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Fターム[3C081BA41]の内容

マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 可動部 (6,256)

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【課題】本発明は、薄型化を実現すると共に、接合された2つの半導体基板の導通配線を簡単に行うことができる電子デバイスおよび電子デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の電子デバイス1は、絶縁膜41を介して、接合突部42が突設された第1半導体基板2と、導電性接合材料を介して、第1半導体基板2の接合突部42に溶着接合された第2半導体基板3と、接合方向において、接合突部42および絶縁膜41に貫通形成されたスルーホール54と、溶着接合に伴ってスルーホール54に充填された導電性接合材料により構成され、第1半導体基板2と第2半導体基板3とが同電位となるように導通する導通配線部44と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】低い電圧で駆動するとともに、小型・軽量化が可能な流量調整デバイスを提供すること。
【解決手段】流量調整デバイス10は、流体が流れる管100内に設置され、流体の流量を調整する流量調整デバイス10であって、第1の電極層1と、第1の電極層1と対向するように設けられた第2の電極層2と、第1の電極1と第2の電極2との間に設けられた、変形層3および電解質層4とを有し、酸化還元反応により変形層3の体積が膨張または収縮することにより、流体の流量を調整することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】短時間で静電型アクチュエータの駆動に必要な高電圧を生成する。
【解決手段】静電型アクチュエータ装置10は、電圧Vpp1を生成する電圧生成回路13−1と、電圧生成回路13−1とノードN1との間に接続されたスイッチSW1と、電圧Vpp2を生成する電圧生成回路13−2と、電圧生成回路13−2とノードN2との間に接続されたスイッチSW2と、ノードN1とノードN2との間に接続されたキャパシタCbと、ノードN1に駆動電極が接続された静電型アクチュエータ16とを含む。そして、静電型アクチュエータ16の駆動時に、スイッチSW1がオン、スイッチSW1がオフ、スイッチSW2がオンの順に動作する。 (もっと読む)


【課題】短時間で容易かつ確実に不要部分を除去することができるMEMSの製造方法を提供する。
【解決手段】MEMSの可動部111が形成される第1基板110と、第1基板と貼り合わせられ可動部に隣接する領域がエッチングにより除去される第2基板120とを半導体製造工程によって製造するMEMSの製造方法であって、第1基板と第2基板とを貼り合わせる前に、第2基板のうちエッチングによって除去したい領域の一部にトレンチ123を形成する工程と、トレンチを形成した部分を含みエッチングにより除去したい領域を熱酸化することにより犠牲酸化膜121を形成する工程と、犠牲酸化膜が形成された第2基板120に第1基板110を貼り合わせる工程と、貼り合わせた後に第1基板のうち可動部を形成するために不要な領域と第2基板に形成した犠牲酸化膜121とを同時にエッチングにより除去する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】中空構造の空隙内に液状樹脂が深く入り込んでしまうことなしに、確実に開口部を閉塞することができる、中空構造を有する装置、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】中空構造を有する装置は、主表面を有する基板201と、金属膜204と、樹脂膜208と、撥液膜207aとを有している。金属膜204は、開口部を有する空隙が主表面の一部との間に形成されるように基板201上に設けられている。樹脂膜208は、硬化された樹脂からなり、開口部206aおよび206bを閉塞している。撥液膜207aは、空隙の内面上に設けられており、液状状態の樹脂の接触角を基板201および金属膜204よりも大きくする物性を有している。 (もっと読む)


【課題】構成が簡単で製造が容易であり、かつ従来のマイクロバルブと同程度に機能し得るマイクロバルブを有する微細流路を提供する。
【解決手段】微細流路1aのマイクロチャンネル3が備える第1の反応流体Aの流路6および第2の反応流体Bの流路7の所定位置に、マイクロバルブ10,11をそれぞれ備える。マイクロバルブ10,11は、微粒子状磁性体の滞留領域12,14と、これに対応して磁界の作用をおよぼし得る位置にそれぞれ付設した磁石機構13,15とをそれぞれ有する。これにより、磁石機構13,15による磁界の作用時には、凝集した微粒子状磁性体が滞留領域12,14に密着して流路を閉塞する。また、磁界の非作用時には、凝集した微粒子状磁性体が、滞留領域12,14内で移動するか第1の反応流体Aおよび第2の反応流体B中にそれぞれ分散して流路6,7を開放する。 (もっと読む)


【課題】 微量な検出目的物質に対する多段階な反応処理を自動的に行うことができる化学反応装置を提供する。
【解決手段】
マイクロ反応路チップ1と、マイクロ反応路チップ1を載置し回転させる回転盤17と、マイクロ反応路チップ1の流路形成領域よりも回転中心側に配置された磁力発生部と、を備えた化学反応装置であり、マイクロ反応路チップ1が、入口と尻窄み形状の出口とを有する複数の反応槽と、該複数の反応槽を繋ぐマイクロ流路と、有し、前記複数の反応槽のそれぞれが、交互に逆向きの状態で尻窄み形状出口同士が対向するようにして上流側から下流側に向かって順次配置され、かつ隣り合う反応槽の入口と尻窄み形状出口とが、マイクロ流路で連結されており、更にマイクロ反応路1内には、磁性を帯びることのできるマイクロビーズ5が配置されている。 (もっと読む)


【課題】 レーザ光を用いたダイシング工程により割断する工程を含んだ製造方法により製造される半導体チップであって、半導体チップの割断面から改質領域の微小片が剥離することを防止可能な半導体チップ及びその製造方法を実現する。
【解決手段】 割断工程により、裏面21bに貼着されたシート41と割断予定ライン近傍の基板面21aに貼着された延伸部材43とが延伸し、このように延伸したシート41および延伸部材43と各割断面21dとにより閉断面空間Sが形成される。そして、被覆工程により、この閉断面空間Sに被覆材24を注入して各割断面21dが被覆される (もっと読む)


【課題】 駆動時でも可動部の平坦性を維持した揺動体装置を提供することである。
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と、可動部と、可動部を支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、可動部を振動させる駆動手段とを有する。可動部は、単結晶シリコンで形成され、可動部の主面の結晶面は(110)面であって、可動部の主面と平行で、且つねじり軸と垂直な方向の結晶方位が[111]方位である。 (もっと読む)


【課題】 送液の効率を向上させた送液方法および送液手段を提供する。
【解決手段】 マイクロ流体デバイス内の流路に存在する液体を制御する装置システムにおいて、送液のために超音波振動子を設け、その超音波振動子は振幅変調による発振を行う。また、超音波振動子上にはマイクロ流体デバイスを保持するための保持部を設け、マイクロ流体デバイスを着脱可能とする。 (もっと読む)


【課題】弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置を提供する。
【解決手段】常温で固体の相転移物質及び相転移物質内に分散され、外部からの電磁波の照射による電磁気波エネルギーを吸収して発熱する複数の微細発熱粒子を含んでなる充填物が充填された充填物チャンバと、充填物チャンバとチャンネルを連結する連結通路と、充填物に電磁波を照射するための外部エネルギー源と、を備えており、外部エネルギー源からの電磁波の照射によって発熱した複数の微細発熱粒子は、相転移物質を溶融及び膨脹させることによって充填物を膨張させ、膨張した充填物は、連結通路を通ってチャンネルに流入してチャンネルを閉鎖することを特徴とする弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置である。 (もっと読む)


マイクロ流体制御バルブ(100)は少なくとも1つのキャビティ(260)を規定する誘電体構造(105)を有する。電気活性ポリマーのような電気活性材料(305)がキャビティの一部に備えられている。電気活性材料は、電気活性材料の寸法が第1値を有する第1状態と、その寸法が第2状態を有する第2状態との間で動作可能である。2つの導体(240、250)は、第1状態と第2状態との間で電気活性材料を変化させるように、電気活性材料に電位を印加するために備えられている。第1流体ポート(310)は、電気活性材料が第1状態にあるときに、流体が第1流体ポートを通って流れ、電気活性材料が第2状態にあるときに、電気活性材料は第1流体ポートを少なくとも一部で遮るように、電気活性材料に近接して位置している。

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本発明は、電気的機械的共振器に関するものであって、振動ボディ(4)と、少なくとも1つの励起電極(14,16)と、少なくとも1つの検出電極(10,12)と、を具備してなる共振器において、振動ボディが、第1ヤング率を有した第1材料から形成された第1部分(20)と、第1ヤング率よりも小さな第2ヤング率を有した第2材料から形成された第2部分(22)と、を備え、この第2部分が、少なくとも部分的に、検出電極(10,12)に対向して配置されていることを特徴としている。
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2次元運動可能でありアクチュエータ支持体(12)に接続された駆動エレメント(14ad)を有する電気機械式アクチュエータ(10)が開示される。アクチュエータ支持体(12)はフェロメカニカル的に非能動的である材料で作られる。さらに、駆動エレメント(14a−d)とアクチュエータ支持体(12)との間のジョイントは堅固であり非常に安定している。これは、たとえば、熱硬化プラスチック接着、拡散ボンディング、又は、共焼結によって作られた不可逆的なジョイントの使用によって実現される。共焼結が好ましい。アクチュエータ支持体(12)材料は、堅固であるように選択され、好ましくは70GPa、より好ましくは100GPaを超える剛性を有し、好ましくは5W/mK、より好ましくは10W/mKを超える高い熱伝導率を有する。電極(22)は、剛性を増大させると同時に熱伝導率を改善するため、好ましくはアクチュエータ支持体に一体化される。駆動エレメント(14a−d)は、好ましくは、少なくとも駆動面において、熱伝導材料によって覆われる(28、26)。 (もっと読む)


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