等の被研磨材の研磨を行なうオービタルサンダで、ベースで発生した振動がモータを通じハウジングに伝わり、作業者へ振動を与えることを低減する。
【解決手段】
モータ４の回転軸４Ａを覆うように円筒形の弾性体１０を設置し、モータ４の駆動力が弾性体１０を介してファン５へと伝えるように構成した。ファン５の下側には偏心軸５Ａが形成され、偏心軸５Ａに軸受６Ｂを介してベース７が保持される。モータ４が回転すると偏心軸５Ａの作用によってベース７がオービタル駆動され、縦横に細かく振動する。回転軸４Ａを覆うように弾性体１０があることで、ベース７からハウジング３に伝わる振動を低減することができ、作業効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被研磨材の研磨に際し、適切に研磨することができ、利き腕に応じて使用することのできるハンド用のディスクグラインダー及びハンド用のディスクグラインダーを用いた被研磨材の研磨方法を提供することを課題とする。
【解決手段】一端側に回転駆動し、研磨用ディスクを取り付ける駆動軸の設けられたグラインダー本体と、研磨用ディスクの外周に沿って前記グラインダー本体に取り付けられたカバーフレームから構成されたハンド用のディスクグラインダーにおいて、前記駆動軸は正転又は逆転駆動に切り替えでき、且つ前記カバーフレームは駆動軸の回転方向に応じて所望量研磨用ディスクに沿って円弧状に回動した位置でグラインダー本体に固定できる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの割れを防ぐために加工前にウェーハの仕込みずれによる保持異常の検出を自動で高精度で行い、作業者による触手確認をなくして効率化を図ることができるウェーハの加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】キャリアの保持孔にウェーハを挿入して保持し、該ウェーハを保持したキャリアを上下定盤で挟み込み、ウェーハの両面を同時に加工するウェーハの加工方法であって、ウェーハの加工前に、ウェーハを保持したキャリアを上下定盤で挟み込んだ状態で上定盤の高さ位置をレーザー変位計で検出し、該検出した高さ位置と基準位置との差が閾値を超えた場合に、ウェーハの保持異常と判定してウェーハの保持をやり直すことを特徴とするウェーハの加工方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス板の破損発生率を低減できるガラス板研磨装置の監視方法及び監視システムを提供する。
【解決手段】実施の形態の監視システムは、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの異常吸着形態を常時監視し、異常と判定した場合には、そのガラス板Ｇの研磨を実施せず、研磨部１８を停止したり、アラーム５８から警告音を発生させたりして、オペレータに異常を知らしめる。実施の形態の監視システムは、グリセリン塗布部１２、板吸着部１４、研磨部１８を有する通常設備のガラス板研磨装置１０において、板吸着部１４と研磨部１８との間に、撮像部１６を有する判定部２０を備える。撮像部１６は、板吸着部１４から研磨部１８に移動する吸着シート２２をライト３８によって照明し、その反射光をカメラ４０によって撮像する。そして、判定部２０は、カメラ４０で撮像された画像に基づき、吸着シート２２にガラス板Ｇが正常に吸着されたか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】稼働停止時における電力等のユーティリティを低減する。
【解決手段】ＣＭＰ装置１の回転定盤１７に取り付けた研磨パッド１６とトップリング１８との間に半導体ウエハＷを保持して相対回転させてウエハＷを研磨する。リンス水供給管１１にリンス水流量調整弁１３を設けて、研磨部２内の研磨パッド１６に間欠的に純水を供給して湿潤状態に保つ。洗浄部３には研磨した半導体ウエハＷを洗浄用スポンジローラ２６，２７で挟持して洗浄して搬送する。リンス水供給管１２ａ、１２ｂにリンス水流量調整弁１４、１４を設けて、洗浄用スポンジローラ２６，２７に間欠的に純水を供給して湿潤状態に保つ。純水の供給間隔をｔ分とし、１回毎の純水の供給継続時間をｄｔ秒として、下記の（１）式と（２）式を満足する。
ｄｔ＝２０{１．６−ｅｘｐ（−０．０１７８３ｔ）} ……（１）
１０≦ｔ≦３０ ……（２） （もっと読む）

【課題】表面に現れずに内在する研磨時の欠け、割れ等の原因を有するウエーハの研磨を防止するためのウエーハ研磨装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ研磨装置は、ウエーハＷを載置するステージ５１と、前記ステージ５１上の前記ウエーハＷに圧力を加える加圧器５２、５３とを含む検査部５と、前記検査部５により検査済みの前記ウエーハＷを研磨する研磨部６と、を有し、検査により異常がないとされた半導体ウエーハＷを研磨する。 （もっと読む）

【課題】集塵効率を低下させるとなく集塵カバーの小型化し得るようにする。
【解決手段】研削機本体１１には集塵アダプター２０が装着される。集塵アダプター２０は、カバー本体部２２ａとこの開口面に設けられる円筒状カバー部２６とを備える集塵カバー２２と、防塵リング３１とを有しており、防塵リング３１は出力軸１２の軸方向に往復動自在に集塵カバー２２の外側に装着される。集塵カバー２２の外側には、防塵リング３１に対して砥石ホイール１３よりも前方に向けて突出するようにばね力を付勢するばね部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】引張破断強度が高く細いソーワイヤを用いて反りの小さいＩＩＩ族窒化物結晶基板を歩留まり良く製造できるＩＩＩ族窒化物結晶基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ＩＩＩ族窒化物結晶基板の製造方法は、炭素濃度が０．９０〜０．９５質量％、ケイ素濃度が０．１２〜０．３２質量％以下、マンガン濃度が０．４０〜０．９０質量％以下、リン濃度が０．０２５質量％以下、イオウ濃度が０．０２５質量％以下および銅濃度が０．２０質量％以下の鋼線を含み、ワイヤの直径が０．０７ｍｍ以上０．１６ｍｍ未満で、ワイヤの引張破断強度が４２００Ｎ／ｍｍ²より高く、ワイヤのカール径が４００ｍｍ以上のソーワイヤ２２を用いて、ソーワイヤに破断張力の５０％以上６５％以下の張力をかけて、ＩＩＩ族窒化物結晶体３０をスライスする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる研磨パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の研磨パッドは、研磨領域、クッション層、及び支持フィルムがこの順に積層されており、研磨領域及びクッション層を貫く開口部内かつ支持フィルム上に光透過領域が設けられており、前記光透過領域は、研磨定盤側の表面に、周囲部とくぼみ部とを有しており、前記周囲部には支持フィルムが積層されており、前記くぼみ部には支持フィルムが積層されておらず開口していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動モータを冷却するモータ冷却風として電動工具の内部に吸引される外気を除塵することができつつ、吸気部分における粉塵の付着および粉塵の堆積を避けて長期間に亘ってモータ冷却風としての風量を維持できるようにする。
【解決手段】駆動モータを内装するモータハウジングの外気吸引側に分離装置４０が設けられている。この分離装置４０は、ディスクグラインダの内部に吸引される外気を綺麗なモータ冷却風として利用できるように、吸引される外気を駆動モータを冷却するためのモータ冷却風として遠心分離する。また、外気に混ざっていた粉塵等は、分離装置４０により遠心分離させただけなので、吸気部４５に粉塵等が付着したり堆積したりしてしまうこともなくなる。また、この吸気部４５は、遠心分離室５５にて分離された分離物を外部に排出するための排出部として機能する。 （もっと読む）

【課題】高性能なトルクリミッタに関する技術を提供する。
【解決手段】トルクリミッタ２１０は、第２べベルギア２１１と、スピンドル２１３と、第２べベルギア２１１の回転力が伝達されるフランジ２１２と、第２べベルギア２１１とフランジ２１２の間に介在して配置される複数のボール２１４とを有している。ボール２１４は、第１の領域に位置して第２べベルギア２１１とボール２１４とフランジ２１２が一体となって回転することで、回転力をフランジ２１２に伝達する。一方で、スピンドル２１３に所定値以上のトルクが作用した場合には、第２べベルギア２１１とフランジ２１２に相対的な回転が生じて、相対的な回転によってボール２１４が転がりながら第１の領域から第２の領域に移動して第２の領域に位置することで、第２べベルギア２１１からフランジ２１２に伝達される回転力を規制し、これにより、スピンドル２１３に作用するトルクを規制する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの断線の有無を高精度かつ安定して検出する。
【解決手段】走行するワイヤ３に被加工物Ｗを押し付けて当該被加工物Ｗを切断するワイヤソー１である。回転駆動されるワイヤガイド２，２間に略平行なワイヤ群３ａが形成されている。一対のワイヤ送り装置５，６がワイヤ３の巻き出し及び巻き取りを交互に行う。ワーク保持部７が被加工物Ｗを押し付けるワイヤ群３ａに液供給装置８が加工補助液を供給する。断線検出部材１６、振動センサ１７を有するワイヤ断線検出装置９が支持部４に取り付けられている。制御装置１０は、ワイヤ３が断線するとワイヤ３の走行を停止する。断線検出部材１６、振動センサ１７は除振部材１５を介して支持部４に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】従来装置と比較してより高い張力で、ワイヤ断線なくワークの切断を素早く実現する。
【解決手段】各溝付ローラ２，３間に巻き付けられた切断用のワイヤ４の一方端が第１ダンサローラ１０を介して供給ボビン５に巻き付けられ、他方端が第２ダンサローラ１３を介して回収ボビン６に巻き付けられて、各溝付ローラ２，３間のワイヤ４の複数列でワーク７を切断するワイヤソー装置１において、各溝付ローラ２，３と第１ダンサローラ１０および第２ダンサローラ１３との間にそれぞれ、第１バッファボビン手段としての第１バッファボビン１４と第２バッファボビン手段としての第２バッファボビン１８がそれぞれ配設され、各溝付ローラ２，３と第１バッファボビン１４との間に第３ダンサローラ１７が配設されると共に、各溝付ローラ２、３と第２バッファボビン１８との間に第４ダンサローラ２１が配設されている。 （もっと読む）

【課題】張力調整装置や複数のガイドローラを設置する必要がなく、ワイヤソーを簡単かつ小型にすることができ、ガイドローラによりワイヤに捩れが生じるのを抑制することができるとともに、ガイドローラによるイナーシャの問題をなくし、ワイヤの断線率を低減することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤ１２を掛け渡す複数の加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂ間にワイヤ１２を供給する供給側のボビン１３Ａ，１３Ｂと、使用済みワイヤ１２を巻き取る巻き取り側のボビン１３Ｂ，１３Ａとを備える。両ボビン１３Ａ，１３Ｂを軸線方向に沿ってトラバース動作させるトラバース機構１６と、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと両ボビン１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ１２の張力を検出するセンサ１８と、そのセンサ１８の検出に基づいて、ワイヤ１２の張力を調整する方向に、ボビン１３Ａ，１３Ｂを移動させる張力調整機構１７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの走行方向の反転時に、トラバーサに位置ずれが生じることを抑制すること。
【解決手段】ワーク加工用のワイヤ１１が架設状態で周回される複数の加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂと、ボビン１２Ａ，１２Ｂの軸線方向に往復動されて、ワイヤ１１の巻き取り及び繰り出しを案内するトラバーサ１６Ａ，１６Ｂとを備える。加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂ及びボビン１２Ａ，１２Ｂの往復回転にともなってワイヤ１１が往復走行されて、加工用ローラ１４Ａ，１４Ｂ間の位置においてワイヤ１１によりワークＷに切断加工を施すようにする。ワイヤ１１の走行方向反転時において、ボビン１２Ａ，１２Ｂの回転軸線に対するボビン１２Ａ，１２Ｂとトラバーサ１６Ａ，１６Ｂとの間におけるワイヤ１１の角度を検出する。その検出結果に応じてワイヤ１１の角度が９０度となるように、トラバーサ１６Ａ，１６Ｂを移動調整し、トラバーサ１６Ａ，１６Ｂの位置補正を行なう。 （もっと読む）

【課題】マルチ・ワイヤーソーにおいて、多溝ローラの長寿命化を図り、多溝ローラのＶ溝からワイヤーが脱線することを防止することを目的とする。
【解決手段】回転自在に設けられた複数の多溝ローラ１ａ，１ｂ間に巻き付けられたワイヤー２を備え、ワイヤー２を被加工物３に相対的に押し付けて被加工物３をスライスするワイヤーソーにおいて、多溝ローラ１ａ，１ｂからワイヤー２が離れる出口近傍とワイヤー２が多溝ローラ１ａ，１ｂに接触を始める入口近傍とに、ワイヤー２を多溝ローラ１ａ，１ｂに押し付ける回転自在な押さえローラ１１ａ，１１ｂを設け、多溝ローラ１の長寿命化を図り、ワイヤー２のＶ溝からの脱線を防止する。 （もっと読む）