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Fターム[3C081CA28]の内容

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Fターム[3C081CA28]に分類される特許

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【課題】梁部が疲労破壊することを抑制できるMEMS振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、シリコン基板10と、シリコン基板10の上方に配置された窒化シリコン層30と、窒化シリコン層30の上方に配置された第1電極40と、第1電極40との間に空隙を有した状態で配置され、シリコン基板10の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部54、および窒化シリコン層30の上方に配置され、梁部54を支持する支持部56を有する第2電極50と、を含み、第1電極40および第2電極50の材質は、導電性を有する単結晶シリコンである。 (もっと読む)


【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器A1は、反射面を有するミラー部1と、トーションバー2a、2bに一端が連結され他端が支持部10に連結されて支持された圧電アクチュエータ8a、8bとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部1と支持部10との間の空隙に設けられる衝撃緩和部9a、9bは、支持部10のトーションバーと直交する方向のミラー部1と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 (もっと読む)


【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるMEMS振動子を提供する。
【解決手段】MEMS振動子100は、基板10と、基板10の上方に配置された第1電極20と、第1電極20との間に空隙を有した状態で配置され、第1電極20との間の静電力によって基板10の厚み方向に振動可能となる梁部32、および梁部32を支持する支持部34を有する第2電極と、を含み、第2電極30は、梁部32を複数有する。 (もっと読む)


【課題】ねじり振動と別の振動モードが励振されることを抑制できるMEMS振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、ねじり振動する可動電極30と、可動電極30と間隙を介して形成された第1固定電極40および第2固定電極50と、を含み、可動電極30は、第1面32と、第1面32に接続され互いに反対を向く第2面34および第3面36と、を有し、第1固定電極40は、第1面32と対向する第4面42と、第2面34と対向する第5面44と、を有し、第2固定電極50は、第1面32と対向する第6面52と、第3面36と対向する第7面54と、を有し、第2面34と第5面44との間隔D2は、第1面32と第4面42との間隔D1よりも大きく、第3面36と第7面54との間隔D4は、第1面32と第6面52との間隔D3よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】スティッキング現象の発生を抑制できる静電駆動型アクチュエータや可変容量素子を実現するとともに、それらを歩留まり良く、高い形状精度で生産する製造方法を実現する。
【解決手段】可変容量素子1において、可動梁3は、固定板2に対向する。可動梁側駆動容量電極8A,8Bおよび可動梁側RF容量電極9は、可動梁3に設けられる。固定板側駆動容量電極5A,5Bは、可動梁側駆動容量電極8A,8Bに対向して固定板2に設けられる。固定板側RF容量電極6A,6Bは、可動梁側RF容量電極9に対向して固定板2に設けられる。誘電体膜4は、固定板側駆動容量電極5A,5Bと固定板側RF容量電極6A,6Bとを覆うように形成される。可動梁3は、初期状態において、固定板2側に先端が撓んでいるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】製造効率性の低下を抑え、かつ反射膜の劣化を防止可能な干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5の製造方法は、固定基板51に固定反射膜54と第一接合膜531とを成膜して、固定基板51を形成する第一基板形成工程と、可動基板52に可動反射膜55と、第二接合膜532とを成膜して、可動基板52を形成する第二基板形成工程と、第一接合膜531及び第二接合膜532を接合することで、固定基板51及び可動基板52を接合する接合工程と、を備え、第一接合膜531及び第二接合膜532は、シロキサンを含有し、接合工程は、第一接合膜531及び第二接合膜532に対して、Nプラズマ処理またはArプラズマ処理を行って表面を活性化させた後、これらの第一接合膜531及び第二接合膜532をシロキサン結合により接合する。 (もっと読む)


【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部(12)を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部(14)が配置される。圧電アクチュエータ部(14)の一端(14A)は連結部(16)を介してミラー部(12)の端部(12A)に接続され、圧電アクチュエータ部(14)の他端(14B)は固定部(30)に固定支持される。また、ミラー部(12)は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部(30)に接続されている。回転軸(18)付近に接続されるトーションバー(20)とトーションバー(20)の基端部を支持するトーションバー支持部(22)とにより垂直移動抑制構造(32)を構成できる。 (もっと読む)


【課題】標準的なCMOSプロセスに適合し、かつゲッタ材料又は反応性ガスに依存しないでキャビティをシールする方法を提供する。
【解決手段】キャビティ910は犠牲材料をエッチングにより除去することで形成され、キャビティのシールはキャビティより下側の材料がスパッタエッチングされ、キャビティに通じる通路の上及び中に再堆積されることでシールされる。キャビティに通じる通路の上に堆積された材料904も再びスパッタエッチングされ、キャビティに通じる通路内に再堆積される。スパッタエッチングを不活性雰囲気で行うことにより、スパッタエッチングの後にはキャビティ内は不活性ガスで充填される。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】中間部材を設けずに対向する基板間を容易に接続する光フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に形成された第1反射膜54と、可動基板52に設けられ、第1反射膜54とギャップを介して対向する第2反射膜55と、固定基板51に設けられた第1駆動電極561と、可動基板52に設けられ、第1駆動電極561と対向する第2駆動電極562と、固定基板51に設けられた第1接続電極571と、可動基板52に設けられ、第1接続電極571の一部と対向する位置に可動基板52の厚み方向の寸法が小さく形成された薄肉部582と、第2駆動電極562に接続され、第1接続電極571に対向して薄肉部に形成された第2接続電極572と、を備え、第1接続電極571と薄肉部582に形成された第2接続電極572とが接続されている。 (もっと読む)


【課題】固定電極に備えたシリコン接触部と可動電極とが、それらの接触する部分において、固着を低減させるMEMSデバイスを提供する。
【解決手段】シリコン接触部14は、Rを有する凸状に形成され、可動電極5は、シリコン接触部14との対向面にR形状を有する凸部13を備える。これら、可動電極5と絶縁基板20は、シリコン接触部14および凸部13を介して接触し、シリコン接触部14と凸部13とは、それらが接触する点における法線の向きと点における離れる力の向きとが異なる。 (もっと読む)


【課題】 特に、動作空間を囲む枠体と対向基板とを接合する金属接合部の腐食を防止しやすい構造のMEMSセンサ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 機能層10には、動作領域15と外部領域16とを区画する枠体14とが形成される。前記枠体14と支持基板1間は第1の絶縁層3aを介して接合される。枠体と配線基板との間には、枠体の外周側面から内側に向けて延出する横方向溝部18が形成される。また横方向溝部よりも内側では傾斜側面14fを介して前記横方向溝部18での間隔よりも近接する前記枠体と前記第2の部材との対向面間が動作領域の全周を囲む金属接合部30aを介して接合されている。傾斜側面14fの傾き角度θ1は、鈍角である。そして横方向溝部18内にて現れる金属接合部30aの外周表面が保護絶縁層41により覆われている。 (もっと読む)


【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】前部および後部反射面の両方を有する光キャビティを利用する、空間光変調のための改良された装置および方法が開示される。光を空間変調するために、前部反射面内に、光透過領域が形成される。意図される見る人に面した前面と、光源に面した後面とを有する基板と、基板の前面の上に配置された誘電体材料層と、複数のアパーチャを含む、誘電体材料層の上に配置された金属層と、金属層の上に配置された複数の光変調シャッタ組立体102とを備え、複数のアパーチャは、複数の光変調シャッタ組立体102による変調のために、金属層を光源からの光が通過するのを許可する、ディスプレイデバイス。 (もっと読む)


【課題】 金属結合部の接合界面に作用する応力の均一性を向上させるMEMSセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 機能層10には、動作領域15と外部領域16とを区画する枠体14とが形成される。前記枠体14と支持基板1間は第1の絶縁層3aを介して接合される。枠体14と配線基板2間は、金属結合部30aを介して接合されている。金属結合部30aでは、配線基板2の表面に第1の金属層31aが形成され、枠体14の表面に第2の金属層32aが形成され、第1の金属層31aと第2の金属層32aとが加熱され加圧されて互いに接合されている。第1の絶縁層3aの外周側面3cは、枠体14の外周側面14aよりも前記動作領域の方向に後退している。第1の金属層と前記第2の金属層との接合界面Aの外周端部Bは、前記第1の絶縁層3aの外周側面3cよりも前記動作領域から離れる方向である外側に位置している。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部3、可動部4及びトーションバー3を半導体基板で一体形成し、可動部4に配置した駆動コイル5A、固定部2に配置した外部電極端子7及び駆動コイル5Aと外部電極端子7間を接続するようトーションバー3上を介して配線する引出し配線5Bを含む導電パターン5を、半導体基板表面の絶縁層8上に形成し、駆動コイル5Aに電流供給することにより、可動部4を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー3上の引出し配線5B部分を除いて、絶縁層8と導電パターン5との間に、絶縁層8に対する密着性が導電パターン5より高い密着層9を設け、密着層9のないトーションバー3上の引出し配線5が絶縁層8と接するよう構成した。 (もっと読む)


【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部(例えば28)から、対応するアクチュエータ部(例えば20)に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部(例えば38)から、他のアクチュエータ部(例えば30)に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 (もっと読む)


【課題】ミラーを備える金属基板の反りが低減された走査デバイス、及びその走査デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】金属基板を構成する材料の融点未満の第1温度において、金属基板を構成する材料の熱膨張率と金属基板に形成される薄膜の材料の熱膨張率との大小関係に応じて、室温において測定された金属基板の反り量に応じた膜厚の薄膜が金属基板の凹面または凸面に形成され、薄膜が形成された金属基板が室温に降温されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子デバイスとその製造方法において、封止による気密性を高めること。
【解決手段】SOI基板1にカンチレバー(可動部分)4xを形成する工程と、カンチレバー4xの上方に、隙間gにより互いに分離された複数の電極膜25A、25B、25C、25G、25を形成する工程と、電極膜25A、25B、25C、25G、25の上に第1の保護膜31を形成する工程と、第1の保護膜31の上に、該第1の保護膜31よりも段差被覆性の良い第2の保護膜32を形成することにより、第2の保護膜32で隙間gを塞ぐ工程とを有する電子デバイスの製造方法による。 (もっと読む)


【課題】環境性および帯電除去性に優れた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供すること。
【解決手段】エタロン5は、可動基板52と、可動基板52に対向する固定基板51と、可動基板52の固定基板51に対向する面に設けられた可動反射膜57と、固定基板51の可動基板52に対向する面に設けられ、可動反射膜57とギャップを介して対向する固定反射膜56と、可動反射膜57の固定基板51に対向する面と端面とを被覆するとともに、エタロン5の外周部に延びる第一引出部を有する可動保護膜59と、固定反射膜56の可動基板52に対向する面と端面とを被覆するとともに、エタロン5の外周部に延びる第二引出部を有する固定保護膜58と、を備えている。 (もっと読む)


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