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【課題】従来よりも大幅に少ない原材料及び製造エネルギーを用いて、かつ、従来よりも短工程で製造することが可能な機能性デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理することにより金属酸化物又は金属となる液体材料を準備する第1工程と、基材上に液体材料を塗布することにより金属酸化物又は金属の前駆体組成物からなる前駆体組成物層を形成する第2工程と、前駆体組成物層に対して凹凸型を用いて型押し加工を施すことにより前駆体組成物層に残膜を含む型押し構造を形成する第3工程と、型押し構造が形成された前駆体組成物層に対して大気圧プラズマ又は減圧プラズマによるアッシング処理を施すことにより残膜を処理する第4工程と、前駆体組成物層を熱処理することにより、前駆体組成物層から金属酸化物又は金属からなる型押し構造体を形成する第5工程とをこの順序で含む型押し構造体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】一目では判別が困難である識別情報が強靭な形態で光学機能面へ付与された光学部材を提供する。
【解決手段】光を透過又は反射する機能を有する複数の斜面14,15を備える光学ユニット12が周期的に多数配列された光学部材10である。複数の斜面14,15のそれぞれには、面積が4μm以上0.04mm以下、深さまたは高さが1μm以上5μm以下の複数個の微小構造体1が配設されている。この微小構造体1が付与された斜面14,15に向けて光を照射して反射した反射光は、少なくとも1方向だけから光を当てて反射したそれぞれの反射光からだけでは識別用の情報としては機能せず、少なくとも2方向以上から光を照射したときに反射する各方向の反射光を読み取って演算処理することにより真贋を特定できる。 (もっと読む)


【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁22−1〜22−4には、センサ部25−1〜25−4が設けられている。これにより、センサ部25−1〜25−4の抵抗値の変化に基づいて可動梁22−1〜22−4の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子1が故障しているか否かを特定することもできる。 (もっと読む)


【課題】精度の良い分光スペクトルを迅速に測定可能な分光測定装置、及び分光測定装置の制御方法を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜、可動反射膜、及び電圧印加により反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、光の光強度を検出するディテクター11と、測定対象光の分光スペクトルを測定する制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、ピーク対応ギャップ量を検出するピーク検出部23と、静電アクチュエーターに印加する電圧を設定するフィルター駆動部22と、分光スペクトルを測定する分光測定部24とを備える。フィルター駆動部22は、ギャップ量を、定間隔ギャップ量及びピーク対応ギャップ量に段階的に変化させ、分光測定部24は、各定間隔ギャップ量、ピーク対応ギャップ量に対する光強度を取得する。 (もっと読む)


【課題】 一般的なX線タルボ干渉法を行う撮像装置に用いられる従来の遮蔽格子の透過部よりもX線の吸収量の小さい透過部を備える遮蔽格子として用いることができる構造体と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】 構造体の製造方法は、基板の第1の面10に複数の凹部2を形成する工程と、複数の凹部に金属を充填して複数の金属構造体3を形成する工程と、複数の金属構造体が形成された領域の外周部又は、第1の面と対向する基板の第2の面における外周部に対向する部分の少なくともいずれか一方にマスク層4(4a,4b)を形成する工程と、マスク層4をマスクとして基板をエッチングする工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイを動作させる方法を提供する。
【解決手段】ディスプレイを動作させる方法であって、データローディング段階中に画素のアレイにおける画素の複数の行内の画素に画像データをロードするステップと、更新段階中に複数の行内の画素を作動させるステップと、ランプ照明段階中に少なくとも1つのランプを照明させて作動された画素を照明し、ディスプレイ上に画像を形成するステップとを含み、更新段階が、ローディング段階および照明段階の少なくとも一方と時間が部分的に重畳する方法。 (もっと読む)


【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるMEMSシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。MEMSシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第1バネ、第1バネに接続された第1アンカー、第2バネ、及び第2バネに接続された第2アンカーを有し、シャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 (もっと読む)


【課題】機械式のシャッタが配置されたセルを満たすオイルを注入するときにシャッタに与えるダメージを減らすことを目的とする。
【解決手段】表示装置は、切れ目46を有して空間を囲むシール材44と、シール材44の切れ目46を塞いで封止空間を形成するエンドシール50と、封止空間に満たされたオイル52と、一対の光透過性基板10,12間の間隔を保持するスペーサ54と、シャッタ14と、シャッタ14を機械的に駆動するための、オイル52内に配置された駆動部38と、一対の光透過性基板10,12の対向面の少なくとも一方上に形成された壁部60と、を有する。壁部60は、シール材44の切れ目46と表示領域48との最短経路を遮る位置に配置された部分を有し、スペーサ54、シャッタ14及び駆動部38を構成する材料から形成されている。 (もっと読む)


【課題】MEMSによるシャッタ組立体Mにおける歪みの発生を抑えた表示装置を提供する。
【解決手段】板状に形成されるシャッタ板SHと、アクチュエータ部ACと、を有する複数の画素を備えた表示装置であって、アクチュエータ部ACは、シャッタ板SHに接続される梁部Bと、電圧が印加されることにより、梁部Bを湾曲させてシャッタ板SHを駆動する駆動電極Eと、駆動電極Eを支持し、基板B1上に固定される第1支持部S1と、梁部Bを支持し、基板上に固定される第2支持部と、を有し、第1支持部S1および第2支持部の少なくとも一方は、基板から離れた平面部分Spと、平面部分Spから窪み、基板に接続する凹部Scと、を有し、凹部Scは、平面部分からほぼ垂直に傾斜して形成される垂直形成部分Svと、垂直形成部分Svから開始して、基板B1側に進むに従って傾斜が緩くなるように形成される部分Sgを有する、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、機械式のシャッタが配置されたパネルを満たすオイルに気泡が発生することを防止することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板10,12と、一対の光透過性基板10,12を貼り合わせるシール材38と、封止空間に充填されたオイル42と、光透過性基板10に形成され且つ封止空間に配置されたシャッタ14とを有し、シール材38の熱膨張係数αはオイル42の熱膨張係数βよりも大きい、又は0.8β≦α≦1.2βの関係を有する。 (もっと読む)


【課題】基板面に対して大きく傾斜した(或いは垂直に近い)半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品12を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域11をエッチングして凹部を形成する第1のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜14を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜14を覆う窒化シリコン膜16を形成する窒化膜形成工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】複数の反射要素のアレイを有する空間光変調器を用いるときに、反射光の強度を大きくする。
【解決手段】空間光変調器28は、それぞれ光が照射される複数のミラー要素30のアレイを有し、ミラー要素30は、回転軸RCの回りに回転可能に支持されるとともに、ミラー要素30は、回転軸RCから第1の距離a1にあり回転軸RCに平行な方向に幅b1を持つ部分31Aaと、回転軸RCから第1の距離a1よりも離れた第2の距離a2にあり回転軸RCに平行な方向にその幅b1よりも広い幅b2を持つ部分31Abとを含む第1反射部31Aを有する。 (もっと読む)


【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域11をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品12を有する第1の板状部材10と、光透過性光学部品12を透過した光を反射する為の光反射性光学部品(鏡21〜24)を有する第2の板状部材20とを備える。第1及び第2の板状部材10,20は互いに接合されており、光透過性光学部品12を透過する光の光路が、第1の板状部材10の部品形成面及び第2の板状部材20の主面に沿っている。 (もっと読む)


【課題】製造プロセスを増やすことなく、オイルに対する耐性の高いバンプを形成することを目的とする。
【解決手段】第3上面68を囲むように樹脂層50を貫通する切れ目76が形成されている。膜52は、切れ目76の内側では樹脂層50の底面を除く全体を覆い、切れ目76の外側では樹脂層50の少なくとも一部が露出するように形成する。切れ目76の内側では膜52に全体的に覆われた樹脂層50を残し、切れ目76の外側では膜52からの露出面から連続する樹脂層50の全体を除去する。切れ目76の内側に樹脂層50及び膜52からバンプ48を形成し、切れ目76の外側に第1基板10から浮いた状態で膜52からシャッタ14と駆動部40の少なくとも一部とを形成する。 (もっと読む)


【課題】画素内の配線を減らし、量産上の歩留りを上げると共に、低コスト化を図ることのできる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、マトリクス状に配列された画素において、画素毎に設けられ、透明基板(36)上で透明基板に平行に移動し、光の透過及び遮断を行う機械的シャッタ部(26)と、透明基板上で機械的シャッタ部を挟むように配置される一対の制御電極(25,27)と、この一対の制御電極に、予め定められたタイミングで、制御電極のための高電圧及び低電圧をそれぞれに交互に印加する制御電極駆動回路と、画素毎に設けられ、画素毎の階調値に応じたタイミングで、信号線を介して設定される高電圧及び低電圧のいずれかを印加することにより、機械的シャッタ部の動作を静電的に制御するシャッタ制御回路を備える。 (もっと読む)


【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 (もっと読む)


【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、2つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 (もっと読む)


【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、2つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 (もっと読む)


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