【課題】超音波振動子を液体媒体に直接接触させず、マイクロ流路中で、微小物体の捕捉及びその移動を行うとともに、微小物体が分散した液体媒体中の微小物体の流れの方向を簡便な構造で制御することが可能な超音波非接触マイクロマニピュレーション技術を提供する。
【解決手段】少なくとも一対の壁部と底部により構成されたマイクロ流路が形成され、マイクロ流路が直線流路と途中で二股に分岐した分岐流路からなる固体セルの一側面に、直線流路に平行となるように超音波振動子を取り付け、マイクロ流路に、微小物体が分散した液体媒質を流し、超音波振動子からの超音波を流路より超音波振動子側の固体セル部分からマイクロ流路内に進行波として伝搬させ、マイクロ流路の超音波振動子側壁部に対向する壁部で超音波を反射させて反射波とし、進行波と反射波を干渉させて定在波音場を生成し、微小物体を音圧の節に捕捉することにより、媒体の流れの方向を制御する。 （もっと読む）

【課題】マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関し、操作性及び簡易性を向上する。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動マイクロツールの動きを正確に制御することができる磁気駆動マイクロツールの駆動機構およびマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】電磁石から成る磁力発生体２１を有している。磁力発生体２１は、電磁石に交流電流を流して周期的に極性を反転し、磁性を有する磁気駆動マイクロツール１２に磁力を作用させるよう構成されている。電磁石は、芯の少なくとも一方の端部に、コイルの端部から突出して、芯の長さ方向に沿って筒状または柱状に形成された突出部２１ａを有していてもよい。また、磁力発生体２１と磁気駆動マイクロツール１２との間に配置された、透磁率の大きい材質から成る薄膜２２を有していてもよい。 （もっと読む）

【課題】穏やかな条件で確実に粒子を操作する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る方法は、各々が電気分解用の陽極及び陰極のうち少なくとも一方の電極を有する複数のマイクロチャンバーに操作の対象とする粒子を捕捉し（Ｓ１）、前記複数のマイクロチャンバーのうち一部のマイクロチャンバーの前記電極に選択的に電圧を印加することにより水を電気分解して泡を発生させ（Ｓ２）、前記泡の発生に伴い作動するアクチュエーターによって、前記一部のマイクロチャンバーから選択的に前記粒子を押し出す（Ｓ３）方法である。 （もっと読む）

【構成】本発明は、周囲環境および真空環境内でμｍサイズの物体およびｎｍサイズの物体を掴みこれを能動的にリリースできる素子を形成する設計および製造方法に関する。掴む動作は一つかそれ以上のマイクロアクチュエーターによって行い、迅速かつ正確な上に、再現性の高い能動的なリリースは、密着している物体に高速プランジ作用構造体による衝撃を与えることによって行う。本発明の新規なマイクログリップ作用素子およびナノグリップ作用素子を製造する２つの製造方法も本発明の範囲内に含まれる。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ装置に組み込んだ微小マニピュレータ部をその場でエッチング加工することで、従来困難であった１μｍ以下の微小物のハンドリングの確実性を高めるとともに、マニピュレータの再利用により作業効率やメンテナンス性を向上する。
【解決手段】微小マニピュレータ部を位置および向きを変えることのできる移動機構で保持することにより、マニピュレーション作業前にマニピュレータ先端部をＦＩＢ加工するとともに、作業中のマニピュレータ先端の汚染や破損があった場合でも、加工により再度使用可能な形状に再生する。 （もっと読む）

【課題】支持基板の小型化が可能な圧電薄膜デバイス、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】矩形板状の単結晶基板からなる支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された可動部１０とを備え、可動部１０が、支持基板１の一表面側に立設され、支持基板１の厚み方向に直交する規定方向において離間した一対の短冊状の電極１２，１２と、支持基板１の一表面側に形成した圧電薄膜を用いて形成され、規定方向において一対の電極１２，１２間に介在する短冊状の圧電層１１とを有する。また、可動部１０は、一対の電極１２，１２および圧電層１１を覆う形で支持基板１の厚み方向に板状の変位量増大部１４が立設されている。一対の電極１２，１２間に電圧を印加していない状態で、発光デバイス（例えば、半導体レーザなど）からの光を阻止し、一対の電極１２，１２間に電圧を印加した状態で光を通過させることができる光スイッチを構成できる。 （もっと読む）

【課題】非接触型マニピュレーションを行うのに好適なマイクロマニピュレーションユニットおよびマイクロマニピュレーションシステムを提供する。
【解決手段】マイクロマニピュレーションユニット１０は、液浴１２の底面１２ａに多数のピエゾ素子エレメント１４が液浴１２の底面１２ａと底面上方との間を伸縮方向にして整列配置される。マニピュレーション対象物としての粒子１６を含む液体１８を液浴１２に注入し、特定のピエゾ素子エレメント１４に電圧を印加し、振動させる。これにより、振動する特定のピエゾ素子エレメント１４の上面あるいはその近傍に液体が移動することで液体に同伴する粒子１６が集合する。振動するピエゾ素子エレメント１４を順次移動させることで、集合した粒子１６を移動させることができ、所定の位置に移動させた粒子１６に対して、適宜の他のマイクロマニピュレーションを好適に施すことができる。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールやマイクロメートルオーダーの微小物体を非接触で運動制御する一手法として，光圧を用いることが知られている。しかし、従来では高ＮＡの光学系を用いており、装置の小型化が進まず、例えば光マイクロチップのような微小構造体中に用いることが困難であった。
【解決手段】端面を半球状に研磨した光ファイバから放射させた、集光度が低い３本のビーム（レーザ光線）で正三角形状の循環経路を構成する。ビームの集光が緩やかである場合、照射対象に対してビームの放射方向とビーム断面内の中心方向に光圧が作用する。この性質を利用することでレーザビーム網に沿って、マイクロメートルオーダーの微小物体を循環運動させることができる。 （もっと読む）

【課題】アームが物体に接触したことを感度良く検出することができるナノピンセットの提供。
【解決手段】ナノピンセットは、開閉自在な一対のアームと、開閉駆動電圧が印加され、一対のアームの少なくとも一方を開閉駆動する静電アクチュエータ６と、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振によりアームを振動させる増幅器９１と、アームの物体への接触による振動の変化を検出する振動変化検出部９３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ピンセットの基板への接触、試料の把持検出、試料の形状測定ができるピンセット付き走査型プローブ顕微鏡の提供。
【解決手段】ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡は、探針部が形成された第１のアームと、第１のアームに対して開閉自在に設けられた第２のアームと、開閉駆動電圧が印加され、第２のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータ６が有する電気的等価回路を帰還回路として用いることにより自励発振させ、その自励発振により第２のアームを振動させる増幅器９１と利得調整手段９５を有し、第２のアームの物体への接触による振動状態の変化を検出する振動状態検出部９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に載置された試料を確実且つ速やかに把持できると共に、把持が完了したか否かを高精度に検出すること。試料に応じて把持力を調整すると共に試料の脱離が完了したか否かを高精度に検出すること、
【解決手段】基板表面２ａ上に載置された試料Ｓをマニピュレーションする装置であって、試料Ｓを観察して少なくとも位置データ及び形状データを取得した後、両データに基づいて観察用プローブ１５と把持用プローブ１６との間に試料Ｓが位置するように移動手段５によりピンセット４を位置決めさせ、該位置決め後、変位測定手段７による測定結果をモニタしながら移動手段５によりピンセット４を基板表面２ａから一定距離離間した位置に高さ設定し、その後、設定した高さで変位測定手段７による測定結果をモニタしながら把持用プローブ１６を観察用プローブ１５側に移動させて、把持開始点を検出しながら試料Ｓを把持させる試料操作装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 粒子を操作するための光トラップアレイを生成し、制御する。
【解決手段】 本発明は、レーザ光をビームレットに回折することと、（レーザ光に関して仮想のレンズとして働いて）ビームレットを収束させることとの両方が可能であり、それによって回折されたレーザビームをフォーカスレンズに転送するための複数の物理的なレンズの必要をなくす二重の機能を有する光学素子に関連する。本発明はまた、回折されないレーザ光から生じる反射・散乱の雑音の量を制限することによって、光トラップのモニタリングをより向上させることにも関連する。 （もっと読む）

本発明は、個別にアドレス可能であって電界電極（１１）の配列（１０）を有するマイクロ電子デバイスに関する。電極電界（１１）は、配列（１０）上で粒子（２）に対する誘電泳動力を発生させることができる。好ましい実施例で、電界電極（１１）は、選択的に、２つの位相反転されている電位（＋、−）のうち１つ、又は浮遊電位へ置かれ得る。様々なスペースを取らない回路が記載され、これら回路は最小の部品点数を有して電界電極（１１）の動作を実現する。
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広範囲のサイズのマイクロ物品およびナノ物品を把持できかつ二軸の力の検出能力を備えているマイクログリッパの設計およびマイクロファブリケーション法を提供する。グリッピング運動は、１つ以上の電熱アクチュエータにより引起こされる。ｘ方向およびｙ方向に沿う集積形の力センサは、グリップ力並びに法線方向に沿ってマイクログリッパアームの端部に加えられる力を測定でき、両方ともナノニュートンより小さい分解能を有する。マイクロファブリケーション法は、アクチュエータおよび力センサのモノリシック集積を可能にする。 （もっと読む）

サブナノメートルの分解能およびミリニュートンの力のアウトプットの両方を達成できるＭＥＭＳベース形ナノマニピュレータが提供される。ナノマニピュレータまたはナノポジショナは、インプット変位を減少させかつインプット力を増幅するリニア増幅機構と、増幅機構を駆動して前後運動を生じさせるマイクロアクチュエータと、増幅機構のインプット変位を測定するポジションセンサとを有している。ポジショナセンサは、ナノマニピュレーション中に正確な閉ループ制御を可能にするポジションフィードバックを得る。 （もっと読む）

ベース体及びベース体と一体的に接続された把持体を含んでおり、この把持体が、ベース体から突き出ており、且つ自由端部領域では収容スリット（６）を、マイクロメートル又はサブマイクロメートルのスケールの対象物を収容スリット内に把持及び保持のために挟み得るように設けられたマイクログリッパ（８）の製造方法、並びに属概念のマイクログリッパを説明する。本発明は、ベース体及び把持体が、材料付着法によって少なくとも一つの共通の第１の材料層及び一つの共通の第２の材料層（３、４）を形成することで製造されること、並びに材料層が、基本的に平らに形成され、且つ平らな基体表面を準備する方法ステップと、基体表面上に第１の犠牲層（１３）を付着する方法ステップと、第１の犠牲層（１３）上に第１の材料層（３）を付着する方法ステップと、第１の材料層（３）上、少なくとも第１の材料層の一つの局所的な領域上に第２の犠牲層（１４）を付着する方法ステップと、第１の材料層（３）及び第２の犠牲層（１４）上に第２の材料層（４）を付着する方法ステップと、収容スリットを形成するため第２の犠牲層（１４）を除去する方法ステップと、製造されたマイクログリッパを基体表面からはずすために第１の犠牲層（１３）を除去する方法ステップと、を実施することで互いに接続されることを特徴とする。 （もっと読む）