【課題】基板の研磨工程に使用される研磨ホイールに二重研磨面を形成することにより、研磨特性及び研磨ホイールの寿命を向上させると共に研磨時間を短縮できる液晶表示装置用研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置用基板を提供する段階と、前記基板にアレイ工程又はカラーフィルタ工程を行う段階と、前記アレイ工程が終了した基板と前記カラーフィルタ工程が終了した基板とを貼り合わせる段階と、前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、前記単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階とを含む。 （もっと読む）

【目的】内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下の高面精度の管状脆性材料を比較的短時間で製造できる研摩方法及び該研摩方法で得られた高精度の管状脆性材料を提供すること。
【解決手段】管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、研磨用ヘッド（２）を有するホーニングマシンで前記内表面を前研削したのち、ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）で研摩することを特徴とする研摩方法。
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【課題】 本発明は、半導体デバイスに用いることができるＡｌＮ結晶基板を効率的に得るため、効率よくＡｌＮ結晶にモフォロジーの良好な表面を形成するＡｌＮ結晶の表面処理方法を提供する。
【解決手段】 ＡｌＮ結晶の表面を機械研削または機械研磨する工程と、その表面をエッチングする工程とを含むＡｌＮ結晶の表面処理方法である。ここで、表面を機械研削または機械研磨する工程において、砥粒径が６μｍ以下の砥粒または砥石を用いることができる。また、表面をエッチングする工程をウエットエッチングにより行なうことができる。 （もっと読む）