【課題】放電プラズマによる気流誘起現象により高温下や含塵環境下においても安定して気流を発生させることができ、空気力学的特性の制御などを行うことが可能な翼、気流発生装置、熱交換装置、マイクロマシンおよびガス処理装置を提供する。
【解決手段】実施形態の翼は、固体からなる誘電体４１を介して配置された電極４２、４３との間に電圧を印加して放電させることにより気流を発生させる気流発生ユニットを翼面の所定の位置に備える。誘電体４１が、ブロック状の誘電体ブロックで構成され、一方の電極４２が、誘電体ブロックの一方の表面から露出して設けられ、他方の電極４３が、一方の電極４２から誘電体ブロックの表面と水平な方向にずらして一方の電極４２と離間され、かつ誘電体ブロックに埋設されている。 （もっと読む）

【課題】導電体パターン層の電気長を離散的に変更することが可能な伝送線路素子および電子機器を提供する。
【解決手段】誘電体層２０に中空の流路２１を設けると共に、この流路２１内に二種類の流体Ｆ１，Ｆ２を流路２１の延長方向において互いに混ざり合わずに並存させる。駆動部４０により流路２１内の流体Ｆ１，Ｆ２の導電体パターン層１０に対する位置関係を変化させることで、導電体パターン層１０の電気長を離散的な二値に変化させる。流路２１Ａ〜２１Ｃを互いに連通せず独立させると共に、駆動部４０を流路２１Ａ〜２１Ｃの各々に設けることが好ましい。駆動部４０により流路２１Ａ〜２１Ｃに独立に流体Ｆ１，Ｆ２の導電体パターン層１０に対する位置関係を変化させることが可能となり、導電体パターン層１０の電気長として、離散的な多値を任意に選択することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、磁性粒子を含み相当の表面張力を有する液体用の疎水性弁に関するものである。このデバイスは、各々が機能化された表面を備える少なくとも２つの平坦な固体基板を有し、少なくとも第１の固体基板は少なくとも１つの疎水性領域により互いに分離された少なくとも２つの親水性領域を持つパターン化された表面を有する。上記２つの平坦な基板は互いに或る距離を隔てて、前記機能化された表面が互いに対面するようにサンドイッチ状に平行な態様で配置される。当該弁は更に磁気アクチュエータを有する。
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【課題】絶縁性微粒子本来の機能を損なうことなく、任意の基材表面にパターン状に絶縁性微粒子を１層のみ並べたパターン状の単層絶縁性微粒子膜、および複数層累積したパターン状の絶縁性微粒子累積膜、ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】パターン状の絶縁性微粒子膜１、３は、第１の官能基を有する第１の膜化合物の形成するパターン状の被膜で被覆された基材１４の表面に、第１の官能基とカップリング反応により結合を形成する第１のカップリング反応基を有する第１のカップリング剤の形成する被膜で被覆された反応性微粒子４２が配列した絶縁性の微粒子層が、カップリング反応により形成される結合を介して１層結合固定されている。あるいは、さらにその上に第１のカップリング反応基と反応する膜化合物の被膜で被覆された微粒子３４および反応性微粒子４２が交互に結合固定されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ構造を製造する方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ構造を製造する方法であって、基板上に第１の構造部分を形成することと、該第１の構造部分上に犠牲材料を配置することと、該犠牲材料および該基板上に第１の構造材料の層を堆積させることと、該犠牲材料の少なくとも一部を除去して、第２の構造部分を該第１の構造材料の層に形成することであって、該第２の構造部分は、該基板に接続され、該第２の構造部分が該第１の構造部分から分離される第１の位置と、該第２の構造部分が該第１の構造部分と接触する第２の位置との間で移動可能である、ことと、該第２の構造部分の表面および該第１の構造部分の表面のうちの少なくとも１つにカーボン層を形成することによって、該第２の構造部分と該第１の構造部分との間のスティクションを減少させることとを包含する、方法。 （もっと読む）

マイクロミラー構造を持ち上げる（支持する）ために、ステッパープレートにおける複数の支柱を用いている、マルチ動作をプログラム可能なマイクロミラー制御方法を提供する。当該制御システムは、（１）マイクロミラーの多数の動作を生成できる、（２）マイクロミラーを低駆動電圧で制御できる、（３）デジタル制御によって簡素な動作制御にできる、（４）マイクロミラーの動作の自由度をステッパープレートの数によって選択できる、（５）マイクロミラーを単一の信号電圧で駆動できる、という有利な点を有する。このような有利な点とともに、上記マルチ動作をプログラム可能なマイクロミラー制御方法は、マイクロミラー動作制御における問題点を克服するための解決策を提供する。
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本発明によるマイクロ電子機械（ＭＥＭＳ）デバイスの製造方法は、その可動構造が形成された後に、デバイスウェハのボトム側を除去する。その目的のために、この方法は、初期ボトム側を有するデバイスウェハを提供する。次いで、この方法は、そのデバイスウェハ上に、可動構造を形成し、続いて、このデバイスウェハの初期ボトム側全体を実質的に除去する。初期ボトム側全体を効率的に除去することによって、最終ボトム側が形成される。
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デバイスは、第１の表面をもつ。第２の表面は、パッケージを形成するために、第１の表面からオフセットしている。少なくとも１つの可動素子は、パッケージ内において、別の表面に接触する可動表面をもっている。環境制御物質は、パッケージ内部に含められ、可動素子の動作に影響を与える。 （もっと読む）