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【課題】複数の針に貫通孔を備えた針状体を簡便に精度よく転写成型可能であり、なおかつ耐久性を有する転写版を用いた針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】基部の表面に複数の針を備え、前記針および基部に貫通孔を有する針状体を製造する方法であって、前記針を凹凸反転させた凹部を規定する輪郭部と前記針の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた針転写版、および前記基部の底部を規定する板状部と前記基部の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた基部転写版を用い、前記針転写版に樹脂を充填させる樹脂充填工程と、前記針転写版の上部に残存している樹脂に対し前記基部転写版を押圧して前記針転写板に接触させる転写版押圧工程と、前記針転写版および前記基部転写版から前記樹脂を取り出す剥離工程とを有することを特徴とする針状体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】皮膚への穿刺時および複製版への転写時等に先端部の破損が生じにくい針状体を簡単な方法で製造することを可能とする針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板11上に、底面部の外形形状の一部または全部が円弧形状で、かつ周縁部から中央部へ連続的に厚みが増加するエッチングマスク12を形成する工程と、前記エッチングマスク12を用いてエッチング処理を施すことにより基板に針状の構造体13を形成する工程と、前記構造体13に上部斜面14を形成する工程とを含むことを特徴とする針状体15の製造方法。 (もっと読む)


【課題】流体管路(貫通孔)を有するマイクロニードルデバイスにおいて、皮膚に対して小さい力で痛み無く穿刺可能で、かつ穿刺後は薬剤注入または血液、体液等の吸引を円滑に行うことが可能な高品質のマイクロニードルデバイスを提供する。
【解決手段】平坦な基板11に複数の針状突起物12が基板11と一体的に整列した状態で形成された構造体であり、針状突起物12は境界面13を境に先端部17側が体内で可溶性を示す第1の材料14aで構成され、基板11側が不溶性の第2の材料14bで構成され、針状突起物12の内部に基板11の底面側にのみ貫通した流体管路15を有するマイクロニードルデバイス10。 (もっと読む)


【課題】ニードル部を確実に根元まで皮膚内に挿入することができる針状アレイ経皮吸収シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】鉛筆形状のニードル部と、円錐台形状又は角錐台形状の錐台部と、平板形状のシート部とを備え、前記シート部表面には、前記ニードル部と接続された前記錐台部が複数個設置され、前記ニードル部は、円錐形状又は角錐形状の針部と、円柱形状又は角柱形状の胴体部とを有し、前記針部の底面と前記胴体部の端面とが接続された構成を成し、前記胴体部の端面のうち前記針部に接続されていない側の端面は、前記錐台部の端面のうち面積の狭い側の端面に接続され、前記錐台部の端面のうち面積の広い側の端面は、前記シート部の表面に接続され、前記シート部表面において、互いに隣接する前記錐台部の側面同士が接している針状アレイ経皮吸収シート。 (もっと読む)


【課題】入射角が大きな光に対する感度を向上させる。
【解決手段】マイクロ構造の製造方法は、シリコン基板50の被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なうステップと被エッチング部の少なくとも側面に保護膜を形成するステップとを交互に実行する第1エッチング工程と、第1エッチング工程の実行後に、被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なう第2エッチング工程とを含み、シリコン基板50の内部に向かい弧状に膨出する複数の凹部50cから成るマイクロ構造を形成する。 (もっと読む)


【課題】皮膚の所望の深さまでニードルを有効に挿入する能力および皮膚に適用する前に繊細なマイクロニードルを保護する能力を提供する。
【解決手段】哺乳類にマイクロニードルアレイ(10)を適用するために使用されるアプリケーター(100)。特に、マイクロニードルデバイス(120)に取り付けられた隆起した中心領域(115)を有するフレキシブルシート(110)と、フレキシブルシートの周囲の、又はその周囲の付近の支持部材とを含んでなり、フレキシブルシートがシートの主平面に対して直交方向の段階的な運動を受けるように構成される、皮膚表面にマイクロニードルデバイス(120)を適用するための適用デバイス。 (もっと読む)


【課題】ハニカムの繋ぎ目での変形が少ない高アスペクト比のハニカム構造体を製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】所定の条件で塑性変形する薄膜層30を、複数の凹部を有するテンプレート25に密着させる工程と、凹部と薄膜層30との間の空間のガス圧力により薄膜層30を膨張延性させることで、複数個の隔壁35を一定方向に形成し、複数個の隔壁35及び各隔壁を連結する天井部30Bからなる中空体を硬化させる工程と、天井部30Bを除去する工程と、有し、天井部30Bを除去した中空体の隔壁35間を補強材により把持する工程と、中空体の天井部30Bを除去した側に、新たに薄膜層80を圧着して、再び中空体(隔壁)形成を行う。 (もっと読む)


【課題】所望の長さを有し、先端が先鋭である、錐形状のマイクロニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】研削加工を用いて基板に第1の方向に沿って互いに平行な複数の第1の線状溝を形成する工程と、研削加工を用いて基板に第1の方向と交差する第2の方向に沿って互いに平行な複数の第2の線状溝を形成し、上部に平面を有する島状構造体を形成する工程と、該上部に平面を有する島状構造体に等方性エッチングを施す工程とを備えることを特徴とするマイクロニードルの製造方法。 (もっと読む)


【課題】MEMSデバイスを構成する絶縁構造体において応力による強度低下を回避する技術を提供する。
【解決手段】母材100(a)に設けた絶縁部形成領域に平行配列する複数の溝を形成する(b)。この溝は、絶縁部形成領域の上端側では溝200が溝201よりも上端側に突出し、下端側では溝201が溝200よりも下端側に突出する。溝を形成した絶縁部形成領域を熱酸化処理する。熱酸化処理で母材表面に成長した酸化膜により溝が完全に埋められた場合(c)、酸化領域300は、接続する導電性領域101,102に対して十分な幅を持つ板状の支持構造になり、構造体にかかる応力に対して高い強度をもつ。熱酸化処理で溝が完全に埋められなかった場合(d)、酸化領域301の両側に接続する導電性領域101,102は、つづら折れ形状の梁からなるばねにより支持される状態となる。ばね形状の構造による緩衝作用により構造体にかかる応力を緩和する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス10を基板2の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】MEMSミラーに損傷を与えずにMEMSミラーを基板から分離する方法を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス体が支持部4bに支持された基板20の支持部4bにレーザー光74を集光して照射し、支持部4bに改質部75を形成する改質部形成工程と、支持部4bに力を加えて支持部4bを切断しミラーデバイス体2と基板20とを分離する分離工程と、を有し、支持部4bの断面形状は台形に形成され、改質部形成工程では台形の平行な2辺のうち長い方の辺の側からレーザー光74を照射する。 (もっと読む)


【課題】MEMS素子が実装基板から応力を受け、その結果、MEMSデバイスの感度低下又は感度バラツキを引き起こす。
【解決手段】MEMSデバイスでは、MEMS素子100が実装基板201に実装されている。MEMS素子100では、シリコン基板101の下面101Bには突起物106が形成されている。突起物106と実装基板201とは接着剤202を介して接続されている。 (もっと読む)


【課題】基台が有する凹部の表面を被覆することのできるセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサの例によるフローセンサは、一方の面にキャビティ25を有する基台20と、基台20の一方の面の上に設けられるセンサ薄膜30と、を備える。センサ薄膜30は、キャビティ25に通ずるスリット36を有している。キャビティ25の断面形状は、例えば舟形凹状であり、キャビティ25の表面Aは、原子層堆積法により形成された膜Xで被覆されている。 (もっと読む)


【課題】設計自由度が高く曲げ強度が高く極めてアスペクト比が高いニードルを提供する。
【解決手段】最小幅1μm以上の連続領域を保護する膜であるリード保護膜R1をシリコン基板100の主面101の一カ所以上に形成する工程と、シリコン基板100の主面101のリード保護膜R1から露出している領域を垂直方向にエッチングすることによって直柱体102を形成する工程と、直柱体102の内部に酸化されずに残る直柱体領域104の横断面最大幅が1μm未満になるまでシリコン基板100を熱酸化する工程と、シリコン基板100に形成された酸化膜103を除去することによって、直柱体領域104からなるリードと、底に向かって広がるフレア面を側面とし頂からリード104が突出するマウント105とを有しシリコンからなるニードル10を形成する工程と、を含むシリコンナノニードルの製造方法。 (もっと読む)


【課題】微小な傾斜構造体を製造することを課題とする。
【解決手段】傾斜構造体の製造方法は、基板部13aの上に軸部13bを形成し、軸部の上面が露出し、且つ軸部の上面と接続する上面を有する犠牲膜を基板部13aの上に形成し、軸部の上面及び犠牲膜の上面に傾斜構造体膜7を形成し、軸部の上面と軸部の側面によって構成される角部の上に位置する傾斜構造体膜7の膜厚を薄く加工することにより、傾斜構造体膜に前記角部の上に位置する薄膜部11を形成し、傾斜構造体膜7と基板部13aとの間の犠牲膜を除去し、傾斜構造体膜と基板部との間に液体18を供給し、液体18を除去することにより、ステッキングを発生させ、傾斜構造体膜を薄膜部11で曲げ、傾斜構造体膜の端部を基板部に接合することで、基板部と傾斜構造体膜によって鋭角を構成する。 (もっと読む)


【課題】薬物がマイクロニードルの先端部分(貫入部)に集中したマイクロニードルシートの製造方法を提供する。
【解決手段】スタンパ6の第1の表面Stから、当該第1の表面Stに対向する第2の表面Sbに向かって、第1の所定長だけ先細りに延在する錐状の凹部7に、第1のマイクロニードル原料21を充填し;前記凹部7に充填された第1のマイクロニードル原料21を、60%以上99%以下である、所定の相対湿度の環境下で乾燥させて、前記第1の所定長より短い第2の所定長だけ延在するニードル先端層25bを形成し;前記ニードル先端層25bの上に、第2のマイクロニードル原料24を充填し;前記充填された第2のマイクロニードル原料24を乾燥させて、前記ニードル先端層25bに連続するシート基体27を形成する。 (もっと読む)



【課題】電気機械変換器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する可動部と可動部の一面と交差する面を有して可動部と一体的に配され、可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材とを備える。上記電気機械変換器において、捩じり軸部は、可動部と一体をなしてもよい。また、上記電気機械変換器において、捩じり軸部の他端に支持され、静電力により基板上の電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、一端を枠体に固定され、他端において可動部を支持する枠側捩じり軸部とを更に備え、可動部は、枠体に対しても揺動してもよい。 (もっと読む)


【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 (もっと読む)


【課題】 可動部の揺動動作による空気の流れが発生した場合でも、可動部を安定して揺動動作させることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部4と、可動部4の一面側に取付けられた整流部材5と、を備えている。 (もっと読む)


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