【課題】液体や懸濁液内に存在する細胞を含む材料を大量の微小サンプルとして操作し、解析するための装置であって、プラテンに設けたアレイ状の貫通穴に内容物を充填するとき、隣の穴に流れ込むことを防止するためのプラテン表面疎水化処理の方法を提供する。
【解決手段】第１と第２の表面を有し、これらの表面が本質的に平行であり、当該表面に実質的に垂直に配置された複数の貫通穴とを備えたシリコン製プラテンに疎水性のコーティングを提供するための方法であって、a.第１の表面を酸化させるステップと、b.酸化された前記第一の表面をクリーニングするステップと、c.第２の表面の方向から前記複数の貫通穴へ不活性ガスの正圧をかけるステップと、d.シラン・カップリング剤蒸気に前記第１の表面を晒すステップと、から構成される。 （もっと読む）

【課題】固定櫛歯電極と移動櫛歯電極との間のずれを精度良く設定することが可能な技術を提供する。
【解決手段】駆動装置１Ａは、第１方向と第２方向とによって規定された板面を持つとともに第１方向を歯高方向とする複数の第１歯板が互いに間隔を隔てて第３方向に配列されてなる移動櫛部と、第１方向を歯高方向とする複数の第２歯板が複数の第１歯板に対して略平行に交互配列されてなる固定櫛部とを有し、移動櫛部が可動部に駆動変位を与える駆動機構８と、移動櫛部と固定櫛部との間に、第２方向をオフセット方向として相対的なずれを発生させるオフセット機構５ａとを備える。そして、固定櫛部は、オフセット方向に弾性変形可能な弾性部を介して移動櫛部とそれぞれ一体的に形成され、オフセット機構５ａは、弾性部を弾性変形させて固定櫛部をオフセット方向に移動させ、相対的なずれを発生させる。 （もっと読む）

【課題】迷光の再結合による反射減衰を解消する。
【解決手段】基板７１上に第１及び第２の光ファイバ（光導波手段）７４，７５の端部がその光軸が基板板面と平行とされて配置され、それら光ファイバ７４，７５の端部は基板板面に垂直な側壁面によって少なくとも一部が囲まれた自由空間（凹部７６）内を伝播する伝播光を介して互いに光結合される構成とされた光デバイスにおいて、光ファイバ７４の端部と光ファイバ７５の端部とを基板板面と垂直方向において異なる高さ位置に位置させ、光ファイバ７４，７５の先端にその一方から自由空間に出射する出射光の光軸が前記垂直方向において他方が位置する側に向くように偏向する傾斜端面をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールやマイクロメートルオーダーの微小物体を非接触で運動制御する一手法として，光圧を用いることが知られている。しかし、従来では高ＮＡの光学系を用いており、装置の小型化が進まず、例えば光マイクロチップのような微小構造体中に用いることが困難であった。
【解決手段】端面を半球状に研磨した光ファイバから放射させた、集光度が低い３本のビーム（レーザ光線）で正三角形状の循環経路を構成する。ビームの集光が緩やかである場合、照射対象に対してビームの放射方向とビーム断面内の中心方向に光圧が作用する。この性質を利用することでレーザビーム網に沿って、マイクロメートルオーダーの微小物体を循環運動させることができる。 （もっと読む）

干渉変調器によって反射された色は、画角に応じて変化しうる。このように、色の範囲は観測者に対して前記干渉変調器を回転させることにより見える。観測者と干渉変調器との間にテクスチャード加工層を位置することにより、色の範囲を含むパターンが前記観測者によって見られ、及びこのようにして前記色の範囲は単一の画角から見えうる。
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ＭＥＭＳ装置が、ＬＣＤ又はＯＬＥＤ製造に使用される材料を含み、この同じ製造システムでの製造を容易にする。可能ならば、同じ及び同様な材料が、ＭＥＭＳ装置内の多層用に使用され、部分的に透明な電極への透明な導体の使用を避けることができ、必要な材料の数を最小化し、製造コストを最小化する。ある層が、所望の特性を得るように選択された合金を含む。製造プロセスの間に、堆積層の中間処理が行われ、所望の特性を有する層が提供される。
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【課題】シリコン基板上に基板上構造体がブリッジ状に浮いていて、かつ、高い強度を備えた構造を有する、シリコン構造体を提供する。このようなシリコン構造体を製造する上で、エッチングによってシリコン基板の基板上構造体の直下部分が除去される際に、基板上構造体が受ける衝撃が少ない、シリコン構造体製造方法を提供する。
【解決手段】曲線状の基板上構造体の下部のシリコン基板に異方性エッチングを施す。この時、曲線状の基板上構造体の各部位において、結晶方位の各面に対する方向によって、異方性エッチングの進行速度は大きく異なる。エッチング時間を調節してエッチング速度が遅い部分を残し、シリコン基板の上にブリッジ状に浮いた基板上構造体を下から支える支柱とする。また、曲線状の基板上構造体の方向を連続的に変化させて、曲線状の基板上構造体のうち、ブリッジ状に浮く部分を、シリコン基板から徐々に分離させる。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを安定して動作させる。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動部５と、可動部５を支持する固定部１０と、可動部５を駆動する駆動電極部８および９と、可動部５と固定部１０との間に働く斥力を発生させる斥力発生部６とを備える。斥力発生部６は、固定部１０のうちの可動部５と対向する位置に設けられている。斥力発生部６の少なくとも一部は、ヒンジ７よりも可動櫛型電極９側に位置する可動部５の端部と対向している。可動部５と斥力発生部６とに同じ駆動電圧を印加することで、斥力が発生する。斥力は、可動部５の平面方向に垂直な軸を中心とする可動部５の回転を抑制する方向に働く。 （もっと読む）

本発明の様々な実施形態は、微小電気機械システム、及び微小電気機械システムを利用するフォトニック相互接続を対象とする。本発明の微小電気機械システムの一実施形態は、レンズ構造要素(1704)及びアクチュエータを含む。レンズ構造要素は、フレキシブルな曲面を有する実質的に透明な膜(1710)、及び膜に流体的に連通するように結合される流体を保持するリザーバ(1708、1710)を含む。アクチュエータシステムは、膜の曲率およびレンズ構造要素の焦点を変更するように流体に圧力を加えるために、リザーバに動作可能に結合される。 （もっと読む）

【課題】マイクロリアクタデバイスの入力側または／及び出力側で流体の複数種類の状態量を計測する場合において、正確に流体の状態量を計測することが可能なセンサユニットを提供する。
【解決手段】マイクロリアクタデバイス用のセンサユニットであって、内部に流路を有し、当該流路内の流体計測位置における流路壁面の周方向に、前記流路に連通する複数のセンサ設置孔と、前記流路壁面の周方向において互いに対向する位置に配置された光入力孔及び光出力孔とが設けられた流路形成部材と、前記複数のセンサ設置孔の各々に、感応部を前記流路側に向けて設置され、前記流体計測位置における流体の状態量を検出する複数種類のセンサと、光出射端を前記光入力孔の流路側に向けて設置された第１の光伝送手段と、光入射端を前記光出力孔の流路側に向けて設置された第２の光伝送手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の慣性モーメント或いは重心位置の調整を比較的大きな範囲で比較的高速に行うことが可能な光偏向器などの揺動体装置、その製造方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は揺動軸17回りに揺動可能に設けられた揺動部を有し、該揺動部は可動子11とその質量を調整するための質量調整体19とで構成される。可動子11と質量調整体19の一部との間に空隙30が形成されている。質量調整体19にレーザ光を照射することで、レーザ光の照射されない部分を含んで、空隙30上の質量調整体19の一部を除去する。揺動体装置の他の形態では、揺動軸回りに揺動可能に設けられた揺動部が、その質量を調整するための突出部を持つ可動子で構成される。 （もっと読む）

【課題】 粒子を操作するための光トラップアレイを生成し、制御する。
【解決手段】 本発明は、レーザ光をビームレットに回折することと、（レーザ光に関して仮想のレンズとして働いて）ビームレットを収束させることとの両方が可能であり、それによって回折されたレーザビームをフォーカスレンズに転送するための複数の物理的なレンズの必要をなくす二重の機能を有する光学素子に関連する。本発明はまた、回折されないレーザ光から生じる反射・散乱の雑音の量を制限することによって、光トラップのモニタリングをより向上させることにも関連する。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップに試料溶液を送液する配管が詰まったとき等の異常時に配管内の圧力を制御することができると共に、正常時の測定を精度よく行うことができる圧力ヒューズを提供する。
【解決手段】マイクロ化学システム１は、流路２及びこれに合流する圧力ヒューズ３を内部に備えるマイクロチップ１００と、マイクロチップ１００に試料溶液を供給するチューブ７１と、外部にマイクロチップ１００内の試料溶液を排出するチューブ７２と、チューブ７１に試料溶液を送液するシリンジポンプ７とを備える。シリンジポンプ７による試料溶液の送液中に、流路２に異物等が混入して詰まった場合などでチューブ７１内部の試料溶液にかかる圧力Ｐ１がＰｇｍの最大値（１０ｋＰａ）以上になると、圧力ヒューズ３内に試料溶液を流れ込ませることにより圧力Ｐ１を下げる。 （もっと読む）

基板と、前記基板上に提供された少なくとも一つの半導体層と、前記少なくとも一つの半導体層上に提供され、駆動／検出回路を含む少なくとも一つのチップを備えた回路領域と、前記基板に取り付けられた支持構造と、前記支持構造に取り付けられた少なくとも一つの弾性デバイスと、前記少なくとも一つの弾性デバイスによって支持され、ｘ、ｙ、及びｚ軸方向の少なくとも一つにおいて自由に移動するプルーフマスと、前記少なくとも一つの弾性デバイス上に提供された少なくとも一つの頂部電極と、前記少なくとも一つの弾性デバイスの真下に位置した少なくとも一つの底部電極であって、初期キャパシタンスが前記少なくとも一つの頂部及び底部電極の間に生成されるような底部電極と、を備えており、駆動／検出回路、プルーフマス、支持構造、及び少なくとも一つの頂部及び底部電極は、少なくとも一つの半導体層上に製造されたＭＥＭＳデバイスを提供する。
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マイクロメカニカル構造体およびマイクロメカニカル構造体の製造方法が提供される。前記マイクロメカニカル構造体は、シリコン（Ｓｉ）系基板と、前記基板上に直接形成されたマイクロメカニカル要素と、前記マイクロメカニカル要素の開放された部分の下に形成されたアンダーカットと、を備えるものであり、前記アンダーカットは、前記シリル系基板に形成された凹部状のものである。 （もっと読む）

ここに記載されたディスプレイ装置の種々の実施形態は、光学伝播領域（９７）、少なくとも１つの光学損失構造（９３）、光学分離層（９５）、および複数のディスプレイ素子（９１）を含む。伝播領域は、内部全反射と前記光学伝播領域から光を向け直すよう構成された偏向特徴とを介して内部で光がガイドされる光ガイドを含む。損失構造は、それに対して直接隣接して配置される場合に、伝播領域内部でガイドされた少なくともいくらかの光の内部全反射を崩壊させうる。光学分離層は、伝播領域と損失構造との間に、非ガス材料を含み、伝播領域内の内部全反射される光の量を増やすよう構成される。複数のディスプレイ素子は、伝播領域から向け直された光を受けるように配置される。損失構造は、複数のディスプレイ素子と伝播領域との間に配置される。
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本発明は、バイオチップ又はバイオシステム用のマイクロアクチュエータデバイスに関する。バイオセンサ、バイオシステム又は少なくともバイオチップにおけるマイクロポンプとして使用されるマイクロアクチュエータデバイスを達成し、それによって、アクチュエーションが、非常に正確に且つ効果的に操られることができるようにするために、解決策は、マイクロアクチュエータが、この制御される運動によりガス又は液体の規定されたフローを生成するために、光源３、４、Ｌ１、Ｌ２のフォトニック活性化によって反転基本形態から活性化された変形形態に変形されることができる感光性アクチュエータ素子１を有することである。
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【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造プロセスおよびその結果をモニタリングする方法とそれに適したデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス１０８の製造に用いられるプロセスステップと同じプロセスステップの少なくとも一部を用いて製造されるプロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４が開示される。プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、ＭＥＭＳデバイス１０８の性質及び前記デバイス内の構成要素又は副構成要素に関する情報を提供することができる。この情報は、加工の際の誤りを識別するために又はＭＥＭＳデバイス１０８を最適化するために用いることができる。幾つかの実施形態においては、プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、光学的測定値を利用することができる。 （もっと読む）

【課題】インターフェロメトリック変調器に関するプロセスコントロールモニター
【解決手段】
ＭＥＭＳデバイス１０８の製造に用いられるプロセスステップと同じプロセスステップの少なくとも一部を用いて製造されるプロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４が開示される。プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、ＭＥＭＳデバイス１０８の性質及び前記デバイス内の構成要素又は副構成要素に関する情報を提供することができる。この情報は、加工の際の誤りを識別するために又はＭＥＭＳデバイス１０８を最適化するために用いることができる。幾つかの実施形態においては、プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、光学的測定値を利用することができる。 （もっと読む）

薬学的用途向けの錠剤(４)は、その表面の少なくとも一部の上に、可視スペクトル領域で読み取ることができ、視覚的安全性特徴として役立つ回折性微小構造(１１)を有する。この錠剤は、複数の個別粉末粒子からなり、該個別粉末粒子の表面の中に回折性微小構造(１１)が刻印される。そのような錠剤を製造するための圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)は、該圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)の一プレス表面上に微小構造(１１)を有し、該微小構造(１１)は、該圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)の該プレス表面の材料の、個々のクリスタライト(３０)の寸法より小さな寸法を有する。該圧縮工具の微小構造(１１)は、例えばイオンエッチングまたは刻印により製造することができる。
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