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【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 (もっと読む)


【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】光変調アレイ100は、行および列内に配置された複数のシャッタ組立体102a〜102dを含み、シャッタ組立体は開および閉の2つの状態を選択的に設定可能である。光変調アレイは複数の光透過領域を画定する第1の反射面と、複数の光透過領域の方へ光を反射するための、第1の反射面に少なくとも部分的に面した第2の反射面とを有する。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】反射率の減少が防止されたMEMS素子およびこれを用いた光スイッチ装置およびディスプレイ装置、ならびにMEMS素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持層とデバイス層との間に絶縁層が介挿された構造を有し、前記支持層と前記絶縁層とに連通する開口部と、前記開口部に対応した前記デバイス層の領域に前記支持層とは反対側に変位可能に形成されかつ前記支持層側にミラー面を有する複数のマイクロミラー部とを有する本体部と、前記マイクロミラー部を変位させるための電圧を印加する電極が形成された基板と、を備え、前記本体部のデバイス層の表面と前記基板の表面とが接合されており、前記本体部の支持層側の前記開口部から前記マイクロミラー部へ光が入力される。 (もっと読む)


【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、2つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 (もっと読む)


【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、2つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 (もっと読む)


【課題】アドレス可能な光変調素子のアレイを含む表示デバイスを提供する。
【解決手段】空間光変調器40は、一体化された受動的光学補正構造物41、又は、透明基板42に関して光変調素子44の反対側に配置された受動的光学補正構造物41、を具備する。個々にアドレス可能な光変調素子44は、透明基板42内を透過された光又は透明基板42から反射された光を変調するように構成される。空間光変調器40を製造する方法は、受動的光学補正構造物41を基板上方に製造することと、複数の個々にアドレス可能な光変調素子44を受動的光学補正構造物41上方に製造すること、とを含む。受動的光学補正構造物41は、補足的フロント照明源、ディフューザ、ブラックマスク、回折光学素子、カラーフィルタ、反射防止層、光を散乱させる構造物、マイクロレンズアレイ、及びホログラフィー膜のうちの1つ以上を含むことができる。 (もっと読む)


【課題】入射角が大きな光に対する感度を向上させる。
【解決手段】マイクロ構造の製造方法は、シリコン基板50の被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なうステップと被エッチング部の少なくとも側面に保護膜を形成するステップとを交互に実行する第1エッチング工程と、第1エッチング工程の実行後に、被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なう第2エッチング工程とを含み、シリコン基板50の内部に向かい弧状に膨出する複数の凹部50cから成るマイクロ構造を形成する。 (もっと読む)


【課題】複数の光変調器(91)及び該複数の光変調器の反射面上の複数のフィルター素子(95)を含む表示装置(90)が提供される。
【解決手段】複数の光変調器(91)が、第1の組の光変調器(92)及び第2の組の光変調器(94)を含む。複数の光変調器(91)の各光変調器が、少なくとも第1状態、第2状態、及び第3状態の間で選択的に切り替えられるように構成される。各状態が、異なるスペクトル反射を有する。複数のフィルター素子(95)が、第1の組の光変調器(92)に対応する第1の組のフィルター素子(96)及び第2の組の光変調器(94)に対応する第2の組のフィルター素子(98)を含む。第1の組のフィルター素子(96)が、第2の組のフィルター素子(98)と異なる分光透過率を有する。 (もっと読む)


【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ200は、前部反射面202と後部反射面204とを含む。前部反射面202は、光透過領域206のアレイを含み、光透過領域206を通して、光208は、光キャビティ200を脱出することが可能である。光208は、1つ以上の光源210から光キャビティ200に入る。光208は、光透過領域206のうちの1つを通して反射されるまで、前部および後部反射面202および204の間で反射される。 (もっと読む)


【課題】マイクロ光学素子のキャビティを形成する方法を提供する。
【解決手段】a)支持基板(10)の平面上に犠牲材料層(12)を形成する段階と、b)キャビティ(4)の底部が前記犠牲材料層によって形成された、前記キャビティの壁(6)を形成する段階と、c)吸収層(30)を、前記壁の頂上(60)、前記壁の側面(61,62)及び前記キャビティの前記底部(4’)に等角的に堆積する段階と、d)前記犠牲層(12)をエッチングし、この層の前記材料及び前記キャビティ(4)の前記底部に存在する前記吸収材料の層(30)の前記材料を除去する段階と、を含むマイクロ光学素子のキャビティ(4)を形成する方法を開示する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、全般的に適用可能でありながら、特定の加工および方法論的要求に適応することができる加工を可能にする、容易で柔軟性のある方法を創造することにある。
【解決手段】広スペクトル帯域幅を有するレーザ・パルスによって材料を加工する方法および装置、ならびに前記方法を実行する装置を提供する。本発明によれば、レーザ・パルスの1つまたは数個のスペクトル・パラメータ、即ち、スペクトル振幅および/またはスペクトル位相および/またはそのスペクトル偏波を、好ましくは測定加工変数に応じて、材料を加工するために、あるいは前記加工の実行の間に、特定的に改変する。本発明は、広スペクトル帯域幅、特にフェムト秒パルスおよびピコ秒パルスを有するレーザ・パルスによって材料を加工するために用いられる。 (もっと読む)


【課題】バックプレートが当該バックプレートの内面側に製作した電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイ。
【解決手段】インターフェロメトリックモジュレータのアレイ102が透明基板104を通して光を反射するよう構成されたMEMSベースのディスプレイデバイス100が記載されている。上記透明基板104は、バックプレート108に対し封じられ、該バックプレートは、そのバックプレーン108上に製作された電子回路114を含むことができる。上記電子回路114は、上記インターフェロメトリックモジュレータのアレイ102と電気的に通信しており、上記インターフェロメトリックモジュレータのアレイの状態を制御するように構成される。 (もっと読む)


【課題】微小な傾斜構造体を製造することを課題とする。
【解決手段】傾斜構造体の製造方法は、基板部13aの上に軸部13bを形成し、軸部の上面が露出し、且つ軸部の上面と接続する上面を有する犠牲膜を基板部13aの上に形成し、軸部の上面及び犠牲膜の上面に傾斜構造体膜7を形成し、軸部の上面と軸部の側面によって構成される角部の上に位置する傾斜構造体膜7の膜厚を薄く加工することにより、傾斜構造体膜に前記角部の上に位置する薄膜部11を形成し、傾斜構造体膜7と基板部13aとの間の犠牲膜を除去し、傾斜構造体膜と基板部との間に液体18を供給し、液体18を除去することにより、ステッキングを発生させ、傾斜構造体膜を薄膜部11で曲げ、傾斜構造体膜の端部を基板部に接合することで、基板部と傾斜構造体膜によって鋭角を構成する。 (もっと読む)


【課題】簡易なプロセス技術や実装技術で光学素子の反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザを実現する。
【解決手段】半導体ゲインチップと波長可変フィルタを集積した波長可変レーザ光源において、静電力を使ってエタロン間隔を調整する波長可変フィルタに金属の斜め反射鏡を集積すること、および垂直出射型の半導体ゲインチップに用いる45°斜め反射鏡の角度を45°からずらすことで、フィルタを斜め配置することなく、一般的かつ簡易なプロセス技術や実装技術を用いて波長可変フィルタ入射端面からの波長反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザ光源。 (もっと読む)


【課題】上下方向の視野角を広げたMEMSシャッター及びこのようなMEMSシャッターを含む表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、光源と、光源から入射する光が通過可能な第1スリットが形成された第1基板と、第1スリットが対応する位置に形成された第2スリットを含む第2基板と、第2スリットを含み、第1基板と第2基板に平行な水平面であらかじめ決められた位置を周期的に往復運動するMEMSシャッターと、第1スリットと第2スリットとの重畳によって形成される非対称的形状の光開口部とを含み、複数の光開口部を幾何学的な対称パターンに2次元平面上に配置する。 (もっと読む)




【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】空間光変調器40は、一体化された光学補正構造物41、例えば、基板42と複数の個々にアドレス可能な光変調素子44との間に配置された光学補正構造物、又は、基板に関して光変調素子の反対側に配置された光学補正構造物、を具備する。該個々にアドレス可能な光変調素子は、透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。該空間光変調器を製造する方法は、光学補正構造物を基板上方に製造することと、複数の個々にアドレス可能な光変調素子を該光学補正構造物上方に製造すること、とを含む。該光学補正構造物は、受動的光学補正構造物であることができる。 (もっと読む)


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