【課題】 落下時の衝撃を有効に吸収する。
【解決手段】 半導体ウェーハ等の精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、精密基板収納容器の上部に配置される梱包用緩衝体２であって、この梱包用緩衝体２が、梱包時に精密基板収納容器の上面を覆う底部２１と、この底部２１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁２２と、この外周壁２２の上面および下面に設けられるベローズ２３と、底部２１から、外周壁２２の隆起方向とは反対側の方向に突出する複数の突出部２４とを備え、これら突出部２４は、複数の段部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を立てて収納できる基板積載用カセットを提供する。
【解決手段】下面に設置される支持部材と、上面に設置されるガイド部材と、後面に設置される固定部材とを備えて、ガラス基板を立てて収納する構成とした。これによれば、ガラス基板の変形を防止でき、且つ、ガラス基板にホコリが積もるのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】容器本体内の汚染防止を図ると共に、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化を図った基板収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体４を容器本体２に係合させる係合手段６を、容器本体２の外面に露出させる。これにより、係合手段６を蓋体４に内蔵する必要性がないので、蓋体４内に汚染物が溜まることがなく、汚染物が容器本体２内に侵入する虞がなくなる。このため、容器本体２内の汚染を防止することができる。また、係合手段６が外面に露出しているので、係合手段６の点検、補修、洗浄が容易となる。また、蓋体４に係合手段６を内蔵する必要がないので、係合手段６を収容する空間を設ける必要がなく、蓋体４の薄型化を図ることがきる。 （もっと読む）

【課題】薄板状素子をモジュールとする加工段階から薄板状素子の破損を防止することのできるトレーおよびその製造方法を提供するを提供する。
【解決手段】トレー１は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４を嵌合することのできる収納凹部３を設ける。トレーの製造方法は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４が嵌合される収納凹部３の形成予定領域を囲うようにハーフカットを施す工程と、ハーフカットにより囲まれた部位を圧縮することにより、薄板状素子４が嵌合される収納凹部３を形成する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 トレイを積層したトレイ積層部の所望の位置のトレイに板状物を載置する梱包動作、トレイ積層部の所望のトレイから板状物を取り出す開梱動作を行う、トレイ開梱梱包装置で、更なる狭ピッチ化に対応できるトレイ開梱梱包装置を提供する。
【解決手段】 トレイ積載部を載せるトレイ載置手段と、トレイ積載部の所望のトレイより上のトレイを、複数個づつまとめて保持し、且つ、全てを保持するトレイ保持手段と、トレイ保持手段が、所望のトレイより上のトレイを、全て、保持した状態で、所望のトレイより上のトレイを、鉛直方向、所望のトレイから相対的に離す、トレイ分離手段と、トレイに対して板状物の抜き取りもしくは収納を行う板状物搬送手段とを、備えている。 （もっと読む）

【課題】 複数の成形材料を性能の観点から適切に組み合わせることのできる多色成形体、多色成形法、及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 相互に材質の異なる第一、第二の成形材料を用意し、第一の成形材料からなる一対の第一の成形体１と第二の成形材料からなる第二の成形体３とを組み合わせて一体化する際、各第一の成形体１と第二の成形体３との境界６における周縁部を薄肉突片５に形成する。そして、薄肉突片５を、先端部に向かうに従い徐々に先細りの薄肉となる断面略直角三角形に形成し、先細りの傾斜角度θを５°〜４０°の範囲とするとともに、境界６を形成する傾斜面７の長さＬを０．４〜５．０ｍｍとする。第一、第二の成形体１・３の境界６における周縁部を薄肉突片５に形成して一体化すれば、適切かつ強固に組み合わせることができるので、接合の観点から組み合わせを再考する必要がない。 （もっと読む）

【課題】人手を煩わすことなく、被搬送物である表示基板を確実に固定できるようにした表示基板用搬送ケースを得る。
【解決手段】表示基板ＰＬの端部を保持する凹溝３内に、内部に容積可変の空気室を有するゴム弾性体からなり、加圧空気により膨出して表示基板ＰＬの端部を押圧し、脱圧により収縮して非押圧状態となるパネル押さえ部材１１を配置する。 （もっと読む）

【課題】 外枠２に対する桟３の取り付け部分の剛性を向上させることにより、被支持部２ｃに対して、ワーク載置面である桟上壁３ａを高い精度で所定高さに維持できるとともに、桟３の寸法誤差に関わらず、桟上壁３ａを高い精度で所定高さに取り付けることができる枚葉搬送用トレイ１を提供する。
【解決手段】 複数上下に積み重ねられる際に被支持部２ｃとなる外枠２と、前記外枠２の対向する部位間に掛け渡される複数の桟３とを備え、前記複数の桟３上にワークを載置して支持する枚葉搬送用トレイ１であって、前記桟３の桟上壁３ａを前記外枠２に対して固定するようにする。 （もっと読む）

【課題】搬送機の位置調整を高精度に短時間で実施することが可能な位置調整治具を提供する。
【解決手段】 搬送機により基板を収納する搬送容器を吊り下げて目的とする製造装置のロードポート上に移動し、搬送容器底部に設けられた結合溝がロードポート上のキネマティックピンと結合するように位置調整する際に用いる位置調整治具１であって、搬送容器上のトップフランジに対応して設けられた、搬送機により保持されるフランジ部１４と、フランジ部１４に接続された本体部１６と、搬送容器の底面に対応する面を裏面とし、本体部に接続され、キネマティックピンに対応する位置に設けられた貫通孔を有するベースプレート１０とを備える。貫通孔１２の直径は、キネマティックピンの直径より大きい。 （もっと読む）

【課題】基板出荷ボックスの仕様の間違い、及びインフォパッド等の識別手段の装着ミスを防止するため、出荷前に基板出荷ボックスの仕様を確認するための基板出荷ボックスの識別システムを提供する。
【解決手段】基板Ｗを収納して出荷するための基板出荷ボックス４が、該基板出荷ボックス４の仕様を識別するための識別手段５を有し、少なくとも基板出荷ボックス４及び／又は識別手段５の画像を取り込むための画像取込装置２と、基板出荷ボックス４の仕様を認識するための画像認識装置３を具備し、基板出荷ボックス４の包装前に前記認識データと基板出荷ボックス４の仕様データとを照合するものであることを特徴とする基板出荷ボックスの識別システム１。 （もっと読む）

【課題】成形品の塩素やオリゴマー成分が極めて少なくシリコンウエハーやハードディスク等の半導体関連部品搬送の際にも性能低下を起こさないクリーン性に優れた射出成形された半導体関連部品搬送ケースの提供。
【解決手段】ハロゲン、好ましくは塩素含量が１０重量ｐｐｍ以下、炭素数１〜３０のオリゴマー成分含有量が１０重量ｐｐｍ以下である、好ましくはメタロセン触媒で重合されたポリプロピレン系重合体を成形してなることを特徴とする半導体関連部品搬送ケース。 （もっと読む）

【課題】ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供する。
【解決手段】横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成し、容器本体６６の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニット６４を、容器本体６６における他端側の開口部に装備し、容器本体６６における出入り口を開閉する蓋６５を、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、容器本体６６の出入り口部に装備する。 （もっと読む）

【課題】 手動で開閉する場合にも部品や付属品等の紛失するおそれが少なく、搬送時の振動や衝撃等でもパーティクルが発生しにくく、しかも、洗浄後の乾燥作業に長時間を要することのない蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される蓋体１０とを備える。蓋体１０を、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される筐体と、筐体の表面に配設され、回転プレート１５の回転に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止爪を容器本体１の開口正面部２内周に係止させることにより筐体を施錠する施錠機構１４と、筐体の表面に装着されて施錠機構を覆うカバープレート２２と、カバープレート２２に形成されて回転プレート１５に部分的に対向する操作窓３０とから構成し、施錠機構１４の回転プレート１５の操作窓３０との対向部には、手動操作手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するものであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】 基板収納ケース１が、ケース本体２とケース蓋体３とからなり、ケース本体２の開口縁に、ケース蓋体３と嵌合する薄肉案内縁２２が形成されている。薄肉案内縁２２に負圧緩和手段１０が設けられ、ケース蓋体３の開口部内側に、ケース本体２と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段１１を設けられている。負圧緩和手段１０は通気口である。塵埃抑止手段１１はケース本体２と異なる硬度の材質により形成された硬質テープである。 （もっと読む）

【課題】基板の清浄度を維持することができ、且つ、設備費用を抑えることができる基板収納設備を提供する。
【解決手段】収納容器２のファンフィルタユニット６４を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器２の出入り口側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器２を収納部４に収納するように、収納容器２を入出庫部及び収納棚５における収納部４に搬送する収納容器搬送装置８の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 板状物を撓んだ状態で保持するトレイであって、板状物の一方の面、例えば機能部を設けた面を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管を簡単に、且つ、効率的にできるトレイを提供する。
【解決手段】 枠部と、該枠部の４辺に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを、備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の各辺に沿ったその上面を、いずれも、下側に湾曲させており、枠部の４辺に沿うように、前記板状物の４辺部に沿ってその端部を支持し、且つ、枠部の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を撓ませた状態で支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】寸法ばらつきに起因しシールガスケットが変形してシール性を損ねない基板収納容器。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口部に嵌合される蓋体１０と、容器本体１と蓋体１０との間に介在されるシールガスケット２０とを備え、容器本体１の開口内周縁に、シールガスケット２０と接触して変形させるシール形成面４を形成し、蓋体１０の周縁部にシールガスケット２０用の嵌合保持溝１４を形成する。シールガスケット２０を、蓋体１０の嵌合保持溝１４に嵌入される基体２１と、基体２１に形成され嵌合保持溝１４の内面に圧接する第一、第二の嵌合突起２３・２３Ａと、嵌合保持溝１４から突出し、容器本体１のシール形成面４に圧接するシール片２４とから形成し、嵌合保持溝１４の最奥面１５の直線部分の長さL1と嵌合保持溝１４の最奥面１５に接触するシールガスケット２０の内側面２２の直線部分の長さＬ２との関係をＬ１＞Ｌ２とする。 （もっと読む）

【課題】締め付けトルクの管理の必要性が無く、組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供すること。
【解決手段】逆止弁８は、後端側に装着されハウジング１１に対して相対回転可能とされると共に、ハウジング１１を後方から容器本体２に固定する固定リング１９を備えている。この固定リング１９を後方から押し込むことで、ハウジング１１を容易に固定することができる。このような固定リング１９を備えることで、従前のようなねじによる結合部分を無くす。これにより、締め付けトルクの管理を不要とし、組立作業の簡素化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスを簡単に行えると共に、収納幅を広範囲にわたって調整可能な収納幅可変式板材収納枠を提供する。
【解決手段】天板２０及び底板１０との間に直立配置された固定側板３０及び可動側板４０と、可動側板４０を移動させる移動機構５０を備え、移動機構５０は、可撓性を有し、その長手方向に沿って互いに間隔をおいて複数の歯が形成され、一端が可動側板４０に固定され、他端が自由端である可撓性ラック部材６３Ａ、６３Ｂ、７３Ａ、７３Ｂと、可撓性ラック部材６３Ａ、６３Ｂ、７３Ａ、７３Ｂに形成された各々の歯と噛合して回転する歯車６１Ａ、６１Ｂ、７１Ａ、７１Ｂを備え、可撓性ラック部材６３Ａ、６３Ｂ、７３Ａ、７３Ｂを歯車６１Ａ、６１Ｂ、７１Ａ、７１Ｂに噛合させて、可動側板４０を移動させる収納幅可変式板材収納枠１である。 （もっと読む）

【課題】被検出面の位置ずれを防止して、被検出面を確実に検知することが可能な基板収納容器及び識別部材を提供する。
【解決手段】センサによって検出される被検出面１３ａを有する被検出部を設けると共に、被検出部から外方に向かって異なる方向に延びる複数のアーム部１５，１６を形成させる。アーム部１５，１６には、被検出部から離間した位置で容器本体に固定される固定部１９，２０を設け、被検出部には、被検出面１３ａと反対方向に突出して容器本体に当接する受け部１７bを設ける。これらにより、安定した状態で被検出部を保持することができる。従って、被検出面１３ａの位置ずれを防止することが可能となるため、センサにより被検出面１３ａが確実に検知される。アーム部１５，１６の長さ、向きを変えることで、被検出面１３ａを任意の位置に配置させることができる。 （もっと読む）