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Fターム[3C081BA02]の内容

マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 形状 (1,329) | 凹形状 (613)

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Fターム[3C081BA02]に分類される特許

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【課題】微細構造からなる流路を有する合成樹脂製のマイクロ部品であって、微細構造からなる流路の断面精度及び当該流路の長手方向に対して平面均一度に優れたマイクロ部品の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係るマイクロ部品は、合成樹脂製で、溝幅:0.3μm〜2,000μm、溝深さ0.3μm〜200μmの微細構造からなる流路を有し、流路の長手方向に対して均一の溝深さをねらいとした流路長さが5mm以上あり、当該5mm以上の流路長さの部分において、溝深さのバラツキが±2%以内であることを特徴とする。
ここで、溝深さが100μm以上の場合には、溝深さのバラツキを±2μm以内に抑えるのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】振動体と検出電極との位置ずれを抑えることで静電容量変化の検出精度をより高くすることのできるMEMS構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持構造部11と前記支持構造部11に対して変位可能に支持された振動体12bとからなる振動体部1Aと、基板21と前記基板21上に形成された検出電極22aとからなる検出電極部2Aとを備えるとともに、振動体12bと検出電極22aとが間隔を空けて対向するようにして前記振動体部1Aと前記検出電極部2Aとが接合され、振動体12bと検出電極22aとの間の静電容量の変化を検出するように構成されたMEMS構造体において、振動体部1Aにおける検出電極部2Aとの対向面に、検出電極部2Aの外周形状に嵌合する内周形状を持つ振動体部側の凹部15が形成されていることにより、振動体部1Aと検出電極部2Aとの接合時に生じる振動体12bと検出電極22aとの位置ずれを抑えることができるようにしている。 (もっと読む)


【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ1は、基体2と、基体2上に固定された微細構造体3とを有する。微細構造体3に、相対向する第1の支持部4と、相対向する第2の支持部5と、V字状の弾性連結部6を介して第1の支持部4に回動自在に連結され基体2から浮く回動板7と、回動板7の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群11と、ばね部8を介して第2の支持部5に連結され基体2に固定された固定部9と、固定部9の端部に可動電極群11とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群10と、基体2・微細構造体3を位置決めする位置決め部14とを備える。固定電極群10を含む固定部9は、第2の支持部5よりも肉薄で、自重とばね部8の変形とにより可動電極群11を含む回動板7よりも下方に変位して基体2に固定され、可動電極群11は固定電極群10よりも上方にずれて位置する。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1種の液体で充填され且つ少なくとも1つの膜で閉鎖された少なくとも1つの閉鎖筐体が設けられたデバイスを作製する方法であって、
a)液体状態の少なくとも1つの所定の材料を支持体(100)上に堆積する段階と、
b)所定の材料(130)を少なくとも部分的に凝固させるかまたはゲル状態にする段階と、
c)膜及び支持体が、所定の材料で充填された少なくとも1つの閉鎖筐体を形成するように、凝固した材料上に膜を作製する段階と、
d)閉鎖筐体中で所定の材料が再度液化するように、所定の材料(130)を融解させる段階と、を含む方法に関する。
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【課題】凹部を形成した基板とカバー材料とで構成されるマイクロ流体デバイスにおいて、幾何学的な個体間のばらつきと、基板とカバー材料との接合部に非接合領域を発生させる可能性を軽減したマイクロ流体デバイスの製造法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流体デバイスの製造において、流路やチャンバ、リザーバになる凹部をあらかじめ基板に形成し、その基板の凹部を形成した側の面に、液体状のエネルギ線硬化樹脂を付着させる。そして、エネルギ線照射手段によってエネルギ線硬化樹脂を硬化させることで、基板凹部上のカバーとなり、流路やチャンバ、リザーバを形成できる。 (もっと読む)


【課題】密閉空間内に形成されるMEMSデバイスの性能を維持しつつ、その密閉空間の容積の低減と製造プロセスの簡略化を図る。
【解決手段】ガラス基板の凹部34,36a,36b,36cで形成される密閉空間内のMEMSデバイスが、可動部(例えば、リング,サスペンション)と固定部(例えば、一次振動検出用電極)を備えた振動子10であり、かつ前記固定部のみの表面上に形成されたゲッター膜40a,40b,40c,40dを備える。 (もっと読む)


【課題】寸法及び断面形状の変動を低減し、処理能力の低下を抑制することが可能なインプリントモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】設計パターンデータに含まれる複数の図形のそれぞれを、寸法が寸法基準値以下の第1図形と寸法基準値より大きな第2図形とに分類し、第1及び第2図形のそれぞれから第1及び第2描画パターンデータを生成する工程と、第1描画パターンデータを用いて基板に第1図形を転写する工程と、第2描画パターンデータを用いて基板に第2図形を転写する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】より丈夫で、特に、広い温度範囲、振動応力及び重力荷重において剛性と安定性を保持することが可能なセンサを提供する。
【解決手段】 MEMSデバイスを支持するための基板を提供する。基板は、使用に際してMEMSデバイスを支持するための一体成形の台座マウントを備えた収納容器を含む。センサーを形成するために、基板はMEMSデバイスと組み合わせることができる。 (もっと読む)


MEMS素子の所望の輪郭に順応するミクロン寸法の表面を形成する方法であって、その上面に凹部を有する結晶質シリコン基板を提供する工程、前記基板の上面に結晶質シリコンの薄層を提供する工程、前記層を前記基板に真空条件で融着する工程、及び前記層に熱及び圧力を加え、前記凹部内に前記層を所望の輪郭に塑性変形させる工程を具備する方法。基板は、ジップ原理に基づき動作する静電MEMS素子の固定電極を形成する。 (もっと読む)


バルブ、蠕動ポンプ、および混合部といった可動構造を有する微少流体装置を、この可動構造の上に薄いエラストマー膜を設けて構成する。この可動構造は、前記膜の外側から触覚アクチュエータにより作動される。このアクチュエータを制御すべくコンピュータがソフトウェアを実行する。このソフトウェアは、ユーザに選択されたプロセスをプロセスライブラリから実行するプロセスマネージャを具える。 (もっと読む)


本発明は、流体注入用の開口部(40)を備えた第一基板(42)と、多数の電極を備えた第二基板(46)とを含む液体分配装置に関する。多数の電極は、前記開口部(40)に少なくとも部分的に対向して配置された移送用電極と称される少なくとも一つの電極(44)と、少なくとも二つの小滴形成用電極(50、52)と、前記移送用電極(44)及び前記小滴形成用電極(50、52)に対応していて、前記小滴形成用電極のそれぞれの面積の少なくとも三倍に等しい面積を有する、リザーバ電極と称される少なくとも一つの電極(48)とを含む。
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流体試料流を案内するマイクロ流体素子が開示されている。マイクロ流体素子は、2つの横方向に伸び、かつ垂直方向に貫通する凹部を少なくとも1つ有する底部プレート(1)、少なくとも第1貫流位置(3.1)及び第2貫流位置(3.2)を有する貫流ユニット(2)、及びプレート構造(4)を有する。底部プレート(1)の凹部(1.1)に対する貫流ユニット(2)の配置は、この配置の一の面から第1貫流位置(3.1)及び第2貫流位置(3.2)を介して反対の面へ、流体流が垂直に流れることができるような配置である。さらにプレート構造(4)と貫流ユニット(2)との相対的な配置は、流体が第1貫流位置(3.1)から第2貫流位置(3.2)への横方向に流れることができるようにチャネル間接続用空洞が形成されるような配置である。
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マイクロ流体システムは、例えばセンサ又はポンプユニットといった要素4を有する。それらは、チャネル7で導かれる流体の特性を測定するよう又はこの液体に関する影響を与えるよう意図される。本発明において、マイクロ流体システムは、要素構造49が形成され、それと平行にチャネル構造8が、チャネル7がチャネル構造8に組み込まれるような態様で配置され、要素4がキャストジャケット物質5に埋め込まれることが提案される。斯かるマイクロ流体システムにおいて、チャネルを通る非常に良好な流れ特性を備える流体の流れが実現されることができるという態様で、要素がチャネルに対して配置されることができる。
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本発明は、反応によって沈殿物または懸濁物が形成される少なくとも2つの流体を混合するためのマイクロミキサーに関する。マイクロミキサーは、第1部分流(6)が供給される第1チャンネルおよび第2部分流(7)が供給される第2チャンネルを有して成る。第1部分流(6)および第2部分流(7)は、狭い入口ギャップ(19,20)を介して混合反応領域(10)に流入し、その後、その混合反応領域(10)を介して流出チャンネル(11)へと移送される。本発明は、部分流(6,7,37)が移送される少なくとも1つのチャンネルと混合反応ゾーン(10)との間に逆流防止部材が設けられていることを特徴とする。
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