【課題】変形量が大きく、長時間通電しても変形量が大きく変化しないアクチュエータの創出。
【解決手段】カーボンナノチューブ、イオン液体およびポリマーを含む高分子ゲルから構成される導電性薄膜であって、前記高分子ゲルの内部もしくは表面に油脂及び撥水剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、導電性薄膜。 （もっと読む）

【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】酸性基を有する導電性ポリマー(A)と、カーボンナノチューブ(B)と、バインダーポリマー(C)と、電解質(D)とを含んで構成される導電性薄膜。 （もっと読む）

【課題】変形応答特性の向上と発生力の向上を両立するアクチュエータを提供する。
【解決手段】互いに対向し合う一対の電極１３，１４と該一対の電極の間に配置される少なくとも電解質を含む中間層１５は、少なくともポリマー繊維層を有し、またポリマー繊維層を形成している複数のポリマー繊維２１は、三次元的に絡み合って交差しており、ポリマー繊維層は、ポリマー繊維とポリマー繊維が交差する交点２０において、融着している部分を有している。 （もっと読む）

【課題】構造体自体の更なる小型化を可能とし、耐久性に優れた合成樹脂製の微細構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一方の面に開口する一又は複数の微細空間を有する微細構造体であって、上記一又は複数の微細空間を区画する隔壁の平均厚さ（Ｔ）が２０μｍ以上３５０μｍ以下であり、基材としてシリコーン樹脂が用いられていることを特徴とする。上記一又は複数の微細空間の深さ（Ｄ）の隔壁の平均厚さ（Ｔ）に対するアスペクト比（Ｄ／Ｔ）としては２以上２５以下が好ましい。また、当該微細構造体は、微細粒子を含有するとよい。 （もっと読む）

本明細書では、可撓性を有する超疎水性のフィルムを説明する。様々な物品、例えば、任意の形状又は表面の輪郭を有する物品に超疎水性を与える方法も説明する。特定の用途の場合には、可撓性を有する超疎水性のフィルムは、フィルムを物品に付着させるのに有効な接着バッキング層を含む。本明細書で説明するフィルムの幾つかにより、フィルムを撓曲することで表面の濡れ性に対する選択的な制御が可能になり、例えば、フィルムを撓曲することにより、フィルムの濡れ性が上昇する、フィルムの濡れ性が低下する、又はフィルムの濡れ性が変化しない。本明細書で説明する可撓性を有する超疎水性フィルムは、凹形又は凸形の湾曲に変形するときに超疎水性を維持するフィルムも含む。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比を自由に設定しうる立体の微細構造物を提供する。さらに多様な材料を用いて形成しうる微細立体構造物を提供する。
【解決手段】微細液滴１０２をノズル１０１から吐出、飛翔させて該液滴を固化して得られる立体構造物１０５からなり、該立体構造物は、前記液滴を固化して得られる該立体構造物の頂点に前記ノズルの電界を集中させて、該立体構造物の頂点に、順次飛翔液滴が堆積しており、前記立体構造物の断面直径を該液滴の揮発性により制御して１５μｍ以下、かつアスペクト比２以上であることを特徴とする立体構造物。 （もっと読む）

【課題】薄型化を実現でき、安価に生産できるＭＥＭＳセンサパッケージ及びその製造方法を得る。
【解決手段】ワイヤボンディングによりＭＥＭＳセンサの電極パッドとベース基板のボンディングパッドを接続し、このワイヤボンディング部とＭＥＭＳセンサを封止樹脂により封止してなるＭＥＭＳセンサパッケージにおいて、上記ベース基板にその表裏面を貫通するスルーホールを設け、このスルーホール内に、封止樹脂で位置固定されるＭＥＭＳセンサを埋設した。 （もっと読む）

【課題】プラズモニック材料またはメタマテリアルとしての機能を発現する微小構造体と、これを基板上に担持した光制御素子、及びそれらの簡易で安価な製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に,硫黄化合物および酸化ケイ素(SiO₂)を含む混合材料からなる薄膜層を形成し(工程1a),薄膜層上にレーザ光を照射して微細孔を形成すると共に,該微細孔を囲う外壁を構成する領域を変質させ(1b),微細孔内に,Au、Ag,Cu,Al,Ti,Cr,Si,Geもしくは前記金属の合金から選ばれる１種の材料を充填し(1c),選択的なエッチング処理により微細孔を囲う外壁を残し,凸状構造体に形成(1d)して、ナノメートル乃至マイクロメートルサイズの微小構造体及び光制御素子を作製する。 （もっと読む）

【課題】隙間を介して対向した二つの材料層が貼着しない微小機械デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０と、該基板の表面に設置された第一材料層１２と、前記第一材料層との間に隙間があり、犠牲層１４に支持された第二材料層１６とを含む。前記第二材料層の前記第一材料層に相対する表面に少なくとも一つの凸部２２を設置する。凸部の材料は第一材料層及び第二材料層とは異なる。犠牲層１４を反応性イオンエッチングによってエッチングしその厚さを減少させる。さらに続けてウエットエッチングを行い、隙間を形成すると共に凸部を残すことで、凸部を形成する。 （もっと読む）

マイクロ流体装置（１０）は、ミリメートル〜ミリメートル未満の範囲における１つ以上の寸法を有する、１つまたはそれ以上の流体通路またはチャネルまたはチャンバ（２６、２８）を備え、ここで、前記装置（１０）は、ガラスフリットと充填剤（２０、２４、２２、３２）を含む固結混合物をさらに含み、前記充填剤は、ガラスフリットの熱伝導率よりも大きい熱伝導率を有する。
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本発明は、マイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）の壁（１５）の内側表面（１４）に第１の場所で位置する複数の線毛アクチュエータ要素（１０）を有するマイクロ流体システムを提供する。マイクロ流体システムは、更に、マイクロチャネル（１６）の中心線に関して第１の場所の実質的に反対の第２の場所でマイクロチャネル（１６）の壁（１５）に組み込まれた、少なくとも１つの導線（１７）によって形成される磁場発生器を有する。本発明は、また、このようなマイクロ流体システムを製造するための方法と、このようなマイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）を通じる流体流れを制御する方法とを提供する。 （もっと読む）

本発明では、内壁（17）を有する少なくとも一つの微小チャネル（18）を有する微小流体システムが提供される。微小流体システムは、少なくとも一つの微小チャネル（18）の内壁（17）に取り付けられた複数の繊毛アクチュエータ素子（10a-d）と、少なくとも一つの微小チャネル（18）内にある少なくとも一つの浮遊電流線（14a-d）とを有し、複数の繊毛アクチュエータ素子（10a-d）に磁場が印加され、これらの形状および／または配向が変化する。また、本発明では、そのような微小流体システムを製造する方法、およびそのような微小流体システムの微小チャネル（18）を通る流体流を制御する方法が提供される。
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本発明は、マイクロ流体システム、該マイクロ流体システムの製造方法、及び前記マイクロ流体システムのマイクロチャネルを介する流体流の制御又は操作方法を供する。前記マイクロチャネルの壁の内側にはアクチュエータ素子が供される。該アクチュエータ素子は複合構造を有する。これらのアクチュエータ素子は外部の刺激に応答して形状及び配向を変化させることができる。この形状及び配向変化を介して、マイクロチャネルを介する流体流を制御又は操作することが可能となる。
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本発明は、１以上の膜を備え、それぞれの膜は、金属、合金、ガラス、セラミック、ガラスセラミックから選択される材料Ｍから成る多層のマイクロコンポーネントの製造に関する。
インクＰの１以上の膜と、インクＭの１以上の膜を基板上に成膜し、それぞれの膜は、マイクロコンポーネントの構造に従って選択される所定のパターン内に成膜され、インクＰとインクＭのそれぞれの膜は、次の膜の成膜前に少なくとも部分的に固化され、それらの成膜後に、それらを材料Ｍの膜に変換するために部分的に固化されたインクＭの膜の完全固化が達成され、インクＰのそれぞれの膜の材料を完全に、または、部分的に除去することから、この方法は成る。インクＰは、無機充填剤を含む熱硬化性樹脂、または、無機充填剤と有機結合剤とを備える混合物から成る。インクＭは、材料Ｍの無機材料前駆体と有機結合剤とから成る。そのインクは、流し込み、または、押し出し成型によって成膜される。
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開示技術は、少なくとも１つの液体反応体と少なくとも１つの気体反応体との間の化学反応を少なくとも１つの触媒を含むプロセスマイクロチャネルの中で行うためのプロセスに関する。触媒は、固相触媒または固体上に固定化された均一系触媒を含む。一実施態様では、プロセスマイクロチャネルは、流体の流れを撹乱するための１つ以上の構造体を含むプロセス処理区域と、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体を含む反応区域とを含み、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体は、反応体が１つ以上の構造体を通って流れ、触媒と接触することができるようにする開口部を含む。本プロセスは、少なくとも１つの液体反応体と少なくとも１つの気体反応体とを含む反応体混合物を形成させる工程、反応体混合物をプロセス処理区域の中に流し、流体の流れを撹乱するための１つ以上の構造体と接触させ、液体反応体と気体反応体との混合を促進する工程、触媒と接触および／または担持するための１つ以上の構造体の開口部の中に反応体混合物を流して触媒と接触させる工程、および少なくとも１つの液体反応体を少なくとも１つの気体反応体と反応させて少なくとも１つの生成物を生成させる工程を含む。一実施態様では、本プロセスは、少なくとも１つのフィッシャー‐トロプシュ合成触媒を含むプロセスマイクロチャネルの中でフィッシャー‐トロプシュ合成を行うためのプロセスに関する。触媒は、固相触媒または固体上に固定化された均一系触媒を含む。本プロセスは、Ｈ_２とＣＯとを含む反応体をプロセスマイクロチャネルの中に流す工程であって、反応体の入り口空塔速度は少なくとも約０．１ｍ／ｓである工程、フィッシャー‐トロプシュ合成触媒を反応体と接触させる工程、および触媒の存在下で反応体を反応させて少なくとも１つの生成物を生成させる工程を含む。
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高感度の素子構造体（Ｂ５１，Ｂ５２）を有する表面実装型の電気的素子を提案する。この電気的素子は、２つの基板（５１，５２）の表側に構成される。これらの基板は表側で相互に対向して接続されており、その際には、前記素子構造体（Ｂ５１，Ｂ５２）に対して空洞（ＡＮ）が形成される。すべての素子構造体（Ｂ５１，Ｂ５２）に対する電気的な外部端子（ＡＡ）は両基板のうち１つの表面上に設けられており、とりわけ、上方の基板の裏面または下方の基板の表側に設けられている。両基板間に、適切に構造化された中間層（ＺＳ）が配置されており、該中間層はスペーサとしても、空洞ケーシングを封止するためにも使用される。
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本発明では、微小流体システム、そのような微小流体システムを製作する方法、およびそのような微小流体システムの微小チャネルを通る流体の流れを制御しまたは操作する方法が提供される。微小チャネルの壁の内側には、アクチュエータ素子が設置され、この素子は、外部刺激に応答して、形状および配向を変化させることができる。この形状および配向の変化を通じて、微小チャネルを通る流体の流れが制御され、操作される。

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【課題】比較的簡単且つ安価で、対象とした微細構造又は微細材料の改質に適した方法を提供する。
【解決手段】対象物の材料上及び／又は材料内の微細構造の表面改質及び／又は体積修正の方法が開示される。始めに微細構造を材料上及び／又は材料内に生成し、そして材料の微細構造の相対構造寸法を減少させるべく、その次に材料の体積を収縮する。この発明の方法は、比較的簡単で低コストな態様で非常に細かい微細構造を製造するのに用いられる。 （もっと読む）