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Fターム[3C081DA06]の内容

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Fターム[3C081DA06]に分類される特許

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【課題】従来よりも微細なパターンを集積させた上、体積抵抗値を比較的低減させて微細金属構造体としての性能を向上させる微細金属構造体を提供する。
【解決手段】基材上に所定のパターンを有する金属膜が設けられた微細金属構造体であって、前記金属膜は、金属成分として平均一次粒子径1〜100nmの金属ナノ粒子を含むペーストから形成されるものであり、前記所定のパターンにおける金属膜の幅は10μm以下であり、前記金属膜の体積抵抗率が1.0×10−5Ω・cm以下である。 (もっと読む)


【課題】少なくとも1つのパケットに対して汚染なしに化学的または物理的処理を行うためのマイクロ流体デバイスおよび方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス1において、該デバイスが、軸Xを有するマイクロチャネル2、および下記の少なくとも1つを含むパケット操作手段を含むところのデバイス、発電ユニット9、および上記発電ユニット9に連結されかつ、上記マイクロチャネルの少なくとも一部分の内部に、上記マイクロチャネルの軸Xと実質的に共線的である電場を作るように構成された電極アッセンブリ3、ここで、上記発電ユニット9は、マイクロチャネルにおいて少なくとも1つのパケットを変形させるまたは少なくとも2つのパケットを互いの方に移動させるような振幅および周波数を有する電場を発生させることができる。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス1は、可動部21の第2の構造体3側の面上に設けられた第1の駆動電極28と、第2の構造体3上に第1の駆動電極28に対向するように設けられた第2の駆動電極33とを有し、第1の構造体2および第2の構造体3は、金属を主材料として構成された金属層4を介して接合され、かつ、金属層4を導体として第1の駆動電極28と第2の駆動電極33との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第2の基板3は、その厚さ方向での位置が異なる2つの面を可動部21側に有し、2つの面のうち、一方に駆動電極33が設けられ、他方に検出電極40が設けられており、検出電極40と可動部21との間の静電容量に基づいて、駆動電極33と可動部21の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるとともに、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜35と可動反射膜25との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】応力が過度に集中する鋭角な部分や直角な部分が形成されていない断面形状を有するマイクロ流路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ流路基板10は、内部にマイクロ流路11が設けられたマイクロ流路本体15を備え、マイクロ流路11の天井部とマイクロ流路11の内側壁が交わる第1の角部16、およびマイクロ流路11の底部と内側壁が交わる第2の角部17が曲面をなしていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第2の基板3は、その厚さ方向での位置が異なる2つの面を可動部21側に有し、2つの面のうち、一方に駆動電極33が設けられ、他方に検出電極40が設けられており、検出電極40と可動部21との間の静電容量に基づいて、駆動電極33と可動部21の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるとともに、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜35と可動反射膜25との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】素子に不具合が生じることが抑制された電子デバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】接合された2つの基板(10,50)に素子(20,60)と貫通電極(30)とが形成されて成る電子デバイスであって、素子(20,60)は、2つの基板(10,50)の少なくとも一方に形成され、貫通電極(30)は、2つの基板(10,50)の少なくとも一方に形成されており、貫通電極(30)は、一方の基板(10)における他方の基板(50)との接合面(10a)側から、その裏面(10b)まで除去されて成るトレンチ(31)と、該トレンチ(31)を構成する壁面の一部に形成された導電膜(35)と、を有する。 (もっと読む)


【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第2の基板3は、その厚さ方向での位置が異なる2つの面を可動部21側に有し、2つの面のうち、一方に駆動電極33が設けられ、他方に検出電極40が設けられており、検出電極40と可動部21との間の静電容量に基づいて、駆動電極33と可動部21の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるとともに、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜35と可動反射膜25との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】この発明は、段差などを設けて勘合部保護を行い、気密封止性能が得られるセンサー素子を提供するものである。
【解決手段】主面上にダイヤフラムが構成される第1の基材と、前記第1の基材の反ダイヤフラム面側に配設される第2の基材と、前記第1の基材の前記ダイヤフラム直下に設けられるキャビティと、前記キャビティを気密封止するため前記第1の基材と前記第2の基材との接合位置に設けられる勘合部と、前記勘合部に設けられ、前記第1の基材と前記第2の基材との勘合状態を保護する段差部とを備えたものである。 (もっと読む)


【課題】製造効率の低下を抑制した機能素子、機能素子の製造方法、電子機器を提供する。
【解決手段】主面16を有する基板12と、前記主面12上に配置された溝部(第1の溝部24、第2の溝部26)と、前記基板12上の前記溝部を跨いで配置された固定素子部(第1の固定電極指78、第2の固定電極指80)と、を有し、前記溝部の内部には、前記固定素子部に平面視で重複する位置に前記基板および前記固定素子部の少なくとも一方を用いて形成された凸部54、56が設けられ、前記凸部54、56は接合面(端面82)を有し、該接合面側に配線(第1の配線30、第2の配線36)が配置され、前記配線を介して前記基板12と前記固定素子部とが接続されたことを特徴とする機能素子。 (もっと読む)


【課題】樹脂と樹脂もしくは樹脂とガラス基板からなる2枚のワークを、接合の一様性を確保しつつ、アライメントずれや破損といった不具合が生じないように貼り合わせること。
【解決手段】第1のワークW1を反転ステージユニット30の反転ステージ31に載置し、第2のワークW2を加圧ステージユニット20のワークステージ21上に載置し、光照射ユニット10からUV光を照射する。次いで、反転ステージ31を180°反転させて、ワークステージ21上でワークW1,W2を重ね合わせ、ワークW1,W2を加圧して仮接合する。そして仮接合状態のワークを、搬送手段により加熱ステージに搬送し、加熱機構で加熱してワーク温度を所定温度まで昇温させて、接合が完了するまでをこの温度を維持する。 (もっと読む)


【課題】被対象流体が合流した後、マイクロリアクタの入口ポートを通じて合流室へ流入するため、混合滞留時間の制御性が不十分な面があった。また、コンパクトで製作が容易な構成が望まれる。
【解決手段】 混合および/または反応の対象となる複数種類の被対象流体を導入するための入口ポートと、入口ポートに連通し被対象流体を混合および/または反応させるためのマイクロ流路と、マイクロ流路に連通し混合および/または反応済みの被対象流体を取り出すための出口ポートとを備え、第1マイクロ流路と第2マイクロ流路とを交互に形成するように構成されたマイクロリアクタの前記入口ポートと前記流路形成体上部の合流室を接続することにより、滞留時間の制御性を向上させ、また、被対象流体の逆流防止を図った構成のマイクロリアクタを提供する。 (もっと読む)


【課題】形成した平面脂質二重膜を長時間にわたり保持できるマイクロ流体デバイス10を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス10は、送液口12と、送液口12から延設された主流路13と、主流路13の側面に設けられ、80nm以上120μm以下の面積の開口部に平面脂質二重膜が形成される複数の微少憩室14と、主流路13から延設された貯液槽17と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】接合ガラスの一方の面に溝を精度よく、かつ効率よく形成する。
【解決手段】接合ガラス60の一方の面50b側から接合材23を撮像することで、一方の面50b側から接合ガラス60に照射可能なレーザー光R2を接合材23に合焦させる第1焦点調整工程と、第1焦点調整工程の後、レーザー光R2の焦点を、接合ガラス60の厚さ方向に沿った接合ガラス60の一方の面50b側に向けて、照射がなされるガラス基板50の推定厚さ分、移動させる第2焦点調整工程と、第2焦点調整工程の後、レーザー光R2を照射して一方の面50bに被検出部Dを形成する被検出部形成工程と、一方の面50b側から被検出部Dを撮像することで、レーザー光R2を被検出部Dに合焦し直す第3焦点調整工程と、第3焦点調整工程の後、レーザー光R2を切断予定線に沿って照射して、一方の面50bに溝M’を形成する溝形成工程とを有する接合ガラスの切断方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】 透明媒体中の埋設路を利用する光学的測定を容易にする。
【解決手段】 本発明のある態様においては、少なくとも一部において外部と連通する埋設路110が内部に形成された透明媒体102と、埋設路110を囲む壁面の少なくとも一部に配置された透明被覆体120とを備えた光学デバイス100が提供される。ある典型的な透明被覆体120は、前駆体ゾルからゾルゲル法により形成された透明導電体であり、別の典型的な透明被覆体120は、透明媒体102より高い屈折率を有しているとともに、埋設路の内部に流体用通路130を残すように配置されている。 (もっと読む)


【課題】端面実装センサを提供すること。
【解決手段】回路基板上に側面実装するためのセンサデバイス・パッケージを作るセンサパッケージおよび方法。シリコンの機械層(25)中のセンサデバイスは、第1と第2のガラス層(24、26)の間にサンドイッチ状に挟まれてウェーハを作る。シリコンの機械層の予め定められた領域を露出させるために、第1のビア(30)が第1または第2の層に作られる。第2のビア(102)が、第1または第2の層に作られる。少なくとも1つの第2のビアは、第1のビアの深さ寸法よりも小さな深さ寸法を有する。機械層の露出領域と第2のビアの一部の間に金属トレース(70、72)が付けられる。ウェーハは、第2のビアが2つの部分に分けられるようにスライスされ、それによってセンサダイが作られる。次に、センサダイは、スライスされた第2のビアのところで回路基板に電気的かつ機械的に結合される。 (もっと読む)


【課題】簡便な方法でありながら狭間隔へもガラスが埋め込まれやすくなるガラス埋込シリコン基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス埋込シリコン基板の製造方法は、シリコン基板10に凹部11を形成する工程と、凹部11に粉末状、ペースト状または前駆体溶液であるガラス材料20aを充填する工程と、ガラス材料20aを加熱して軟化させる工程と、軟化させたガラス材料20aを焼結させる工程と、凹部11にガラス材料20aが充填されたシリコン基板10の表裏面においてガラス材料20aとシリコン基板10とを露出させる工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】部品を合わせて封止するための冷間圧接法、ジョイント構造、及び気密封止された封じ込め装置を提供する。
【解決手段】第1の金属を含む第1の接合面18を含む少なくとも1つの第1のジョイント構造16を有する第1の基材12を提供すること、第2の金属を含む第2の接合面22を含む少なくとも1つの第2のジョイント構造を有する第2の基材14を提供すること、及び前記接合面を、一以上の界面で、前記接合面の前記第1の金属と前記第2の金属の間に金属−金属結合を形成するのに有効な量だけ、局所的に変形させ、剪断するために、前記少なくとも1つの第1のジョイント構造と前記少なくとも1つの第2のジョイント構造とを合わせて圧縮することを含む。接合面のオーバラップ部分は、表面汚染物を置換し、接合面間の密接を入熱なしに促進するのに有効である。気密封止された装置は、薬物製剤、バイオセンサ又はMEMS装置を含むことができる。 (もっと読む)


【課題】製造効率の低下を抑制した機能素子、機能素子の製造方法、物理量センサー及び電子機器を提供する。
【解決手段】第1基板12と、前記第1基板12上に設けられ、且つ、素子部を有する第2基板50と、を備え、前記第1基板12と前記第2基板50との間には内部空間68が設けられ、前記第1基板12および前記第2基板50の互いに対向する面の少なくとも一方には、前記内部空間68と外部とを連通する排気溝24が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


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