【課題】可撓性の素子を用いながらも、自己保持性を有し、かつ、信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】電歪材料層と、電歪材料層の両面に各々配置された２つの電極と、いずれか一方の電極を介して電歪材料層の片面に接合された基材とにより構成された、可撓性を有する電歪素子（１０）を含む電歪アクチュエータ（２０）において、電歪素子（１０）を中空螺旋状の形態を有するものとし、電歪素子（１０）の螺旋回転方向（Ｒ）に沿った両側部（１０ａ、１０ｂ）を螺旋中心軸（Ｃ）に垂直な方向において重なり合わせる。 （もっと読む）

【課題】高能率・高品質な微細穴加工を実現するための加工用工具、その作製方法および高分子フィルムの加工方法を提供する。
【解決手段】単結晶シリコンの基板に、ドライエッチング技術によって形成した微小貫通孔を形成し、少なくとも該微小貫通孔の内壁に一種もしくは二種類以上の金属膜を積層して金属製の中空状ニードルを形成する微細穴加工用工具を提供し、さらに、該微細穴加工用工具を用いることで、高分子フィルムに、最小寸法が数μｍ〜数十μｍ程度の微細な貫通穴を高精度、高品質かつ高能率に加工する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高温で炭化したセルロース繊維の独特な構造を用いたメソ気孔を持つマイクロチューブルハニカム炭素体およびその製造方法、これを用いたマイクロチューブル反応器モジュールおよびその製造方法、並びにこれを用いた超小型システムに適用可能なマイクロ触媒反応装置の提供。
【解決手段】マイクロ触媒反応装置に用いられるマイクロチューブルハニカム炭素体の製造方法において、蒸留水溶液にセルロースマイクロ繊維を十分に濡らしながら洗浄し、常温で乾燥させる段階と、セルロースマイクロ繊維を高温の熱処理用反応装置に入れて装置内の残存酸素を真空ポンプで除去する段階と、反応装置の温度を制御しながら水素を供給して熱処理する段階とを含むことを特徴とする、セルロース繊維を熱処理して得られたマイクロチューブルハニカム炭素体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】スプリング構造を備えている極細、肉薄の通電検査治具用接触子を、より精度高く、より精密に製造する。
【解決手段】心材の外周にメッキにより金めっき層を形成した後、形成された金めっき層の外周に電鋳によりＮｉ電鋳層を形成し、前記Ｎｉ電鋳層の外周にレジスト層を形成した後、レーザーで露光して前記レジスト層に螺旋状の溝条を形成し、前記レジスト層をマスキング材としてエッチングを行い、前記レジスト層に螺旋状の溝条が形成されていた部分のＮｉ電鋳層を除去し、前記レジスト層を除去すると共に、前記Ｎｉ電鋳層が除去された螺旋状の溝条部分の金めっき層を除去し、金めっき層を前記Ｎｉ電鋳層の内周に残したまま前記心材のみを除去する。 （もっと読む）

【課題】 貫通孔付のマイクロニードルを容易に製造することができるマイクロニードル製造方法を提供すると共にそのようなマイクロニードル製造方法により製造されたマイクロニードル基板を提供することにある。
【解決手段】 硬化性樹脂に熱又は光エネルギーを付与し、且つ、そのエネルギーを制御することにより上記硬化性樹脂の外周部を硬化部とすると共に内周部を未硬化部とし、次に、上記未硬化部の硬化性樹脂を除去することにより貫通孔を備えたマイクロニードルを得るようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】敷設された中空フィラメントの外径仕様が異なる場合や、該中空フィラメントが交差する場合でも表面凹凸が少なく、また、中空フィラメントが交差部で位置ずれを起こさないマイクロ流体システム用支持ユニット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】固定層中に少なくとも１本の中空フィラメントの一部が任意の形状に敷設され、固定されているマイクロ流体システム用支持ユニットに関し、固定層は、基材上、保護層上または中間層上に設けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 ノズル先端内径を３０μｍ以下に細くし、更にノズルの肉厚も薄くすることで液の出をよくし、医療用又は工業用の多様な機器に適用できる超精細ノズル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 芯線４３に特殊な電鋳（１回目の電鋳）を施して、芯線４３の一部を露出させ、当該芯線４３を取り付けたままのテーパー形状の電鋳管４１を形成し、更に、２回目の電鋳を施して第２の電鋳管４４を形成し、その後に、芯線４３と第１の電鋳管４１とを引き抜いて、内・外径の異なる電鋳管を用いた一体型の超精細ノズルを製造するものであり、当該ノズルの先端部をテーパー加工してもよく、内外を金、銀、パラジューム等の金属でメッキしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 従来の欠陥及び制限を克服する、垂直型集積ＭＥＭＳスイッチ、設計構造体、及びそのような垂直型スイッチの製造方法を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳスイッチを製造する方法は、ウェハ内に少なくとも２つの垂直方向に延びるビアを形成することと、少なくとも２つの垂直方向に延びるビアを金属で充填して少なくとも２つの垂直方向に延びるワイヤを形成することとを含む。この方法は、垂直方向に延びるワイヤの少なくとも１つがボイド内で移動可能であるように、下部側からウェハ内にボイドを開口することをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】生体内分解性の樹脂を加熱し軟化又は溶解し、金型(鋳型)でプレスしてマイクロニードルを製造する方法は良く知られている。この方法では、針状突起の折損が多く、品質のよいものは歩留まりが低い状況であり、周辺部や末端部では、針の根元で湾曲する傾向が見られた。特に収縮率の高いＰＧＡほど湾曲する傾向が見られた。そこで、これらの欠点を克服するマイクロニードルの製造方法の提供が課題となっていた。
【解決手段】樹脂の冷却収縮時に生じる応力を遮断するため、上記応力の遮蔽板を設置した金属金型(鋳型)を作製し、プレス加工によるマイクロニードルの作製を行った。これにより、マイクロニードル外周部の針状突起の湾曲は抑制され、特に、熱収縮性の大きいＰＧＡ樹脂を用いても、図８に示されるような品質のよいマイクロニードルが提供できるようになった。 （もっと読む）

【課題】常温常圧から高温高圧下における流通反応を安全かつ高速、高効率で行うため、高温高圧と腐食環境に耐えうるマイクロリアクター用の中空金属反応管を提供する。
【解決手段】鉄合金またはニッケル合金チューブ１の内面に、チタンまたはチタン合金層２を有し、最上層として触媒金属層３を積層してなるマイクロリアクター用反応管。 （もっと読む）

【課題】微細軸を形成する微細軸形成装置において、高精度でかつ容易に微細軸を形成する。
【解決手段】微細軸形成装置１は、電極２と、間隙ｄを設けて対向配置された成形部材３Ａ、３Ｂと、電極２を回転させる電極回転手段と、回転せしめられている電極２をＹ軸方向に相対移動させる電極移動手段と、電極２が間隙ｄに沿って移動中に、成形部材３Ａ、３Ｂと電極２とをＸ軸方向に相対的に移動させる移動手段５と、電極２と成形部材３Ａ、３Ｂとの間に放電を発生させる放電発生手段９と、成形部材３Ａと電極２との間に流れる第１の放電電流と、成形部材３Ｂと電極２との間に流れる第２の放電電流を検出する電流検出手段１０Ａ、１０Ｂと、放電回数を所定の閾値毎に計数する計数手段１６と、放電回数を所定の閾値毎に重み付けして合計した第１の放電電流の放電頻度と第２の放電電流の放電頻度の差が小さくなるように移動手段５を制御する制御手段１９を備えている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ化学プラントの小型化及び低コスト化を図ることができると共に伝熱効率に優れるマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】内部にマイクロ流路（５）が形成されたマイクロチューブ（３２）と、マイクロチューブ（３２）を加熱する加熱手段（３１）とを備え、加熱手段（３１）によりマイクロチューブ（３２）を加熱することでマイクロ流路（５）内の被反応流体を加熱させつつ被反応流体の反応を進行させるマイクロリアクタ（１）において、加熱手段（３１）は、所定温度まで昇温可能なコア体とされ、マイクロチューブ（３２）は、加熱手段（３１）を巻芯として密に巻回されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ高精度に中空ニードルを形成できる中空ニードルシートの製造方法と、当該製造方法により製造される中空ニードルシートとを提供する。
【解決手段】針状凹部１２を有するモールド１０に、ポリマーを含むポリマー溶解液２０を注型した後、ポリマー溶解液２０を乾燥させる。このとき、ポリマー溶解液２０がモールド１０の凹部壁面１４に密着した状態を維持しながら、ポリマー溶解液２０を乾燥収縮させる。これにより、中空針状凸部２４が形成されたポリマーシート２２が得られる。 （もっと読む）

複数の低次元構造体を有する構造体を製造する方法であって、２つ以上の低次元構造体を基板に接続させるフレキシブル素子（１ｂ、１４）を設けるステップを含む。フレキシブル素子によって、低次元構造体は、例えば、基板に対して略平行になるように再配向する。それに加えて、またはそれの代わりに、フレキシブル素子によって、互いに並んでいない低次元構造体は、同じ方向に配列する。
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【課題】 生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定した微小針を大量に製造すること。
【解決手段】まず、連子窓状の構造を持ち、微小針が水平方向に伸びている微小針デバイスを作製し、次に冶具にて該微小針の方向を９０度曲げることにより、垂直に微小針を設定する等の、微小針の２段階作製方法を提供する。これにより、微小針の先端部分に欠損が生じ難く、製品規格的に信頼性が高いものが提供できる。しかもこの方法により、これまで製造が困難であった形状の微小針を作製できる。 （もっと読む）

【課題】
外径が１００μｍ以下で真直な「ばり」のない金属製マイクロコイルを、長さ／外径＝アスペクト比３０以上で作る。
【解決手段】金属マイクロパイプの外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。その際、露光ビームのスポットが常に一定の形状、大きさで当たるように、予めマイクロパイプの傾斜・高さを調整してから露光し、均一な線幅の螺線スペースパターンを形成する。続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする際、エッチング途中でリンスし、再びエッチングを続ける工程をとる。それによりエッチング速度を平均化するとともに予測可能にし、適切な時点までエッチングして「ばり」も無くす。 （もっと読む）

【課題】新規なマイクロセラミックスコイル及びその簡易な製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロサイズの主としてセラミックスからなるコイル。例えば、コイルの幅は０．１μｍ〜１００μｍ、厚さは１ｎｍ〜１０μｍである。このコイルは、パターニングされたレジスト上に主としてセラミックスからなる薄膜を形成し、前記レジストを剥離液で溶解させて作製できる。 （もっと読む）

【課題】より微細で繊細な細線や細管に装着でき、より軽量で微細で繊細な能動細線、能動細管を構成させることができる形状記憶合金製マイクロアクチュエータの製造方法及び細線への薄膜の積層工程において用いるスパッタリング装置の提供を課題とする。
【解決手段】被装着体である細線（細管を含む）の表面に装着することで細線を屈曲可能な能動細線に構成させる形状記憶合金製マイクロアクチュエータ１の製造方法であって、被装着体の代わりとなるダミー細線１０を用い、ダミー細線の外側周面に対して拡散防止用金属薄膜２０を積層する工程、拡散防止用金属薄膜の上から形状記憶合金組成薄膜３０を積層する工程、形状記憶合金組成薄膜に対して形状記憶熱処理を施す工程、形状記憶合金組成薄膜に対して所定のレジストパターンＰを形成する工程、形状記憶合金組成薄膜と拡散防止用金属薄膜をエッチングする工程、ダミー細線を溶解除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便な工程で、所望の長さを有し、先端が先鋭であり、側壁状態を制御可能な微細な針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】（１）少なくとも二種類のエッチング特性の異なる材質の材料で構成された加工基板を作成する工程と、（２）前記加工基板を、均等に針状に加工して針状準備体を作成する工程と、（３）前記針状準備体を、選択的にエッチング加工して針状体を作成する工程とを備えた針状体の作製方法。また上記方法で作製した針状体を母型として複製版を作製し、これを用いて転写加工成形を行う。 （もっと読む）

例えば経皮ドラッグデリバリに使用することができる、ヒトの皮膚組織の最外層である角質層を貫通する経路を設けるために、角質層に複数のマイクロ導管すなわち小孔を作る装置が開示される。 （もっと読む）