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Fターム[3C081BA72]の内容

マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 配置状態 (433) | アレイ、マトリックス状 (402)

Fターム[3C081BA72]に分類される特許

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【課題】複数の針に貫通孔を備えた針状体を簡便に精度よく転写成型可能であり、なおかつ耐久性を有する転写版を用いた針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】基部の表面に複数の針を備え、前記針および基部に貫通孔を有する針状体を製造する方法であって、前記針を凹凸反転させた凹部を規定する輪郭部と前記針の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた針転写版、および前記基部の底部を規定する板状部と前記基部の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた基部転写版を用い、前記針転写版に樹脂を充填させる樹脂充填工程と、前記針転写版の上部に残存している樹脂に対し前記基部転写版を押圧して前記針転写板に接触させる転写版押圧工程と、前記針転写版および前記基部転写版から前記樹脂を取り出す剥離工程とを有することを特徴とする針状体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる

【解決手段】電極15−1〜15−4は、可動梁12−1〜12−4に対向して配置され
る。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー14を高密
度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる
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【課題】簡便で精度の高い分析を可能とするマイクロチップの提供。
【解決手段】流路において、流路壁の一部が変形することによって、流路内空へ突出して、流路が狭窄又は閉塞される逆流防止構造が形成されるマイクロチップを提供する。逆流防止構造が流路内に形成されることによって、ウェルに充填された溶液の逆流が妨げられ、ウェル間での溶液の通流による汚染が防止され、マイクロチップ内の複数のウェルにおいて、異なる分析を同時に行う場合であっても、精度の高い分析が可能となる。 (もっと読む)


【課題】一目では判別が困難である識別情報が強靭な形態で光学機能面へ付与された光学部材を提供する。
【解決手段】光を透過又は反射する機能を有する複数の斜面14,15を備える光学ユニット12が周期的に多数配列された光学部材10である。複数の斜面14,15のそれぞれには、面積が4μm以上0.04mm以下、深さまたは高さが1μm以上5μm以下の複数個の微小構造体1が配設されている。この微小構造体1が付与された斜面14,15に向けて光を照射して反射した反射光は、少なくとも1方向だけから光を当てて反射したそれぞれの反射光からだけでは識別用の情報としては機能せず、少なくとも2方向以上から光を照射したときに反射する各方向の反射光を読み取って演算処理することにより真贋を特定できる。 (もっと読む)


【課題】皮膚への穿刺時および複製版への転写時等に先端部の破損が生じにくい針状体を簡単な方法で製造することを可能とする針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板11上に、底面部の外形形状の一部または全部が円弧形状で、かつ周縁部から中央部へ連続的に厚みが増加するエッチングマスク12を形成する工程と、前記エッチングマスク12を用いてエッチング処理を施すことにより基板に針状の構造体13を形成する工程と、前記構造体13に上部斜面14を形成する工程とを含むことを特徴とする針状体15の製造方法。 (もっと読む)


【課題】MEMSミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をMEMSミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ(WSS)を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るWSSは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、MEMSミラーアレイとを備え、さらに当該MEMSミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るWSSは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、MEMSミラーアレイとを備え、さらに当該MEMSミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記WSSを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るWSSは、MEMSミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ100は、ベース部2と、ベース部2に支持された複数のミラー110と、ミラー110に連結されてミラー110を駆動する複数のアクチュエータ1,1とを備え、ミラー110を互いに直交する主軸X及び副軸Y回りに回動させる。アクチュエータ1は、副軸Y方向に延びるアクチュエータ本体3と、アクチュエータ本体3の表面31に積層された圧電素子4とを有し、圧電素子4を伸縮させることによってアクチュエータ本体3を傾動させるように構成されている。各ミラー110には、副軸Yを挟んで並ぶ2つのアクチュエータ1,1が主軸Xに対して一方の側だけに設けられている。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板101の上に離間して配置されたミラー102と、ミラー102の一端を1つの連結部103を介して連結して基板101の上で支持する第1支持部104と、ミラー102を挟んで第1支持部104に対向する第2支持部105と、第2支持部105に一端が支持されて他端がミラー102の他端に各々1つの連結部106a,106bを介して連結する2つの第1可動梁107および第2可動梁108と、第1可動梁107のミラー102側の他端を基板101より離れる方向および基板101に近づく方向の選択された第1方向に変位させるための第1駆動電極109と、第2可動梁108のミラー102側の他端を上記第1方向に変位させるための第2駆動電極110とを備える。 (もっと読む)


【課題】より容易にアライメントを行うことができるミラーアレイ、ミラー素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】基板51上には、ミラー52’の下面を押圧する突起51bが設けられている。この突起51bによりミラー52’が予め所定の角度に傾向しているので、そのミラー52’を所定の角度に傾向させるための駆動電圧を供給しなくてもMEMSミラーアレイのアライメントを行うことができる。この結果、簡易な装置構成でアライメントを容易に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第1可動梁131を駆動するための第1駆動電極111が、基板101の側に第1可動梁131に対向して配置され、第2可動梁141を駆動するための第3駆動電極113が、基板101の側に第2可動梁141に対向して配置されている。一方、第3可動梁161を駆動するための第2駆動電極112は、基板101の側とは反対側で第3可動梁161に対向して配置され、第4可動梁171を駆動するための第4駆動電極114も、基板101の側とは反対側で第4可動梁171に対向して配置されている。 (もっと読む)


【課題】駆動メカニズム(EWODまたはDEP)を、任意の時点にてアレイ素子に含まれる各列に応じて個別に選択可能なように構成されたアクティブマトリクス駆動回路を提供する。
【解決手段】マイクロ流体装置は、アレイ上の1個または複数の液滴4を操作するように構成されている複数のアレイ素子43と、アクティブマトリクス駆動回路84とを備えており、各アレイ素子は、上部基板36上に形成されている上部基板電極28と、下部基板72上に形成されている駆動電極38A、38Bとを含んでおり、上記上部基板電極および上記駆動電極の間に上記1個または複数の液滴を配置可能であり、上記アクティブマトリクス駆動回路は、上記複数のアイレ素子の、上記上部基板電極および上記駆動電極に駆動信号を与え、上記複数のアレイ素子の間で、上記1個または複数の液滴を操作するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】機械的な干渉、過度の湿気、及び損傷を及ぼす可能性がある物質からインターフェロメトリックモジュレータを保護するバックプレートを備えたインターフェロメトリックモジュレータアレイを提供する。
【解決手段】MEMSを基本にしたディスプレイデバイス600であり、インターフェロメトリックモジュレータアレイ604が透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。透明基板は、シール606を介してバックプレート608に取り付けられており、バックプレートは、インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。バックプレートは、ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素(例えば電子構成要素、等)に関する物理的支持物となることができる。さらに、バックプレートは、デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 (もっと読む)


【課題】断熱構造を持つマイクロ流体デバイスを提供する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板内の少なくとも1つのマイクロリアクタ105と、半導体基板内でマイクロリアクタに接続された1つ以上のマイクロ流体チャネル101と、マイクロ流体チャネルを封止するための、半導体基板に接合されたカバー層と、マイクロリアクタ及びマイクロ流体チャネルを包囲する基板貫通トレンチ100とを備えたマイクロ流体デバイス104であって、基板貫通トレンチは空隙であるか、または断熱材料で充填されている、マイクロ流体デバイス (もっと読む)


【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板150と、基板150に設けられた一対の駆動電極120A,120Bと、基板150に固定された一対の固定部107と、一対の固定部107にそれぞれ接続された一対のヒンジ110と、一対のヒンジ110によって揺動可能に支持された接続部105と、接続部105に固定された支柱102と、支柱102に固定された可動板101とを有している。可動板101は、駆動電極120A,120Bに対向するように基板150から間隔を置いて支持されている。可動板101は、駆動電極120A,120Bに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面103を有している。駆動電極120A,120Bと固定部107とヒンジ110と接続部105は同一の層から形成されている。 (もっと読む)


【課題】応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するMEMSデバイス、およびその製造方法。
【解決手段】MEMSデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。1つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および/または移動可能層の使用を通じて得られる。 (もっと読む)


【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器100は、可動ミラー110と、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ120と、ヒンジ120をそれぞれ支持する一対の固定部130とを有している。可動ミラー110とヒンジ120と固定部130は、第一の軸181に直交する第二の軸182に沿って整列している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極160を有している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110の傾斜により可動ミラー110に生じる変形を緩衝する緩衝部140を有している。 (もっと読む)


【課題】高速、かつ低電圧で駆動されることが可能な、透明基板上に構築された直視型ディスプレイを提供する。
【解決手段】少なくとも二つの位置を有する遮光素子のアレイと、少なくとも一つの光源と、遮光素子の位置を制御するとともに、少なくとも一つの光源の照明を制御し、画像フレームに対応する複数のサブフレームデータセットをメモリから取得し、サブフレームデータセットに示されている位置に遮光素子を移動させるために、出力シーケンスに従ってサブフレームデータセットを処理し、サブフレームデータセットに従って画像を形成するために、少なくとも一つの光源を駆動するコントローラと、画像を変えるために出力シーケンスの変更を決定するためのシーケンスパラメータ計算モジュールと、を備えるように構成する。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイを動作させる方法を提供する。
【解決手段】ディスプレイを動作させる方法であって、データローディング段階中に画素のアレイにおける画素の複数の行内の画素に画像データをロードするステップと、更新段階中に複数の行内の画素を作動させるステップと、ランプ照明段階中に少なくとも1つのランプを照明させて作動された画素を照明し、ディスプレイ上に画像を形成するステップとを含み、更新段階が、ローディング段階および照明段階の少なくとも一方と時間が部分的に重畳する方法。 (もっと読む)


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