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マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 構成要素 (3,421) | 光学素子 (876)

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物を得るべく、空間的に構成されたマイクロメートル、ナノメートル又はこれら両方の規模の局所的に粗い、且つ、基板によって形成される表面を提供するための方法。当該方法は予め決められた領域にて粗い基板を平らにするか、滑らかにするか、又はこれら両方を行う工程を含む。
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【課題】波長多重された光を別々に出力することのできる光スイッチを提供する。
【解決手段】光導波路14a、14bと交差する溝部2内に複数の干渉フィルター3a〜3cを並設したフィルター3を配置し、複数の電極4に3相の駆動電圧を与える。このようにして、フィルター3の移動子部3dと固定子として働く電極4にとの間に発生する静電力を利用した誘導電荷型静電気駆動方式を用いて、所望の位置にフィルター3を移動させる。 (もっと読む)


【解決手段】基板(S)上にスタンプ形状部(P)を形成する方法は、基板の少なくとも一方の表面に複数のスタンピングツールセグメント(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)を押し当てる段階を含む。基板(S)上にスタンプ形状部(P)を形成する構成(30,90)は、個々に、一以上からなるグループで協調的に、又はそれらの組み合わせで動作可能な複数のスタンピングツールセグメント(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)を含む。 (もっと読む)


MEMSスキャナシステム及び方法。このシステムは、入射レーザビームを偏向し、入射レーザビームを受け反射レーザビームを発生するよう動作可能なMEMSミラー26と、開口30を有しMEMSミラー26に対向配置される不透明プレート28とを含む。開口30は、入射レーザビーム及び反射レーザビームが開口30を通じるように許容するようサイズ設定される。
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本発明は、光ファイバおよび光ファイバの端部に配置された片持ち梁を有する光学装置を提供する。片持ち梁は、光ファイバの一体の一部分であってよく、光ファイバの直径に実質的に等しい長さを有することができる。片持ち梁の変位を測定するための測定手段が、光ファイバの他端に接続される。この光学装置を使用して変位を測定する方法は、光源を有する測定手段を光ファイバの他端に配置する工程、光源を使用して光ファイバへと光のビームを送信する工程、光ファイバの端部で反射された光と片持ち梁で反射された光との干渉を測定する工程、および片持ち梁の中間位置に対する変位を、測定された干渉にもとづいて割り出す工程を含んでいる。
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マイクロミラー・アレイは、複数のマイクロミラーを含み、マイクロミラーの回転および/または並進の制御によって所定の自由表面を再生成する。マイクロミラーは、制御回路によって制御され、機械構造によって支えられ、反射面を備えている。レンズの所定の自由表面は、マイクロミラーの回転および/または並進の制御によって変化する。マイクロミラーは、レンズを形成するために、1または複数の同心円状に配置されている。マイクロミラーは、扇形、六角形、長方形、正方形、または三角形の形状を有している。マイクロミラーの反射面は、ほぼ平面である。制御回路は、半導体超小型電子技術を用いてマイクロミラーの下に設けられている。マイクロミラーは、静電力および/または電磁力によって作動する。マイクロミラーの反射面は、高反射率の材料によって作られている。レンズは、画像装置、監視カメラ、カムコーダなどに用いられる。
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イメージセンサ及びイメージセンサを形成する方法。イメージセンサは基板表面にピクセルセル(100)のアレイを含む。それぞれのピクセルセルは光変換デバイス(12)を有する。光子結晶構造を含む、少なくとも一つのマイクロ電子機械的システム(MEMS)構成要素(330)が、少なくとも一つのピクセルセル上に提供される。MEMSに基づいた光子結晶構成要素(330)は支持構造(7)によって支持され、電圧の印加時において、電磁気的な波長が光変換デバイスに到達するのを選択的に許容するよう、構成される。このように、本発明に係るMEMSに基づいた光子結晶構成要素は、例えば色フィルタアレイのような従来のフィルタを代替するか、或いはその補完となりうる。 (もっと読む)


欠陥低減およびウェットアウト低減特徴を含む微細複製物品およびそれを製造する方法が開示されている。微細複製物品は第1および第2の対向表面を有する可撓性基板と、第1の表面上の第1の塗布微細複製パターンと、第2の表面上の第2の塗布微細複製パターンとを含む。第1の塗布微細複製パターンと第2の塗布微細複製パターンとが10マイクロメートル以内に位置合わせされている。
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大規模なMEMSデバイス(10,100,200,300)は、少なくとも一つの対応するダイマウント(28)によって支持されるMEMSダイ(22)を含む。対応するダイマウント(28)は、MEMSダイ(22)を支持構造(20)に連結する。支持構造(20)は、パッケージ(38,40)の内部に配置される。本発明の態様によれば、パッケージ(38,40)は、MEMSダイ(22)について実質的に対称形である。本発明の別の態様によれば、支持構造(20)および/またはパッケージ(38,40)は、MEMSダイ(22)に沿う中立の屈曲軸を有するように設計されている。
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光エレクトロニクスパッケージ(104)は、ベース層(202)、スペーサ層(204)、及びMEMS微小ステージを含む光学MEMS層(206)を有する。ベース層(202)はパッケージ(104)全体を支持し、パッケージ内の光素子及びその他の素子に電気信号と電力とを送達する経路を備えている。加えて、ベース層(202)はパッケージ(104)内で発生した熱を逃がす熱伝達路を備えている。ベース層(202)はその上に配置又は形成された様々な光素子及び電子素子を含んでいる。スペーサ層は光素子を囲んでおり、パッケージを密閉している。光エレクトロニクスパッケージ(104)の最後の要素は、スペーサ層(204)及びベース層(202)の上方の光学MEMS層(206)である。
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2点固定熱アクチュエータは、相対する固定部分を有するくぼみ部が形成されたベース素子を含む。ベース素子に、相対する固定端縁において接合されている変形素子は熱膨張率が低い第一の材料の第一の層と、熱膨張率が高い第二の材料の第二の層を含む平坦の積層構造として構成される。変形素子は、固定端縁の付近に固定部分を有し、固定部分の間に中央部分を有し、固定部分の曲げ剛性は中央部分の曲げ剛性より実質的に低い。
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【課題】ディスプレイの角度特性を制御するための光学フィルム。
【解決手段】本発明の種々の実施形態において、光干渉ディスプレイ・デバイスは、ディスプレイの視界を狭くする複数の構造を用いる外部フィルムを有して提供される。これらの構造は、例えば、バッフル又は複合パラボラ集束器のような非結像光学素子を備えることができる。バッフルは、例えば、グリッドに配列された複数の垂直に向きを揃えて並べられた表面を備えることができる。ある種の好ましい実施形態では、これらのバッフルは、不透明又は反射性である。したがって、これらの垂直な面は、光が実質的に垂直でない方向に光干渉ディスプレイ・デバイスを出ることを実質的に遮ることができる。しかしながら、これらの垂直な面は、実質的に垂直な方向に向けられた光がディスプレイを出ることを可能にする。非結像光学素子、例えば、複合パラボラ集束器は、大きな入射角からディスプレイに向かってさらに垂直な角度へと光の向きを変える。その結果、ユーザへディスプレイによって反射された光は、同様にさらに垂直な角度である。 (もっと読む)


マイクロレンズチップは、可変焦点流体マイクロレンズ及びアクチュエータを備える。アクチュエータは、マイクロレンズチップの流体チャンネルの圧力を変え、この流体チャンネルは、マイクロレンズを含むアパーチャ開口部に結合されている。アクチュエータに電界を印可することで、流体チャンネルの流体圧力の変化が生じ、これが、今度は、流体マイクロレンズの曲率半径(すなわち、焦点距離)を変える。 (もっと読む)


基板(230、240)を接合する方法と接合された基板(230、240)を有する装置とを開示する。基板を接合する方法は、基板接合材料層(250)を第1の基板(240)の接合面(242)に付着することを含む。基板接合材料層(250)又は第2の基板(230)の接合面(232)の少なくとも一方の接合部位密度が高められ、基板接合材料層(250)を有する第1の基板(240)の接合面(242)が、第2の基板(230)の接合面(232)に接合される。
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機械的構造物は熱又は放射線のような非機械的手段によって第1形状を有する第1状態と第1形状とは異なる第2形状を有する第2状態との間で可動な素子を有する。この目的のため、素子は、そのような手段が与えられたときに異方的な膨張を示す配向した重合液晶層を含む。素子製造を促進するため、素子は重合した液晶の高架橋領域及び低架橋領域を有する基板上に設置される。そのような構造物を製造するため、配向した重合液晶層が基板上に形成される。基板は重合した液晶に対する高架橋を与える架橋領域及び重合した液晶に対する低架橋を与える非架橋領域を与えるパターニングされた面と共に供される。重合後、たとえば熱衝撃を与えることで、非架橋領域で重合した液晶層が剥がれる一方で、架橋領域では固定されたままである。よって、方法は時間のかかる下部エッチング工程を必要としない。
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