【課題】本発明は、振動周波数を容易に調整でき、かつ迷光の発生しないミラー部を有する光スキャナを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光スキャナ１は、ミラー部の周縁部から外方向に延出して設けられるトリミング部の、前記ミラー部の反射面が設けられている側の表面の光反射率が、エッチングによって前記ミラー部と比較して低くなるように構成されることにより、前記トリミング部が振動周波数調整のための加工を行う際に除去されない場合でも、ミラー部と比べて入射した光束を反射しにくいため、トリミング部に由来する迷光を最小限に抑えることが可能となり、高精度での走査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスにおける可動電極の駆動のための駆動電極の面積をさらに大きくすることができ、駆動の安定性を一層向上させること。
【解決手段】基板１１と、基板上に設けられ、互いに対向する第１の線路部１２ａおよび第２の線路部１２ｂを含む信号線路１２と、基板の上方に設けられ、第１の線路部および第２の線路部の両者を跨いで対向する可動電極３３と、基板上に可動電極３３に対向して設けられ、可動電極３３との間に印加される電圧によって可動電極３３を引き付けて信号線路１２と可動電極３３との距離を変化させるための駆動電極３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細な針状体を皮膚に接触させ、押圧を加えて皮膚を穿刺する際に、外部から力が加えられたとき破壊および変形の双方が抑制される針状体を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上の突起部を備え、前記突起部が、突起部外形を構成する構造層と、前記突起部内部に位置して前記突起部の強度を補強するための補強層とから構成されることを特徴とする針状体。突起部外形を構成する構造層に剛性の低い材料を用い、突起部内部の補強層に剛性の高い材質を用いることで、穿刺性能を低下させること無く、穿刺時に加えられる力による突起部の破壊および変形を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】振動片のスティッキングを防止して歩留まりを向上させること。
【解決手段】基端部３５から先端部３９に向かってＸ方向に延びるように形成され、該Ｘ方向に直交するＹ方向に振動する振動片３６と、基端部３５を介して振動片３６を片持ち状に支持する振動子アイランド３４と、を有する振動子３２と、振動片３６に対してギャップｄを空けた状態で他方向に沿って振動片３６を間に挟むように配置され、電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片３６を振動させる電極部３３ａ，３３ｂとを備え、振動片３６の幅は、基端部３５から先端部３９に向かうにつれて漸次縮小するように形成されている発振子３０を提供する。 （もっと読む）

【課題】外部から力が加えられたとき破壊／変形が抑制される針状体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体は、基板の突起部を備えた面とは逆側の面に突起部を保護するための保護層を備えたことを特徴とする。本発明の構成によれば、基板の突起部を備えた面とは逆側の面に突起部を保護するための保護層を備えることにより、針状体同士を積層させた状態で保持することが出来る。このとき、突起部は保護層に覆われた状態であるため、針状体先端部である突起部の破壊／変形を抑制することが可能となる。また、針状体同士を積層させることにより、保管スペースを低減できるという効果を有する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールやマイクロメートルオーダーの微小物体を非接触で運動制御する一手法として，光圧を用いることが知られている。しかし、従来では高ＮＡの光学系を用いており、装置の小型化が進まず、例えば光マイクロチップのような微小構造体中に用いることが困難であった。
【解決手段】端面を半球状に研磨した光ファイバから放射させた、集光度が低い３本のビーム（レーザ光線）で正三角形状の循環経路を構成する。ビームの集光が緩やかである場合、照射対象に対してビームの放射方向とビーム断面内の中心方向に光圧が作用する。この性質を利用することでレーザビーム網に沿って、マイクロメートルオーダーの微小物体を循環運動させることができる。 （もっと読む）

干渉変調器によって反射された色は、画角に応じて変化しうる。このように、色の範囲は観測者に対して前記干渉変調器を回転させることにより見える。観測者と干渉変調器との間にテクスチャード加工層を位置することにより、色の範囲を含むパターンが前記観測者によって見られ、及びこのようにして前記色の範囲は単一の画角から見えうる。
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【課題】微小流路構造体を用いて微粒子を生成するにあたり、安価に大量に作製した微小流路構造体を、立体的に微小流路の集積度を向上させて、すべての微小流路に均一に流体を送液し、生成物を大量に生産することが可能な液滴生成用製造装置を提供する。
【解決の手段】流体を導入する流体導入口と流体により微粒子を生成する微小流路と生成した微粒子を含有する流体を排出する流体排出口とを有する微小流路構造体であって、前記微小流路構造体は、流体を前記微小流路に供給する流体供給用構造体と微小流路を有する微小流路基板とこれらの間に介される板とから構成されており、前記微小流路基板の基材が、ＪＩＳ Ｋ ６２５３準拠のデュロメータ硬さ試験方法でタイプＤにおける硬度７０以上であり、かつＪＩＳ Ｋ ７１５２−４準拠の成形収縮率は３％以下の樹脂である液滴生成用微小流路集合体装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】対流の発生を抑制し、意図しない流体同士の混合や、流体内の粒子の偏在が生じにくいマイクロ流路デバイスを提供すること。さらに、前記マイクロ流路デバイスの好適な製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の流体が層流を形成して送流されるマイクロ流路を有し、該マイクロ流路の内壁に、流体の流れと略平行であり、かつ、前記複数の流体が形成する界面に対して略垂直方向に突出する凸部を有することを特徴とするマイクロ流路デバイス。前記マイクロ流路は湾曲部を有し、前記凸部は、マイクロ流路の湾曲部に設けられていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】光変調器モジュールパッケージを提供する。
【解決手段】本発明の光変調器モジュールパッケージは、光源から入射された入射光をミラーの上下離隔距離に応じて回折及び干渉させて変調された変調光を出射する光変調器と、前記光変調器を駆動するために前記光変調器の周辺に実装されるドライバＩＣと、前記入射光のうち前記光変調器のミラー領域に入射されない光を遮断するノイズ除去部材とを備える。これによれば、光源から出射された光のうち光変調器から反射しない光が光変調器から出射された変調光に及ぼす影響を最小化させることができる。 （もっと読む）

【課題】先端部の角度を自由に選択可能であり、例えば先端部の角度を小さくし、穿刺抵抗を少なくすることのできる微細な針状体の製造方法を提供すること。
【解決手段】アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体１の製造方法であって、（１）結晶面方位が(１００)、(１１０)および(１１１)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、（２）前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン（１１１）面である上部斜面を形成する工程と、を有してなることを特徴とする針状体１の製造方法。 （もっと読む）

金属製基板上にフォトレジスト層を塗着して加熱し、マスクを通してその層をＵＶ照射に曝し、光硬化しなかった部分を溶解させることによって現像を行ってモールドを得、モールドの開口部分内に金属又は合金の第１の層を電着させ、機械加工によって金属構造及びモールドの平面出しを行って平坦な上側表面を得、上側表面全体に下地金属層を堆積させた後、ここまでのステップを繰り返す。モールドの開口部分内に金属又は合金の第２の層を電着させ、得られた多層金属構造及び硬化フォトレジストを層間剥離によって基板からはがし、フォトレジストを分離して多層金属構造を切り離し、下地金属層の、電着金属の２つの層の間に挟まれていない部分を除去する。
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