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Fターム[3C081BA27]の内容

マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 構成要素 (3,421) | 光学素子 (876)

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【課題】一目では判別が困難である識別情報が強靭な形態で光学機能面へ付与された光学部材を提供する。
【解決手段】光を透過又は反射する機能を有する複数の斜面14,15を備える光学ユニット12が周期的に多数配列された光学部材10である。複数の斜面14,15のそれぞれには、面積が4μm以上0.04mm以下、深さまたは高さが1μm以上5μm以下の複数個の微小構造体1が配設されている。この微小構造体1が付与された斜面14,15に向けて光を照射して反射した反射光は、少なくとも1方向だけから光を当てて反射したそれぞれの反射光からだけでは識別用の情報としては機能せず、少なくとも2方向以上から光を照射したときに反射する各方向の反射光を読み取って演算処理することにより真贋を特定できる。 (もっと読む)


【課題】MEMSミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をMEMSミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ(WSS)を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るWSSは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、MEMSミラーアレイとを備え、さらに当該MEMSミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るWSSは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、MEMSミラーアレイとを備え、さらに当該MEMSミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記WSSを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るWSSは、MEMSミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】駆動開口と固定開口がどれだけずれているかを検出することができる構造を提供する。
【解決手段】遮光膜12は、表示領域に複数の固定開口を有する。遮光膜12は、周辺領域では、周辺領域のシャッタ40の一部との重複を避けるように形成されたダミー開口24を有する。ダミー開口24の縁は、固定開口の規則性を以て周辺領域に配置すると仮想した固定開口の縁の一部からなるエッジを含む。表示領域のシャッタ40は、第1位置P1で駆動開口42と固定開口が連通して光を通過させ、第2位置P2で駆動開口42と固定開口がずれるように配置されて光を遮断する。複数のシャッタ40が第2位置P2にあるとき、周辺領域の駆動開口42とエッジとの距離dと、表示領域の駆動開口42と固定開口の縁の一部との距離Dとが相間関係を有する。 (もっと読む)


【課題】より容易にアライメントを行うことができるミラーアレイ、ミラー素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】基板51上には、ミラー52’の下面を押圧する突起51bが設けられている。この突起51bによりミラー52’が予め所定の角度に傾向しているので、そのミラー52’を所定の角度に傾向させるための駆動電圧を供給しなくてもMEMSミラーアレイのアライメントを行うことができる。この結果、簡易な装置構成でアライメントを容易に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】精度の良い分光スペクトルを迅速に測定可能な分光測定装置、及び分光測定装置の制御方法を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜、可動反射膜、及び電圧印加により反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、光の光強度を検出するディテクター11と、測定対象光の分光スペクトルを測定する制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、ピーク対応ギャップ量を検出するピーク検出部23と、静電アクチュエーターに印加する電圧を設定するフィルター駆動部22と、分光スペクトルを測定する分光測定部24とを備える。フィルター駆動部22は、ギャップ量を、定間隔ギャップ量及びピーク対応ギャップ量に段階的に変化させ、分光測定部24は、各定間隔ギャップ量、ピーク対応ギャップ量に対する光強度を取得する。 (もっと読む)


【課題】改良された画像品質、低消費電力および低電圧駆動可能な直視型ディスプレイを提供する。
【解決手段】直視型ディスプレイ700はMEMS光変調器のアレイ702と制御マトリクスとアレイ内の各光変調器の状態を制御するためのコントローラ704とを含み、制御マトリクス710、708はデータおよび作動電圧をアレイに伝え、コントローラはプロセッサとメモリと出力とを含み、表示のために画像フレームを符号化した画像データを受信する。プロセッサは画像データから複数のサブフレームデータセットを導き出し各サブフレームデータセットはアレイの複数行および複数列内の光変調器の所望の状態を示し、メモリは複数のサブフレームデータセットを記憶し、出力は光変調器をサブフレームデータセット内で示された状態にするために出力シーケンスに従って複数のサブフレームデータセットを出力する。 (もっと読む)


【課題】高速、かつ低電圧で駆動されることが可能な、透明基板上に構築された直視型ディスプレイを提供する。
【解決手段】少なくとも二つの位置を有する遮光素子のアレイと、少なくとも一つの光源と、遮光素子の位置を制御するとともに、少なくとも一つの光源の照明を制御し、画像フレームに対応する複数のサブフレームデータセットをメモリから取得し、サブフレームデータセットに示されている位置に遮光素子を移動させるために、出力シーケンスに従ってサブフレームデータセットを処理し、サブフレームデータセットに従って画像を形成するために、少なくとも一つの光源を駆動するコントローラと、画像を変えるために出力シーケンスの変更を決定するためのシーケンスパラメータ計算モジュールと、を備えるように構成する。 (もっと読む)


【課題】 一般的なX線タルボ干渉法を行う撮像装置に用いられる従来の遮蔽格子の透過部よりもX線の吸収量の小さい透過部を備える遮蔽格子として用いることができる構造体と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】 構造体の製造方法は、基板の第1の面10に複数の凹部2を形成する工程と、複数の凹部に金属を充填して複数の金属構造体3を形成する工程と、複数の金属構造体が形成された領域の外周部又は、第1の面と対向する基板の第2の面における外周部に対向する部分の少なくともいずれか一方にマスク層4(4a,4b)を形成する工程と、マスク層4をマスクとして基板をエッチングする工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】マイクロポンプの出力の向上を図る。
【解決手段】マイクロポンプ2は、基材10と、ガス発生材12と、光源14と、光学素子20とを備えている。基材10には、マイクロ流路11が形成されている。ガス発生材12は、光が照射されることによりガスを発生させる。ガス発生材12は、発生したガスがマイクロ流路11に供給されるように配されている。光源14は、ガス発生材12に光を照射する。光学素子20は、光源14からの光が入射する光入射面21と、ガス発生材12側に光を出射する光出射面22とを有する。光学素子20は、ガス発生材12の光源14からの光が入射する光入射領域における光の強度分布を小さくする。 (もっと読む)


【課題】比較的簡単な方法で、電子デバイスを構成する部材間の接合強度をより高めることが可能な電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基体2と、半導体基体2を実装する基体1と、半導体基体2を基体1側に接合する接合部3とを備えた電子デバイス10の製造方法であって、接合部3がAuを含む接合材料からなり、半導体基体2の接合部3側が接合材料を構成する元素以外から構成される母材材料からなり、基体1に設けた接合部3を溶融する温度以上に加熱して液相状態にした接合材料と固相状態の母材材料とを接触させる接触工程と、接触工程後に、Auと母材材料を構成する元素との合金の融点の温度以上に加熱して、半導体基体2を基体1側に接合する接合工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるMEMSシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。MEMSシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第1バネ、第1バネに接続された第1アンカー、第2バネ、及び第2バネに接続された第2アンカーを有し、シャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 (もっと読む)


【課題】MEMSによるシャッタ組立体Mにおける歪みの発生を抑えた表示装置を提供する。
【解決手段】板状に形成されるシャッタ板SHと、アクチュエータ部ACと、を有する複数の画素を備えた表示装置であって、アクチュエータ部ACは、シャッタ板SHに接続される梁部Bと、電圧が印加されることにより、梁部Bを湾曲させてシャッタ板SHを駆動する駆動電極Eと、駆動電極Eを支持し、基板B1上に固定される第1支持部S1と、梁部Bを支持し、基板上に固定される第2支持部と、を有し、第1支持部S1および第2支持部の少なくとも一方は、基板から離れた平面部分Spと、平面部分Spから窪み、基板に接続する凹部Scと、を有し、凹部Scは、平面部分からほぼ垂直に傾斜して形成される垂直形成部分Svと、垂直形成部分Svから開始して、基板B1側に進むに従って傾斜が緩くなるように形成される部分Sgを有する、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、機械式のシャッタが配置されたパネルを満たすオイルに気泡が発生することを防止することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板10,12と、一対の光透過性基板10,12を貼り合わせるシール材38と、封止空間に充填されたオイル42と、光透過性基板10に形成され且つ封止空間に配置されたシャッタ14とを有し、シール材38の熱膨張係数αはオイル42の熱膨張係数βよりも大きい、又は0.8β≦α≦1.2βの関係を有する。 (もっと読む)


【課題】TFT基板の信頼性を向上させることのできる表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上に配置された複数のデータ線と複数のゲート線との交点のそれぞれに対応して配置される複数の画素と、前記基板上に配置された第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜の上層に前記第1絶縁膜の少なくとも一部と接して配置され、前記第1絶縁膜とは異なる材質の膜である第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上に前記複数の画素のそれぞれに対応して配置され、側部に第3絶縁膜が配置される複数のMEMSシャッターと、前記複数のゲート線及び前記複数のデータ線に電位を供給する複数の端子であって、前記複数の端子の上部に配置された前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜の開口部から前記電位の供給を受ける前記複数の端子と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】機械式のシャッタが配置されたセルを満たすオイルを注入するときにシャッタに与えるダメージを減らすことを目的とする。
【解決手段】表示装置は、切れ目46を有して空間を囲むシール材44と、シール材44の切れ目46を塞いで封止空間を形成するエンドシール50と、封止空間に満たされたオイル52と、一対の光透過性基板10,12間の間隔を保持するスペーサ54と、シャッタ14と、シャッタ14を機械的に駆動するための、オイル52内に配置された駆動部38と、一対の光透過性基板10,12の対向面の少なくとも一方上に形成された壁部60と、を有する。壁部60は、シール材44の切れ目46と表示領域48との最短経路を遮る位置に配置された部分を有し、スペーサ54、シャッタ14及び駆動部38を構成する材料から形成されている。 (もっと読む)


【課題】製造プロセスを増やすことなく、オイルに対する耐性の高いバンプを形成することを目的とする。
【解決手段】第3上面68を囲むように樹脂層50を貫通する切れ目76が形成されている。膜52は、切れ目76の内側では樹脂層50の底面を除く全体を覆い、切れ目76の外側では樹脂層50の少なくとも一部が露出するように形成する。切れ目76の内側では膜52に全体的に覆われた樹脂層50を残し、切れ目76の外側では膜52からの露出面から連続する樹脂層50の全体を除去する。切れ目76の内側に樹脂層50及び膜52からバンプ48を形成し、切れ目76の外側に第1基板10から浮いた状態で膜52からシャッタ14と駆動部40の少なくとも一部とを形成する。 (もっと読む)


【課題】画素内の配線を減らし、量産上の歩留りを上げると共に、低コスト化を図ることのできる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、マトリクス状に配列された画素において、画素毎に設けられ、透明基板(36)上で透明基板に平行に移動し、光の透過及び遮断を行う機械的シャッタ部(26)と、透明基板上で機械的シャッタ部を挟むように配置される一対の制御電極(25,27)と、この一対の制御電極に、予め定められたタイミングで、制御電極のための高電圧及び低電圧をそれぞれに交互に印加する制御電極駆動回路と、画素毎に設けられ、画素毎の階調値に応じたタイミングで、信号線を介して設定される高電圧及び低電圧のいずれかを印加することにより、機械的シャッタ部の動作を静電的に制御するシャッタ制御回路を備える。 (もっと読む)


【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】前部および後部反射面の両方を有する光キャビティを利用する、空間光変調のための改良された装置および方法が開示される。光を空間変調するために、前部反射面内に、光透過領域が形成される。意図される見る人に面した前面と、光源に面した後面とを有する基板と、基板の前面の上に配置された誘電体材料層と、複数のアパーチャを含む、誘電体材料層の上に配置された金属層と、金属層の上に配置された複数の光変調シャッタ組立体102とを備え、複数のアパーチャは、複数の光変調シャッタ組立体102による変調のために、金属層を光源からの光が通過するのを許可する、ディスプレイデバイス。 (もっと読む)


【課題】コントラストの改善を図ることが可能であり、製造が容易なアパーチャープレートを提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置においては、(A)透光性の基板130上に金属層132を形成し、(B)金属層132上に開口パターンが形成されたレジストマスク136を設け、この状態で金属層132の露出部分をエッチングして開口部126を形成し、(C)その後レジストマスク136を除去し、(D)金属層132の表面及び開口部126の側壁面を酸化して金属の酸化物層134を形成することにより、アパーチャープレートの表裏の反射率を異ならせる。酸化物層134は、レジストマスク136をアッシングするときに、レジスト除去と同時に形成することができる。 (もっと読む)


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