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Fターム[3C081CA34]の内容

マイクロマシン (28,028) | プロセス (6,263) | 加工方法、手段 (4,742) | 光造形(出発材料が気体の場合を含む) (13)

Fターム[3C081CA34]に分類される特許

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【課題】 貫通孔付のマイクロニードルを容易に製造することができるマイクロニードル製造方法を提供すると共にそのようなマイクロニードル製造方法により製造されたマイクロニードル基板を提供することにある。
【解決手段】 硬化性樹脂に熱又は光エネルギーを付与し、且つ、そのエネルギーを制御することにより上記硬化性樹脂の外周部を硬化部とすると共に内周部を未硬化部とし、次に、上記未硬化部の硬化性樹脂を除去することにより貫通孔を備えたマイクロニードルを得るようにしたもの。 (もっと読む)


【課題】本発明は、従来の数Wではなく数mW出力程度の低出力レーザー光によって駆動が可能であり、低開口数の対物レンズを用いて微小物体である可動部材の駆動が出来る技術の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、可動部材が支持部材により移動自在により支持される構造を有するとともに、操作するべき可動部材を囲む流体を保持するために構成された面と、前記流体に囲まれた可動部材に電場を印加する手段と、受けた光の近傍における、前記受けた光の局所電場への変換のために構成された、前記面上の少なくとも1つの光伝導性領域と、この光伝導性領域を介し流体内の可動部材近傍に光を集光照射し、誘起された局所電場に応じて、前記可動部材に生じる不均一誘電分極力による推進力を生じさせる光源を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】磁性光硬化樹脂を用いて作成した回転構造体およびそれを使用した磁気駆動マイクロチュエータを提供する。
【解決手段】磁気駆動マイクロアクチュエータは、磁性光硬化樹脂を用いて光造形法によって実際に作製された回転子と、この回転子の周りに配置した電磁コイル対とから構成され、電磁コイル対で回転磁場を印加することにより回転子を回転させることを特徴としている。このアクチュエータによれば、微小流量を連続流で送液可能なマイクロスクリューポンプおよび狭所空間を移動する泳動マクロマシン等を達成することができる。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成により先端側から改質度が徐々に変化しているマイクロピラー構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロピラー構造体10は、基板11と基板11の表面に形成された複数本のマイクロピラー12とから成り、マイクロピラー12の表面特性は、マイクロピラー12の先端側から根元方向に向かって改質度が低下するように改質されている。マイクロピラー構造体10は、基板11の表面に複数本のマイクロピラー12を形成して、マイクロピラー12の表面における先端側から根元方向に向かって改質度が低下するように、波長172nm以下の真空紫外線を照射することによって形成することができる。 (もっと読む)


【課題】 レーザー光により駆動させることができるとともに、様々な形状に造形することができる液晶造形体及び該液晶造形体を用いたマイクロマシンを提供する。
【解決手段】 重合性液晶樹脂に造形用レーザー光を照射し硬化させることにより造形された液晶造形体である。 (もっと読む)


本発明は、DRIEプロセスおよびLIGAプロセスを組み合わせた、シリコン/金属複合体マイクロメカニカル構成要素(51)を製造する方法に関する。
さらに、本発明は、一部(53)がシリコンから作製され、別の一部(41)が金属から作製されて、複合体マイクロメカニカル構成要素(51)が形成される、層を備えるマイクロメカニカル構成要素(51)に関する。
本発明は、時計ムーブメントの分野に関する。
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【課題】本発明の課題は、複雑で微細な3次元構造体を造形する際に起こる造形物の歪みを低減することができる微細構造造形方法を提供することにある。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明に係る微細構造造形方法は、歪み低減部を付与された任意の3次元構造を設計する構造設計ステップと、レーザー光を光硬化性樹脂に集光させるマイクロ光造形法により構造設計ステップにより設計された3次元構造を造形する造形ステップと、造形ステップにおいて、レーザー光が集光されなかった未硬化の樹脂を洗浄し、レーザー光が集光されることにより硬化した樹脂を乾燥させる洗浄乾燥ステップとを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】針状体内部に空孔や、針状体側面に溝などを設けた複雑な形状の針状体を好適に製造することが出来る針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体製造方法は、光造型装置を用いて光硬化性樹脂溶液を露光することで針状体分割部位を形成し、該光硬化性樹脂溶液の外で、該針状体分割部位を接合することを特徴とする。光硬化性樹脂溶液の外で、針状体分割部位を接合するため、接合に際して、分割部位周囲の光硬化性樹脂により形状が損なわれることを抑制することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】駆動要素の慣性力又は揚力や、流路の容積変化に依存することなく、マイクロチップ又はバイオチップ内流路の流体を輸送する。
【解決手段】マイクロポンプは、マイクロチップ又はバイオチップの流路壁(4)によって形成されたU形流路(20)を有する。U形流路は、流入側流路部分(21)及び流出側流路部分(22)を有し、円板形、円柱形又は円筒形の回転子(10,90)が、流路(21,22)の折返し部(23)に回転可能に配置される。回転子は、流路(21,22)を区画する隔壁(5)の先端面と対向する。回転子は、遠隔駆動手段(レーザー光L,L1,L2,L3)によって、その回転中心軸線(X-X)を位置決めされ且つ回転駆動される。 (もっと読む)


【課題】ステレオリソグラフィーにより三次元物品を形成する方法を提供する。
【解決手段】1)表面に放射線硬化性液体組成物の薄層をコーティングする工程であって、組成物が、放射線硬化性組成物中に懸濁されたシリカタイプのナノ粒子を有してなる少なくとも一種類の充填剤を含むものである工程、2)薄層を化学線に画像様に露光して、画像状断面を形成する工程であって、化学線が、露光区域の薄層を実質的に硬化させるのに十分な強度のものである工程、3)先に露光された画像状断面上に組成物の薄層をコーティングする工程、4)工程(3)からの薄層を化学線に画像様に露光して、追加の画像状断面を形成する工程であって、化学線が、露光区域の薄層を実質的に硬化させ、先に露光された画像状断面に付着させるのに十分なものである工程、および5)三次元物品を構築するために十分な回数だけ工程(3)および(4)を繰り返す工程、を有してなる方法。 (もっと読む)


ミニチュアばね要素(1、1′)は、特に原子間力顕微鏡において原子間力や分子力を検出するための梁形探針或いはカンチレバとしての使用に特に適しており、そのために、その変位の特に確実で高解像度の検出が可能となる。このために、ばね要素(1、1′)は、焦束されたエネルギ粒子或いは電磁波による局所的蒸着の原理を利用して、或いは熱分解誘導式蒸着によって製造される。
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高分子微細構造体を合成する方法において、単量体流は、流体チャネル内で、選択した流量で流動される。少なくとも1つの成形された照明パルスが、前記単量体流に照射され、当該単量体流内で、前記照明パルスの形状に対応する少なくとも1つの微細構造の形状を画定する一方で、前記単量体内で、前記照明パルスにより、前記微細構造の形状を重合する。
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本発明は、電磁放射線によりポリマーレリーフ構造体を作製する方法に関する。本方法では、被覆基材の界面張力を低下させる化合物が使用される。その結果、アスペクト比さらには表面の曲率が向上するので、光学素子および複製目的に有益である。 (もっと読む)


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