【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 熱コンダクタンスを低減させる連結構造または支持構造の加工に最適なＭＥＭＳの製造方法等を低起用すること。
【解決手段】 固定部６０上に形成された、第１空洞部３０を有する被エッチング層２２を加工するＭＥＭＳの製造方法は、被エッチング層２２の露出面のうち、被エッチング層２２が第１空洞部３０に臨む少なくとも側壁２２Ａに、マスク層２４を形成する第１工程と、マスク層２４の表面２４Ａ側の第１空洞部３０内に供給されたエッチャントを、マスク層２４の裏面２４Ｂ側に導いて被エッチング層２２を等方性エッチングして、第１空洞部３０に連通する第２空洞部３２をマスク層２４の裏面２４Ｂ側に形成して被エッチング層２２を加工する第２工程とを有する。被エッチング層２２はアンダーカット形状またはアーチ形状に加工される。 （もっと読む）

本明細書において説明するこの方法およびデバイスは、ディスプレイ、およびＭＥＭＳを含む低温封孔流体充填ディスプレイを製造する方法に関する。この流体は、ＭＥＭＳディスプレイの可動構成要素を実質的に囲んで静摩擦作用を低減させ、ディスプレイの光学性能および電気機械的性能を向上させる。本発明は、蒸気気泡が封止温度よりも約１５℃〜約２０℃低くならないかぎり形成されないようにＭＥＭＳディスプレイを低温で封止する方法に関する。いくつかの実施形態では、ＭＥＭＳディスプレイ装置は、第１の基板と、ギャップによって第１の基板から分離された光変調器のアレイを支持する第２の基板と、ギャップを実質的に充填する流体と、ギャップ内の複数のスペーサと、第１の基板を第２の基板に接合する封止材料とを含む。
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【課題】マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関し、操作性及び簡易性を向上する。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイの角度特性を制御するための光学フィルム。
【解決手段】光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの視界を狭くする複数の構造を用いる外部フィルム６０５を有して提供される。例えば、バッフル６０３又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、グリッドに配列された複数の垂直に向きを揃えて並べられた表面を備えることができる。これらのバッフルは、不透明又は反射性である。したがって、これらの垂直な面６１０は、光が実質的に垂直でない方向６０７に光干渉ディスプレイ・デバイスを出ることを実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向かってさらに垂直な角度へと光の向きを変える。 （もっと読む）

【課題】光学振れ角を大きくすることが可能で且つ不要な光が出射されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成され可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されており、第１のカバー基板２が、入射光および、回折格子５の法線に対して入射光とは反対側にある負の次数の回折光のうち規定次数の回折光以外を遮光するカバー基板を構成している。 （もっと読む）

【課題】可動部の機械振れ角に応じて出力が変化する受光素子を備えながらも、小型化を図れ且つ可動部の機械振れ角を大きくできるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、可動部形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されている。第１のカバー基板２は、入射光を透過させる入射光透過部２０３、および、０次の回折光である反射光からなる走査光を透過させる走査光透過部２０４が形成されるとともに、０次以外の規定次数の回折光を受光する受光素子６が可動部形成基板１側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、且つ、低コストで、不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に透光性樹脂により形成された成形部６を有し、当該成形部６の表面が、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側の平面とは非平行な非平行面６１となっている。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、基板１０の第１の主面１０ａ上に、第１のマイクロ流路１１の端部１１ａを覆うように粘着している第１のガス発生フィルム１７ｅと、第１のマイクロ流路１１の端部１１ｂと、第２のマイクロ流路１５の端部１５ａとを覆うように粘着している第２のガス発生フィルムと、第１のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第１の外部刺激付与機構２０ａと、第２のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第２の外部刺激付与機構２０ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】部品の数を減らすことができ、これにより小型化が容易な光スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入力する１以上の入力ポート及び１以上の出力ポートを構成するｎ本のファイバからなるファイバアレイと、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ対応するｎ個のレンズからなるレンズアレイと、レンズアレイからの光を各波長に分光する分光素子と、分光された各波長を受光し、波長毎に独立に偏向可能な複数の偏向素子により、各波長毎に出力ポート選択せしめる偏向手段と、を備え、ファイバアレイのファイバは一列に配列されており、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ入射又は出射する光が交差する領域を交差位置Ｃとし、ファイバアレイのファイバと平行で、かつ、交差位置Ｃを通る軸を軸Ｚとしたとき、ファイバのコアとこれに対応するレンズの光軸との距離δは、軸Ｚからの距離Ｓに応じて異なっている。 （もっと読む）

【課題】導波路、マイクロプリズムおよび微小機械光変調器を含むディスプレイを提供する。
【解決手段】光を生成するための光源２５と、光を受け取り、かつ、内部全反射によって光が伝搬する方向に一様に分散させるための光導波路２１と、光導波路の下部表面の反対側に傾斜した光射出ファセットとを備えた、間隔を隔てた複数のマイクロプリズム３２と、間隔を隔てたマイクロプリズムどうしの間に配置された、複数の傾斜光変調器とを備え、マイクロプリズムの個々の光射出ファセットから射出する光線の大部分が、個々の傾斜光変調器が第１の位置に位置している場合には観察者に向かって導かれ、あるいは個々の傾斜光変調器が第２の位置に位置している場合には光吸収体に吸収されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単位エネルギー当たりの光輻射力の発生効率及び検出効率を高く保ちつつ、外部からの光の入力を容易にする光学微小機械装置を提供することを目的とする。
【解決手段】所定間隔１２を有して対向して配置された２枚のフォトニック結晶スラブ、１１を有し、
前記所定間隔は、前記２枚のフォトニック結晶スラブの定在波モードの波長の光が前記フォトニック結晶スラブの面上に照射されたときに、該定在波モードが結合して結合モードとなる距離であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、一般に、光学装置および／またはレンズ付属物の分野に関し、特に、異なる状態の間で制御可能に切り換えられる光学パワースイッチ（ＯＰＳ）を提供する、光学装置および／またはレンズ付属物に関する。例えば、シリコンゲルのような軟質透明材料（１２）は、ガラスプレート（１０）の表面に堆積される。ガラスプレート（１０）は、レンズ本体（１０）の表面へとアクチュエータで動かされる。軟質材料要素（１２）がレンズ本体（１２）の表面に接触すると、この表面は、その光学特性を変える。
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本発明は、微小機械ユニット、特に調節可能な光学フィルタ、およびまたそのユニットを製造する方法に関する。このユニットは、互いに少なくとも部分的に固定される第１の素子層と第２の基板層とを含み、素子層は、複数の可動でない固定反射素子の間に分割される複数の反射素子を含み、固定素子は基板に接続され、空洞が、基板と各々の可動素子との間に規定され、各々の可動素子は空洞内でスプリングにより負荷される動きを生じるように設置され、複数の誘電性スペーサブロックが、それらの間の電気接触を回避するために各々の可動素子と基板との間の空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも開口率を増加させることができる光制御装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光通過部（８）を有する基板（２）と、基板に固定された櫛歯状の第１電極（３）と、第１電極と対向して移動可能に設けられた櫛歯状の第２電極（４）と、第２電極と共に移動し光通過部を遮蔽及び露出可能に設けられた遮蔽部材（５）と、第２電極及び遮蔽部材を移動可能に支持する梁部材（６，７）と、を備え、第１電極及び第２電極と、梁部材とが、基板上の異なる層（Ｌ１，Ｌ２）に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率の相違を利用した湾曲によって駆動力を生じる応答性が良好なアクチュエータ、ならびに該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、第１層と、該第１層よりも大きな熱膨張率を持つ第２層と、第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ第３層とを含む複数層が積層されるとともに、加熱に応じて変形する可動部を備える。また、該アクチュエータは、第３層と一体的に構成されるか、または第３層と接触するように構成され、且つ第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ熱伝導部を含む放熱領域を有するとともに、可動部が固定される固定部を備える。 （もっと読む）

電気機械システムデバイスは、基板にわたって配置された複数の支持体と、該複数の支持体にわたって配置された変形可能な反射層とを含んでいる。前記変形可能な反射層は、第１の方向に延びている複数の実質的に平行な列を含んでいる。各々の列は、前記第１の方向に一般的に垂直な第２の方向に延びている一つ以上のスロットを有している。前記スロットは、下位部分を電気的に断線することなく部分的に機械的に分離するために、前記列の下位部分の境界縁部に生成されることができる。電気機械デバイスを製造する方法は、基板にわたって導電性の変形可能な反射層を堆積する段階と、複数の電気的に分離された列を形成するために前記変形可能な層の一つ以上の部分を除去する段階と、及び少なくとも一つの前記列内に少なくとも一つの横方向スロットを形成する段階と、を含んでいる。
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