説明

Fターム[3C081AA11]の内容

マイクロマシン (28,028) | 目的、効果 (2,695) | 小型化、高集積化 (318)

Fターム[3C081AA11]に分類される特許

1 - 20 / 318


【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一反射膜551及び第三反射膜553を有する第一基板51と、第一反射膜551に第一ギャップG1を介して対向する第二反射膜552を有する第二基板52と、第三反射膜553に第二ギャップG2を介して対向する第四反射膜554を有する第三基板53と、第一ギャップG1を変更する静電アクチュエーター56とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ar0を有し、第一及び第二反射膜551,552により構成される波長可変干渉部57の複数の測定対象波長域のうちいずれか1つは、第三及び第四反射膜553,554により構成される波長固定干渉部58の複数の透過可能波長域のうちのいずれか1つと重なる。 (もっと読む)


【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器A1は、反射面を有するミラー部1と、トーションバー2a、2bに一端が連結され他端が支持部10に連結されて支持された圧電アクチュエータ8a、8bとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部1と支持部10との間の空隙に設けられる衝撃緩和部9a、9bは、支持部10のトーションバーと直交する方向のミラー部1と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 (もっと読む)


【課題】小型化および低コスト化を図るとともに、コンクリートの品質劣化を防止しつつ、測定対象物の状態を測定し、その測定結果に基づく情報を鉄筋の腐食前の計画的または予防的な保全に活用することができるセンサー装置およびセンサー装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー装置1は、不測定対象部位の環境変化に伴って表面に不動態膜を形成するか、または、表面に存在した不動態膜を消失させる第1の金属材料で構成された第1の電極3と、第1の電極3に対して離間して設けられ、第1の金属材料とは異なる第2の金属材料で構成された第2の電極4と、基板21と、基板21の一方の面側に設けられ、第1の電極3と第2の電極4との電位差を測定する機能を有する集積回路50とを含む機能素子5とを備え、第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、集積回路50上に設けられている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図り、製造にかかる手間を低減しつつ、磁石の剥離を防止することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす磁石20と、可動板11との接触を防止する空間23を形成するように枠状部材14と磁石20との間に介在して枠状部材14と磁石20とを接合し、半田で構成された第1の半田層21aおよび第2の半田層21bと、第1の下地層22aおよび第2の下地層22bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20a、20bと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20a、20bは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して傾斜するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる

【解決手段】電極15−1〜15−4は、可動梁12−1〜12−4に対向して配置され
る。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー14を高密
度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる
(もっと読む)


【課題】ディスク状の振動板がワイングラスモードで振動するように構成された輪郭振動型のディスク振動子において、当該ディスク振動子の小型化を図ること。
【解決手段】平面で見た時に第1の電極21、21を結ぶと共に振動板10の中心を通る直線をLとすると、この直線とのなす角度θが45°となる位置において振動板10に貫通孔11を形成し、即ち振動板10の振動の節となる位置(振動板10の振動を阻害しない位置)に貫通孔11を形成し、この貫通孔11の内壁面とベース基板1(導電膜5)との間を接続するように支持部30を設ける。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された第1の櫛歯電極(13a,13b)と、第1の櫛歯電極(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第2の櫛歯電極(15a,15b)と、第2の櫛歯電極(15a,15b)と梁(18)を介して結合された接触部(19)と、接触部(19)の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部(20)と、を有し、接触部(19)と電極部(20)との間に静電引力を発生させて、接触部(19)を変位させる構成とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された櫛歯電極を有する第1の櫛歯部(13a,13b)と、第1の櫛歯部(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第2の櫛歯部(15a,15b)と、反射ミラー(10)および第2の櫛歯部(15a,15b)の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板(22)と、透光性基板(22)を固定端として第2の櫛歯部(15a,15b)の一部であって第2のトーションバー(16)の軸から外れた位置を押圧する押圧部材(23)と、具備する構成とする。 (もっと読む)


【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ100は、ベース部2と、ベース部2に支持された複数のミラー110と、ミラー110に連結されてミラー110を駆動する複数のアクチュエータ1,1とを備え、ミラー110を互いに直交する主軸X及び副軸Y回りに回動させる。アクチュエータ1は、副軸Y方向に延びるアクチュエータ本体3と、アクチュエータ本体3の表面31に積層された圧電素子4とを有し、圧電素子4を伸縮させることによってアクチュエータ本体3を傾動させるように構成されている。各ミラー110には、副軸Yを挟んで並ぶ2つのアクチュエータ1,1が主軸Xに対して一方の側だけに設けられている。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板101の上に離間して配置されたミラー102と、ミラー102の一端を1つの連結部103を介して連結して基板101の上で支持する第1支持部104と、ミラー102を挟んで第1支持部104に対向する第2支持部105と、第2支持部105に一端が支持されて他端がミラー102の他端に各々1つの連結部106a,106bを介して連結する2つの第1可動梁107および第2可動梁108と、第1可動梁107のミラー102側の他端を基板101より離れる方向および基板101に近づく方向の選択された第1方向に変位させるための第1駆動電極109と、第2可動梁108のミラー102側の他端を上記第1方向に変位させるための第2駆動電極110とを備える。 (もっと読む)


【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ21のミラー部21aの光反射面側に開口部16を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極12,13を有する第1の基板11と、その開口部16に光反射面が向くように第1の基板11上に実装された光スキャナチップ21と、光スキャナチップ21の光反射面と反対側の面に装着された第2の基板31とでパッケージ化される。光スキャナチップ21の電極22は、第1の基板11の一方の面の電極12と金属の溶融又は圧接によって接続され、第1の基板11の他方の面の電極13,14を介して給電される。 (もっと読む)


【課題】材料コストが安く、しかもパッケージとした際に、薄型化が可能で、異物の発生を抑制可能な電子部品素子搭載用基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材14の一方の面が開放し他方の面が閉塞されて底部となる非貫通孔6と、この非貫通孔6の底部に設けられた電子部品素子搭載部12と、を有する配線基板2と、配線基板2の基材14の一方の面上に接着層4を介して配置され、電子部品素子搭載部12上に空隙部15を形成するスペーサ層3と、スペーサ層3上に接着層4を介して空隙部15を塞ぐように配置される蓋基板5と、を有する。 (もっと読む)


【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板150と、基板150に設けられた一対の駆動電極120A,120Bと、基板150に固定された一対の固定部107と、一対の固定部107にそれぞれ接続された一対のヒンジ110と、一対のヒンジ110によって揺動可能に支持された接続部105と、接続部105に固定された支柱102と、支柱102に固定された可動板101とを有している。可動板101は、駆動電極120A,120Bに対向するように基板150から間隔を置いて支持されている。可動板101は、駆動電極120A,120Bに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面103を有している。駆動電極120A,120Bと固定部107とヒンジ110と接続部105は同一の層から形成されている。 (もっと読む)


【課題】小型で、高速応答性に優れ、大きく変位することが可能なアクチュエーターを提供すること、このようなアクチュエーターを容易に製造可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエーターは、複数の電極11と、複数のカチオン交換樹脂膜12と、複数のアニオン交換樹脂膜13と、の積層体で構成され、カチオン交換樹脂膜12とアニオン交換樹脂膜13とが交互に積層されており、カチオン交換樹脂膜12およびアニオン交換樹脂膜13は、それぞれ、2つの電極11で挟持されており、隣り合うカチオン交換樹脂膜12とアニオン交換樹脂膜13との間の電極11が、同じ極性となるように電圧が印加されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】装置を大型化、高コスト化することなく、共振周波数の変動を低減したMEMS共振器を提供する。
【解決手段】静電力が印加されると機械的に振動する梁状の振動子101と、前記振動子101を振動可能に支持する支持部と、空隙103を介して前記振動子101と対向する面を有する少なくとも1つの電極102とを有し、前記振動子101の振動により発生する電流を前記振動子101又は前記少なくとも1つの電極102に接続された出力端子を介して出力するMEMS共振器200であって、前記振動子は前記梁の長手軸を中心としたねじり共振モードで振動を行い、前記振動子101および前記電極102の互いに対向する面は、互いに異なる導電型の半導体からなり、前記振動子101において、前記電極102に対向する面を含む表面部分111は、他の部分より高い密度で不純物がドープされている。 (もっと読む)


【課題】静電アクチュエータと当該静電アクチュエータを駆動するための駆動集積回路を縦方向に集積することによって実装面積を小さくする。
【解決手段】
第1部材32には静電アクチュエータ46を設けている。第2部材33には、静電アクチュエータ46を駆動するための駆動用IC72を設けている。第1部材32と第2部材33は、静電アクチュエータ46を設けた面と駆動用IC72を設けた面を対向させて、外周部の接合部35と接合部36で接合されている。第1部材32、第2部材33及び接合部35、36によって構成された空隙部34内には、静電アクチュエータ46と駆動用IC72が気密的に封止されている。駆動用IC72に用いられているコンデンサ75は、コンデンサ75に発生する電界の向きと静電アクチュエータ46を駆動するための電界の向きとが交差、好ましくは直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】シンプルな構造で、混合性能が良いマイクロ混合デバイスを提供する。
【解決手段】従来のT字型マイクロミキサーでは、デッドボリュームとなり、使われていなかった配管のフェラル部より先の部分の空間を活用したマイクロミキサーであって、シンプルな構造で有りながら、効率が良い高価なマイクロミキサーと同等かそれ以上の混合効率を有し、しかも常温常圧またはそれ以下から高温高圧条件下で使用することができるマイクロ混合デバイス。
【効果】安価で、シンプルな構造で、2液以上の流体を混合するデバイスであり、大流量にも適応可能であり、例えば、クロマトグラフィーのグラジェントに用いることや、マイクロリアクターとして、様々な化学反応に用いることができる高効率なマイクロミキサーを提供することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】全体の大形化を抑えながらも、外部応力に起因する可動電極部の変形を効果的に防止する。
【解決手段】支持基板2上に絶縁層3を介して設けられた単結晶シリコン層4に溝を形成することにより、可動電極部6及び固定電極部7,8からなるセンサエレメント5を設ける。可動電極部6は、錘部6aから櫛歯状に延びる可動電極6dを有し、錘部6aの前後両端部に梁部6bを有すると共に、前端側に第1のアンカ部6cを有している。アンカ部6cの上面に、アルミ製の電極パッド9を設ける。アンカ部6cに、応力遮断用の2本のスリット12を単結晶シリコン層4全体が除去される深さで形成する。各スリット12は、アンカ部6cの左右の両側縁部から、電極パッド9の左右両端縁部を延ばした仮想延長線を横切る位置まで内側に延びている。スリット幅寸法cを5μm以上とする。 (もっと読む)


1 - 20 / 318