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針状体の製造方法および針状体の転写版
【課題】複数の針に貫通孔を備えた針状体を簡便に精度よく転写成型可能であり、なおかつ耐久性を有する転写版を用いた針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】基部の表面に複数の針を備え、前記針および基部に貫通孔を有する針状体を製造する方法であって、前記針を凹凸反転させた凹部を規定する輪郭部と前記針の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた針転写版、および前記基部の底部を規定する板状部と前記基部の貫通孔を凹凸反転させた凸部とを備えた基部転写版を用い、前記針転写版に樹脂を充填させる樹脂充填工程と、前記針転写版の上部に残存している樹脂に対し前記基部転写版を押圧して前記針転写板に接触させる転写版押圧工程と、前記針転写版および前記基部転写版から前記樹脂を取り出す剥離工程とを有することを特徴とする針状体の製造方法。
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マイクロニードルデバイスおよびその製造方法
【課題】流体管路(貫通孔)を有するマイクロニードルデバイスにおいて、皮膚に対して小さい力で痛み無く穿刺可能で、かつ穿刺後は薬剤注入または血液、体液等の吸引を円滑に行うことが可能な高品質のマイクロニードルデバイスを提供する。
【解決手段】平坦な基板11に複数の針状突起物12が基板11と一体的に整列した状態で形成された構造体であり、針状突起物12は境界面13を境に先端部17側が体内で可溶性を示す第1の材料14aで構成され、基板11側が不溶性の第2の材料14bで構成され、針状突起物12の内部に基板11の底面側にのみ貫通した流体管路15を有するマイクロニードルデバイス10。
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アクチュエータ素子の駆動方法及び製造方法
【課題】変位の保持特性と繰り返し耐久性に優れたアクチュエータの創出。
【解決手段】イオン液体とポリマーからなる電解質膜の表面に、炭素含有導電性ナノ材料とイオン液体、およびポリマーとのゲル状組成物から構成されるアクチュエータ用導電性薄膜が相互に絶縁状態で少なくとも2個形成され、該層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得るアクチュエータ素子の駆動方法であって、前記アクチュエータ素子の作製及び/又は駆動を低水分及び/又は低酸素雰囲気中で行うことを特徴とするアクチュエータ素子の駆動方法。
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密閉キャビティ形成のためのフリップチップハイブリダイゼーション方法、およびこのような方法によって得られるシステム
【課題】密閉キャビティ形成のためのフリップチップハイブリダイゼーション方法、およびこのような方法によって得られるシステムを提供する。
【解決手段】一方が他方の上に置かれ、その間に充填材料に埋め込まれた少なくとも1つの密閉キャビティが形成される、少なくとも1つの第1および第2マイクロ電子部品を含むマイクロ電子アセンブリの製造方法であって、側壁を用いてキャビティを規定する段階と、側壁と共同して充填材料に対するバイパスダクトを形成できる妨害物を形成する段階と、前記第1部品および前記第2部品のフリップチップハイブリダイゼーションを実施する段階と、前記2つのハイブリッド化部品の間に液体形態の充填材料を注入する段階と、を含む、マイクロ電子アセンブリの製造方法を提供する。
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磁気的に駆動されるマイクロポンプ
【課題】 小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプの提供。
【解決手段】 第一のチャンバ及び第二のチャンバを含むマイクロポンプであって、可撓性膜が第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列され、可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。
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マイクロ流路デバイスの製造方法及びマイクロ流路チップ
【課題】射出成形で得られる樹脂基板をマイクロ流路デバイスとして用いる場合であって、電極部を有するマイクロ流路デバイスの製造方法、及びそれを用いて製造したマイクロ流路チップを提供する。
【解決手段】第1基板2が流路を有し、第2基板3が電極部4を有する基板同士の接着が熱圧着であって、その熱圧着が、低温および高温の二温度の二段階で行い、二温度間の温度差が20度以上、50度未満であることを特徴として得られる。
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マイクロ流路デバイスおよびマイクロ流路デバイスの製造方法
【課題】 本発明の目的は、射出成形で得られる樹脂基板をマイクロ流路デバイスとして用いる場合であってもウェルドラインの発生が問題とならないようなマイクロ流路デバイスの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法は、一方の面に流路用溝が形成された樹脂基板と、前記流路用溝が形成された面を覆うように配置される樹脂フィルムとを、貼り合わせて接合体を得る貼着工程と、前記接合体を加熱処理する加熱工程とを有することを特徴とする。
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針状アレイ経皮吸収シート及び針状アレイ経皮吸収シートの製造方法
【課題】ニードル部を確実に根元まで皮膚内に挿入することができる針状アレイ経皮吸収シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】鉛筆形状のニードル部と、円錐台形状又は角錐台形状の錐台部と、平板形状のシート部とを備え、前記シート部表面には、前記ニードル部と接続された前記錐台部が複数個設置され、前記ニードル部は、円錐形状又は角錐形状の針部と、円柱形状又は角柱形状の胴体部とを有し、前記針部の底面と前記胴体部の端面とが接続された構成を成し、前記胴体部の端面のうち前記針部に接続されていない側の端面は、前記錐台部の端面のうち面積の狭い側の端面に接続され、前記錐台部の端面のうち面積の広い側の端面は、前記シート部の表面に接続され、前記シート部表面において、互いに隣接する前記錐台部の側面同士が接している針状アレイ経皮吸収シート。
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マイクロチップの製造方法
【課題】マイクロチップの接合力と、マイクロチップの形状の維持とを両立することのできるマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】表面に流路用溝を有する樹脂製の基板と、流路用溝をカバーする樹脂製のカバー部材と、が熱接合されたマイクロチップの製造方法において、基板の表面から所定の深さより深い内部領域の密度、又は基板の表面から前記所定の深さ以内の表面領域の密度を均一にする処理工程を有する。
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マイクロチップ
【課題】 微細化を図ることと基板に代表される基材の接合強度を十分に確保可能なマイクロチップを提供すること。
【解決手段】 マイクロチップ101は、分離流路3を形成するための溝が形成されており、かつ互いに貼り合わされた2つの基板1を備えており、基板1には、接合面10の端縁に隣接し、かつこの端縁に対して接合面10の法線方向において内方に凹んだ凹部11が形成されている。
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マイクロ流路デバイスの製造方法
【課題】 本発明の目的は、射出成形で得られる樹脂基板をマイクロ流路デバイスとして用いる場合であってもウェルドラインの発生が問題とならないようなマイクロ流路デバイスの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法は、一方の面に流路用溝が形成された樹脂基板と、前記流路用溝が形成された面を覆うように配置される樹脂フィルムとを、貼り合わせて接合体を得る貼着工程と、前記接合体を加熱処理する加熱工程とを有することを特徴とする。
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マイクロ部品及びその製造方法
【課題】微細構造からなる流路を有する合成樹脂製のマイクロ部品であって、微細構造からなる流路の断面精度及び当該流路の長手方向に対して平面均一度に優れたマイクロ部品の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係るマイクロ部品は、合成樹脂製で、溝幅:0.3μm〜2,000μm、溝深さ0.3μm〜200μmの微細構造からなる流路を有し、流路の長手方向に対して均一の溝深さをねらいとした流路長さが5mm以上あり、当該5mm以上の流路長さの部分において、溝深さのバラツキが±2%以内であることを特徴とする。
ここで、溝深さが100μm以上の場合には、溝深さのバラツキを±2μm以内に抑えるのが好ましい。
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ワイヤ挿入溝を有するチップ要素の製造方法
【課題】マイクロ電子チップに電力を供給するための2本の導電ワイヤを固定する溝を、溝間の距離を高精度に、かつ再現性良く形成する方法を提供する。
【解決手段】ウエハ20上に形成された複数のデバイス22から、溝14を有する複数のチップ要素を製造するチップ要素製造方法において、製造ステップが、前記ウエハ20上に犠牲膜26を前記溝が形成されるような高さで堆積し、前記各デバイス22の中央部を露出させたまま、かつ前記デバイスの端部を覆うように堆積する堆積ステップと、前記犠牲膜上にモールド28を塗布する塗布ステップと、前記モールドに硬化性材料30を注入する注入ステップと、前記硬化性材料を硬化させる硬化ステップと、前記ウエハを前記デバイスの間においてダイシングするダイシングステップと、前記犠牲膜を除去する除去ステップとからなる。
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マイクロ流体チップデバイス及びその製造方法
【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層(2)とマイクロ流体層(3)を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層(2)は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分(21)を含む。マイクロ流体層(3)は、基板層(2)にラミネートされており、変形可能部分(21)と流体連通されたマイクロチャンネル(31)を有する。変形可能部分(21)は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル(31)内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。
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マイクロチップの製造方法及びマイクロチップ
【課題】複雑な流路パターンを有し、小型化、集積化したマイクロチップにおいて、未接合を防止する脱気孔を配置制限やスペース制限を受けることなく簡易に配置することができ、また流路パターンに適合するように簡易に配置することができるマイクロチップの製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー用基材22をフィルム状とすることにより、相対的に厚いカバー部材を用いる場合に比べて加工性がよく、直径が小さい脱気孔23を容易に形成することができる。また、脱気孔23を成形以外の方法で形成することにより、脱気孔23の形成が比較的容易になる。さらに、フィルム状のカバー用基材22の厚み方向に、接合の際に閉塞可能な0.3mm以下の直径を持つ脱気孔23を設けることにより、配置制限やスペース制限を受けることなく簡易に所望の位置に脱気孔23を配置することができる。これにより、接合の際の位置合わせを容易にしつつ、効率的に未接合を防止することができる。
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マイクロチップ、マイクロチップ用金型及びマイクロチップの製造方法
【課題】ウェルドラインによる流路の短絡を防止する。
【解決手段】上下に貫通する複数の貫通孔22Aを有するとともに、少なくとも2つの貫通孔22Aの間を接続する溝21Aが下面に形成された基板2Aと、基板2Aの下面に接合される底材9Aと、を備えるマイクロチップ1である。基板2Aは射出成形により形成され、貫通孔22Aから延在するウェルドラインが形成される領域に溝21Aが形成されていないため、ウェルドラインによって貫通孔22Aと溝21Aとが短絡しない。
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生化学反応用チップ及びその製造方法
【課題】生化学反応チップにおいて、簡易で機能的、かつ安全安価な反応チップを実現すること。
【解決手段】生化学反応チップの主流路の少なくとも片端に試薬を送液するための送液口を持ち、反応チャンバが回転中心に対して円周状に配置されているチップとする。また、回転可能な生化学反応チップとなる基材の内側に複数の反応チャンバと反応チャンバに至る複数の流路を有する。また、反応チャンバまでの流路と主流路が細流路によってバイパスされている生化学反応チップとする。
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マイクロ流路デバイス
【課題】 本発明の目的は、球状(特に、真球状)の液滴を吐出することが可能なマイクロ流路デバイスを提供することにある。
【解決手段】 本発明のマイクロ流路デバイスは、第1樹脂基板と、第2樹脂基板とを有し、前記第1樹脂基板の片面に、横断面が半円形で、かつ第1樹脂基板の端部に開放する第1流路溝が形成され、前記第2樹脂基板の片面に、横断面が半円形で、かつ第2樹脂基板の端部に開放する第2流路溝が形成され、前記第1流路溝と前記第2流路溝とが重なるように、前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とを接合して、円形の流路を形成することを特徴とする。
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微細構造体の製造方法
【課題】ゾルゲル法により硬化性物質を硬化して得られる、表面に微細構造が寸法精度よく形成された硬化物質を含む微細構造体を、生産性よく、大面積で製造する方法の提供。
【解決手段】ゾルゲル法により硬化性物質を硬化して得られる、表面に微細構造が形成された硬化物質を含む微細構造体の製造方法において、前記硬化性物質を含む溶液が、式Si(X1)4で表される4官能シラン、式RSi(X2)3で表される3官能シラン、含フッ素界面活性剤、有機溶剤、および水を含み、かつ、前記4官能シランに対する前記3官能シランのモル比が、0.03〜1である。X1、X2はそれぞれ独立に、炭素数1〜6のアルコキシ基、Rは炭素数が1〜10の置換または非置換の1価有機基(ただし、ケイ素原子と結合する原子は炭素原子である)。
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微細構造体及び微細構造体の製造方法
【課題】構造体自体の更なる小型化を可能とし、耐久性に優れた合成樹脂製の微細構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一方の面に開口する一又は複数の微細空間を有する微細構造体であって、上記一又は複数の微細空間を区画する隔壁の平均厚さ(T)が20μm以上350μm以下であり、基材としてシリコーン樹脂が用いられていることを特徴とする。上記一又は複数の微細空間の深さ(D)の隔壁の平均厚さ(T)に対するアスペクト比(D/T)としては2以上25以下が好ましい。また、当該微細構造体は、微細粒子を含有するとよい。
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