【課題】液体の前進および停止を任意のタイミングで制御することが可能な、コンパクトな流路チップ１００を提供する。
【解決手段】流路チップ１００は、第１開放路１１２、第２開放路１１３、第１導入路１０２、第１合流路１０３、及び、第１交差位置と第２交差位置との間、あるいは、第２交差位置に配設され、第１導入路１０２および第１合流路１０３から流路１１４へ導入される液体の流れを制御するバルブ１４１を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１及び可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、複数の固定部分電極５４３を備え、可動電極５４２は、複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３及び可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、同一面積を有し、重心点が可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｐ上で等角度間隔に配置され、電圧印加用部分電極間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】高性能なマイクロ流体装置および外付けの圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】流体ポンピング装置100、200は、マイクロ流体装置130、230に外付けに連結された圧電アクチュエータ110を含んでいる。圧電アクチュエータは、バイアス電圧の印加に応じた長軸に沿った軸方向変位を有している。圧電アクチュエータの軸方向変位は、マイクロ流体装置の内部のバルブ245および内部のポンプチャンバ140の一方を作動させる。 （もっと読む）

【課題】 透明媒体中の埋設路を利用する光学的測定を容易にする。
【解決手段】 本発明のある態様においては、少なくとも一部において外部と連通する埋設路１１０が内部に形成された透明媒体１０２と、埋設路１１０を囲む壁面の少なくとも一部に配置された透明被覆体１２０とを備えた光学デバイス１００が提供される。ある典型的な透明被覆体１２０は、前駆体ゾルからゾルゲル法により形成された透明導電体であり、別の典型的な透明被覆体１２０は、透明媒体１０２より高い屈折率を有しているとともに、埋設路の内部に流体用通路１３０を残すように配置されている。 （もっと読む）

【課題】入射角が大きな光に対する感度を向上させる。
【解決手段】マイクロ構造の製造方法は、シリコン基板５０の被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なうステップと被エッチング部の少なくとも側面に保護膜を形成するステップとを交互に実行する第１エッチング工程と、第１エッチング工程の実行後に、被エッチング部に等方性プラズマエッチングを行なう第２エッチング工程とを含み、シリコン基板５０の内部に向かい弧状に膨出する複数の凹部５０ｃから成るマイクロ構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】反応や分析のステップ数や量を制限しない、且つ、製造が容易であるマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、（イ）第一の支持体に少なくとも一つの中空フィラメントを任意の形状に固定する工程、（ロ）中空フィラメント内の全部または一部にモノリス前駆体を充填する工程、（ハ）モノリス前駆体の全部または一部を反応させ、モノリス構造体を作製する工程、を備えることを特徴としたマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】光照射による溶着によって基板同士を貼り合わせるマイクロチップの製造方法において、流体回路の変形を防止または低減しつつ、基板間の接着性に優れたマイクロチップを生産性良く製造できる方法、および、流体回路の変形が防止または低減されており、基板間の接着性に優れたマイクロチップを提供する。
【解決手段】一方の面に凹部を有する光透過性の第１の基板における凹部形成面上に、光吸収性の第２の基板を配置する工程と、第１の基板側から光を照射することにより、第１の基板と第２の基板とを溶着させる工程とを備えるマイクロチップの製造方法であって、上記凹部に向けて照射される光の少なくとも一部が、第１の基板と第２の基板との貼り合わせ部に集光されるマイクロチップの製造方法および該製造方法により得られるマイクロチップである。 （もっと読む）

【課題】 微細化を図ることと基板に代表される基材の接合強度を十分に確保可能なマイクロチップを提供すること。
【解決手段】 マイクロチップ１０１は、分離流路３を形成するための溝が形成されており、かつ互いに貼り合わされた２つの基板１を備えており、基板１には、接合面１０の端縁に隣接し、かつこの端縁に対して接合面１０の法線方向において内方に凹んだ凹部１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】複数の段差を備えた微細な３次元構造パターンの形成に好適なパターン形成方法及びパターン形成体を提供する。
【解決手段】パターン形成方法は、基板上に第１層目のハードマスク層１２、エッチストッパ層１３、第２層目のハードマスク層２２を形成し、該ハードマスク層及びエッチストッパ層をパターニングし、該ハードマスク層をエッチングマスクとして基板１１に異方性エッチングを行う。複数の段差を備えた微細な３次元構造パターン形成方法及びパターン形成体。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの出力を向上し得るガス発生剤及び高い出力を有するマイクロポンプを提供する。
【解決手段】ガス発生剤は、アジドメチル基および水酸基を有する脂肪族ポリエーテルと、バインダーとを含有する。 （もっと読む）

【課題】基板と蓋との密着性が良好で、かつ外観不良のないマイクロチップを提供する。
【解決手段】表面に流路を有するマイクロチップ基板及び／又は当該基板と密着する平面を有する蓋に有機溶剤を塗布した後、前記基板と前記蓋とを重ね合わせて、両者を接合する方法であって、前記基板及び前記蓋が、いずれも極性基を有しないノルボルネン系重合体からなるものであり、前記有機溶剤として溶解パラメータ（ＳＰ値）が８〜９であるエーテル化合物を用いる接合方法により、マイクロチップを製造する。 （もっと読む）

【課題】周期構造に対応する周期的パターンを有するレジストを形成する必要がなく、周期的パターン及び周期構造を基板表面に直接形成できる、マイクロ流体チップの製造方法、マイクロ流体チップ、及び表面プラズモン共鳴光の発生装置の提供。
【解決手段】基板表面の凹部を設ける領域に、ピコ秒オーダー以下のパルス時間幅を有するレーザー光Ｌを照射して、該レーザー光Ｌの集光域Ｆに、自己組織的に形成される周期的パターン１４を有する改質部１１を形成する工程Ａと、エッチング処理を行い、該改質部１１の少なくとも一部を除去して前記凹部を設けると共に、周期的パターン１４に基づく表面プロファイルを有する、一方向に沿った複数の溝部を含む周期構造を、該凹部の底面に、形成する工程Ｂと、前記底面の周期構造を覆う金属層を形成する工程Ｃと、を含むことを特徴とするマイクロ流体チップの製造方法。 （もっと読む）

【課題】比較的安価なマイクロ流体デバイスおよびマイクロアレイを加工する方法として、非極性固体相変化インク、これらのインクを製造する方法、バイオメディカル用途でこれらのインクを使用する方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイスは、第１の基板５と、この第１の基板表面に堆積した相変化インクのパターン４とを含む。この相変化インクは、非極性ポリマー材料と、場合により、着色剤とを含み、相変化インクは、室温で固体であるが、約６０〜約１５０℃の吐出温度では液体であり、前記堆積した相変化インクに対する水接触角が、約９０°〜約１７５°である。 （もっと読む）

【課題】一定量の液体を安定して吐出することができるマイクロ流路デバイスを提供すること。
【解決手段】マイクロ流路デバイス１は、第１の液体Ｌ１が通過する第１の流路と、第１の流路と異なる位置に配置され、第２の液体Ｌ２が通過する第２の流路と、第１の流路を通過した第１の液体Ｌ１と第２の流路を通過した第２の液体Ｌ２とが合流して、混合される第３の流路とを有するデバイス本体２と、デバイス本体２とは別体の小片で構成されており、デバイス本体２に対し第３の流路の下流側に装着され、その装着状態で第３の流路と連通する微小流路４２を有するノズル４とを備えている。微小流路４２は、小片の先端面４３に開口して形成され、第３の流路を通過した第１の液体Ｌ１と第２の液体Ｌ２との混合液Ｌ３が吐出される吐出口４２１を有し、吐出口４２１の正面視での形状が円形をなす。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、樹脂材料により製造され、表面にマイクロチャンネルを有するマイクロチップ基板とフィルムの接合方法において、熱プレスや超音波溶着による熱圧着、または接着剤を用いる接合では、接合できない、もしくは接合力の弱い材料に対して、より効果的にマイクロチップ基板とフィルムを接合する方法を提供するものである。
【解決手段】
樹脂部材を貼り合わせて作製するマイクロ流路チップであって、二つ以上の樹脂部材の表面を表面酸化処理により親水化処理し処理面を向かい合わせて熱圧着にて接合させることによりマイクロ流路チップを得た。 （もっと読む）

【課題】複雑な流路パターンを有し、小型化、集積化したマイクロチップにおいて、未接合を防止する脱気孔を配置制限やスペース制限を受けることなく簡易に配置することができ、また流路パターンに適合するように簡易に配置することができるマイクロチップの製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー用基材２２をフィルム状とすることにより、相対的に厚いカバー部材を用いる場合に比べて加工性がよく、直径が小さい脱気孔２３を容易に形成することができる。また、脱気孔２３を成形以外の方法で形成することにより、脱気孔２３の形成が比較的容易になる。さらに、フィルム状のカバー用基材２２の厚み方向に、接合の際に閉塞可能な０．３ｍｍ以下の直径を持つ脱気孔２３を設けることにより、配置制限やスペース制限を受けることなく簡易に所望の位置に脱気孔２３を配置することができる。これにより、接合の際の位置合わせを容易にしつつ、効率的に未接合を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時又実使用時にはオゾンまたは紫外線から一対の反射膜を保護して、光フィルター特性を劣化させることがない光フィルター及びその製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、対向する第１，第２基板２０，３０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２反射膜４０，５０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２接合膜１００，１１０と、第１，第２反射膜の表面に形成された第１，第２バリア膜１２０，１３０とを有する。第１バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第１反射膜よりも低く、第２バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第２反射膜よりも低い。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時にはオゾンまたは紫外線から反射膜を保護して、反射膜が劣化することを抑制することができる光フィルターの製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０の製造方法は、第１反射膜４０が形成された第１基板２０を準備し、第２反射膜５０が形成された第２基板３０を準備し、第１基板の第１接合領域に第１接合膜１００を形成し、第２基板の第２接合領域に第２接合膜１１０を形成し、第１マスク部材を用いて第１接合膜に、オゾンまたは紫外線を照射し、第２マスク部材を用いて第２接合膜にオゾンまたは紫外線を照射し、第１接合膜と第２接合膜とを接合して第１基板と第２基板とを貼り合わせることを含む。 （もっと読む）