マイクロマシン | 材料

Fターム［3C081DA00］の内容

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Fターム［3C081DA00］に分類される特許

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マイクロポンプ

本発明は、マイクロシステム技術を用いて構成された容積型ポンプに関し、好ましくは、真空ポンプとして用いられる容積型ポンプに関する。
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