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【課題】少なくとも1つが単結晶半導体からなる数層によって形成される活性部を備える構造を形成する、SOI基板を用いるよりも低コストであり、より速い方法を提供すること。
【解決手段】第1の単結晶シリコン基板から少なくとも2つの層を備える活性部を備える構造を製造する方法であって、a)第1の基板に少なくとも1つの多孔質シリコン領域を形成する段階、b)第1の基板の表面全体及び多孔質シリコン領域の表面に単結晶シリコン層をエピタキシャル成長成膜させる段階、c)多孔質シリコン領域にエピタキシャル成長された単結晶層を加工して第1の懸架領域を形成する段階、d)多孔質シリコンを除去または酸化する段階、g)シリコンに対して選択的な犠牲層を成膜する段階、f)第1の基板を加工する段階、及びg)犠牲層を除去することによって懸架領域をリリースする段階を備える方法である。 (もっと読む)


【課題】小型化および低コスト化を図るとともに、コンクリートの品質劣化を防止しつつ、測定対象物の状態を測定し、その測定結果に基づく情報を鉄筋の腐食前の計画的または予防的な保全に活用することができるセンサー装置およびセンサー装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー装置1は、不測定対象部位の環境変化に伴って表面に不動態膜を形成するか、または、表面に存在した不動態膜を消失させる第1の金属材料で構成された第1の電極3と、第1の電極3に対して離間して設けられ、第1の金属材料とは異なる第2の金属材料で構成された第2の電極4と、基板21と、基板21の一方の面側に設けられ、第1の電極3と第2の電極4との電位差を測定する機能を有する集積回路50とを含む機能素子5とを備え、第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、集積回路50上に設けられている。 (もっと読む)


【課題】振動の減衰時間を減少させ、機械振動子の動作を高速化する。
【解決手段】微小機械振動子は、基板(104)上に形成された2つの支持部(113,114)と、2つの異なる振動モードを有する両持ち梁部(108)と、両持ち梁部を第1の振動モードで励振する励振手段となる交流電源(411)と、両持ち梁部を第1の振動モードおよび第2の振動モードが混合した状態で振動させる混合手段となる交流電源(413)と、両持ち梁部を第1の振動モードで励振する状態から、第1の振動モードおよび第2の振動モードが混合した状態に切り換える切換手段となるスイッチ(412,414)とを備える。 (もっと読む)


【課題】チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インクベースの圧電センサを製作する方法を提供する。
【解決手段】チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インク106を製剤するステップを含む。さらに、噴霧堆積プロセス126および噴霧堆積装置146を有するインク堆積プロセス122によって、PZTナノ粒子インク156を基板101上に堆積して、PZTナノ粒子インクベースの圧電センサ110を形成するステップを含む。 (もっと読む)


【課題】複数のセンサー素子間での特性バラツキを抑制し、所望の歩留まりが得られる超音波アレイセンサーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波アレイセンサーにおいて、センサー素子2は、圧電体層8の平面パターンが下部電極5の平面パターンよりも外側にはみ出しておらず、上部電極3の平面パターンが圧電体層8の平面パターンよりも外側にはみ出していない。下部電極引き回し配線6は、コンタクトホール13を介して下部電極5と電気的に接続され、コンタクトホール13の箇所を除いて圧電体層8の一面上に配置されている。上部電極引き回し配線4は、下部電極引き回し配線6の延在方向と交差する方向に延在して上部電極3と一体に形成され、圧電体層8の一面上に配置されている。 (もっと読む)


【課題】センサデバイスと基板との間に発生する寄生容量を従来よりも抑制することができるとともに、センサデバイスと基板との電気的な結合を切り離すことによるセンサデバイスと基板との間の電気絶縁性を従来よりも向上することのできる三次元構造体を提供する。
【解決手段】三次元構造体100は、第1の基板1と、第1の基板1の一方の面に形成された絶縁体からなる多孔層2と、多孔層2において第1の基板1が形成されている側の面と反対側の面に形成された第2の基板3とを備え、多孔層2における各孔2aの積層方向に対する断面形状が、正六角形状の孔2aを複数個並べたハニカム形状を有し、多孔層2の厚さは、1μmよりも大きくなっている。 (もっと読む)


【課題】中間部材を設けずに対向する基板間を容易に接続する光フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に形成された第1反射膜54と、可動基板52に設けられ、第1反射膜54とギャップを介して対向する第2反射膜55と、固定基板51に設けられた第1駆動電極561と、可動基板52に設けられ、第1駆動電極561と対向する第2駆動電極562と、固定基板51に設けられた第1接続電極571と、可動基板52に設けられ、第1接続電極571の一部と対向する位置に可動基板52の厚み方向の寸法が小さく形成された薄肉部582と、第2駆動電極562に接続され、第1接続電極571に対向して薄肉部に形成された第2接続電極572と、を備え、第1接続電極571と薄肉部582に形成された第2接続電極572とが接続されている。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定反射膜56を有する固定基板51と、可動反射膜57を有する可動基板52と、固定電極541および可動駆動電極542を備えた静電アクチュエーター54と、固定検出電極551および可動検出電極552を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極551は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極553Aおよび第二固定部分検出電極553Bを備え、可動検出電極552は、第一固定部分検出電極553Aに対向する第一対向検出領域554Aと、第二固定部分検出電極553Bに対向する第二対向検出領域554Bと、を具備する。 (もっと読む)


【課題】センサの小型化を妨げることなくセンサのS/N比を向上させることのできる音響センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板42にバックチャンバ45を上下に開口する。当該基板42の上面には、バックチャンバ45を覆うようにして、可動電極板となる薄膜状のダイアフラム43を形成する。基板42の上面には、ダイアフラム43を覆うようにしてバックプレート48を固定し、バックプレート48の下面に固定電極板49を設ける。さらに、スリット47によってダイアフラム43を複数領域に分割し、複数に分割された各ダイアフラム43a、43bと固定電極板49によって複数個の並列に接続されたキャパシタ(音響センシング部60a、60b)を構成している。 (もっと読む)


【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン5(波長可変干渉フィルター)は、固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜56と、可動基板52に設けられ、固定反射膜56とギャップを介して対向する可動反射膜57と、固定基板51に設けられた固定電極541と、可動基板52に設けられ、固定電極541と対向する可動電極542と、を備え、可動電極542の固定電極541側の面には可動絶縁膜544が積層され、可動電極542は圧縮応力を有し、可動絶縁膜544は引張応力を有して構成された。 (もっと読む)


【課題】環境性および帯電除去性に優れた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供すること。
【解決手段】エタロン5は、可動基板52と、可動基板52に対向する固定基板51と、可動基板52の固定基板51に対向する面に設けられた可動反射膜57と、固定基板51の可動基板52に対向する面に設けられ、可動反射膜57とギャップを介して対向する固定反射膜56と、可動反射膜57の固定基板51に対向する面と端面とを被覆するとともに、エタロン5の外周部に延びる第一引出部を有する可動保護膜59と、固定反射膜56の可動基板52に対向する面と端面とを被覆するとともに、エタロン5の外周部に延びる第二引出部を有する固定保護膜58と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】振動電極板が対向電極板に固着して振動電極板の振動が妨げられる現象を効果的に軽減することのできる音響センサを提供する。
【解決手段】音圧に感応する振動電極板24が対向電極板25に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板25には、振動を通過させるための音響孔31が開口し、また振動電極板24と対向する面には複数の突起36が突設している。振動電極板24の柔軟性の高い領域に対向する対向電極板25の対向領域における隣接する突起36どうしの間隔は、振動電極板24の柔軟性の低い領域に対向する対向電極板25の対向領域における隣接する突起36どうしの間隔よりも小さい。 (もっと読む)


【課題】トランスデューサーの製造コストを低減する。
【解決手段】ナノシートトランスデューサ(1)は、溝(100a)と前記溝によって互いに隔てられた電極支持部(101)と厚さ1μm未満のシート状の可撓電極(104)とが形成されたシリコンからなる基板(100)と、前記電極支持部上に形成された導電膜からなる固定電極(103)と、前記固定電極と前記電極支持部との間に形成された絶縁層(102)と、を備え、前記可撓電極は前記基板の主面に対して垂直である。 (もっと読む)


【課題】拡散のプロセスやウェットエッチング液の性質、状態によらずに振動子を作製するための製造方法を提供する。
【解決手段】基板表面に高濃度不純物層を形成する工程と、高濃度不純物層上にマスクを形成する工程と、マスクを振動子の形状にパターニングする工程と、ドライエッチングによりパターニングした振動子の下方を残して少なくとも基板に達するまで高濃度不純物層を除去する工程と、ウエットエッチングにより高濃度不純物層の下方を除去して梁状の振動子を形成する工程と、高濃度不純物層上に形成したマスクを除去する工程と、
を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス10を基板2の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】固体撮像装置において、MEMS素子を固体撮像装置と同一のチップ上に設けて装置の実装面積を縮小して装置の小型化を実現する。
【解決手段】画素ごとに区分されたフォトダイオードがマトリクス状に配置された受光面を有する固体撮像素子部(R5)を有するデバイス基板10上に、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)素子(16a,16b,17a,17b,DF)を有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】基台が有する凹部の表面を被覆することのできるセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサの例によるフローセンサは、一方の面にキャビティ25を有する基台20と、基台20の一方の面の上に設けられるセンサ薄膜30と、を備える。センサ薄膜30は、キャビティ25に通ずるスリット36を有している。キャビティ25の断面形状は、例えば舟形凹状であり、キャビティ25の表面Aは、原子層堆積法により形成された膜Xで被覆されている。 (もっと読む)


【課題】ダイアフラムのスティックを防止することができ、しかも、センサ落下時の衝撃によってダイアフラムが破損しにくい音響センサを提供する。
【解決手段】音圧に感応するダイアフラム33が、プレート部39と固定電極膜40からなるバックプレート34に対向し、静電容量型の音響センサ31を構成する。バックプレート34には、振動を通過させるためのアコースティックホール38が開口し、またダイアフラム33と対向する面には複数のストッパ42a、42bが突設している。バックプレート34の外周エリアに設けたストッパ42bは直径が小さく、内部エリアに設けたストッパ42aは直径が大きくなっている。 (もっと読む)


【課題】液体と気体のどちらにも使用することができ、小型化に適し、電子回路基板などに表面実装することが可能であり、信頼性が高い流量センサーを提供する。
【解決手段】表面実装型のパッケージ12に流量検出手段を内蔵した流量センサー10であって、パッケージ12内に形成され、流体をパッケージ12の下面に設けた流入口30から流量検出手段を通してパッケージ12の下面に設けた流出口32に導く流体流路70と、パッケージ12の外面に設けられ流量検出手段の電気出力が導かれる外部端子40と、を備える。 (もっと読む)


【課題】分光可能な波長域が広く、かつ、分光された光の透過率および分解能が大きい波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロンは、互いに対向する一対のミラー56,57と、これらのミラー間の間隔であるミラー間ギャップを可変する静電アクチュエーターと、を備える。そして、一対のミラー56,57は、それぞれ、複数の誘電体膜551と、これらの誘電体膜551の間に設けられ、互いに対向する誘電体膜551間の距離を所定の寸法に保持するとともに、互いに対向する誘電体膜551間に空気層553を形成するポスト部材552と、を備える。 (もっと読む)


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