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【課題】発塵、発熱を伴うことなく基板を高速で出し入れ可能なワイヤ式の基板カセットを提案すること。
【解決手段】同一平面上に平行に架け渡した複数本のワイヤ9によって基板収納棚10が形成され、当該基板収納棚10が多段に配列されている基板カセット1において、ワイヤ9には、当該ワイヤ9の軸線方向に沿って一定の間隔で、転がり軸受11が取り付けられている。転がり軸受11の内輪22はワイヤ9に固定され、外輪21によってガラス基板Wを載せる基板載置面が規定されている。ガラス基板Wの出し入れの際には、ガラス基板Wの移動に伴って外輪21が回転する。搬送に伴うガラス基板支持部分からの発塵、発熱が起きないので、ガラス基板Wを高速搬送でき作業効率を高めることができる。 (もっと読む)


【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部20と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部30とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物保持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する、振動抑制部材40が取り付けられている。 (もっと読む)


【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部(4)を備えるペリクル用枠体(2)であって、端部同士が接合されることにより開口部(4)の周縁を形成する複数の部材(41a、41b、41c、41d)を有する。接合される一方の部材(41a、41b)の端部には、接合される他方の部材(4c、4d)に向けて突出する少なくとも一つの凸部(P)を設け、他方の部材(4c、4d)の端部には、凸部(P)を嵌合させる凹部(C)を設け、凸部(P)を凹部(C)に嵌合させることにより一方の部材(41a、41b)の端部を他方の部材(4c、4d)の端部に接合させる。 (もっと読む)


【課題】粘着層の粘着力を調整し易い基板搬送用部材を提供すること。
【解決手段】搬送する基板16と接触(密着)する粘着層12と、粘着層12を固定する基材層14(以下、ベース14と称する)と、を備え、粘着層12を、粘着材と充填材とを含んで構成させる。 (もっと読む)


【課題】 複数のチップを収容し易い収容トレイを提供することである。
【解決手段】 分割予定ラインに沿って基板を分割して形成された複数のチップを収容するための収容トレイであって、該基板を収容可能な大きさの凹部からなるチップ収容部と、該チップ収容部を囲繞する側壁と、該チップ収容部内に配設された複数のチップが接着される接着面を有する粘着材と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】板状体の搬送容器として、板状体の側端部を容器本体の側壁に有する支持用溝に挿入して収納する際、下端部を底部上面の横方向の支持用溝に容易に嵌り込ませることができるようにする。
【解決手段】対向する両側壁12bの内面に支持用溝13を有する容器本体1と、側壁上端部に外嵌合する蓋体2と、底パッド4とを備え、容器本体1の縦方向の支持用溝13の下端から連続して底部11上面において内方に延びる横方向の補助溝13aを形成し、板状体Bの下端コーナー部を縦方向の支持用溝13から連続して補助溝13aにより支持するようにし、底部内方に有する支持用溝に対して確実に嵌り込ませることができるようにする。 (もっと読む)


【課題】
大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる大型精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】
本発明は、大型精密部材を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイ3とカバーとを備える大型精密部材収納容器1において、トレイ3およびカバーのうち、少なくともトレイ3を鋳造部材とし、当該鋳造部材の少なくとも大型精密部材を収納する空間を形成する面に導電性塗膜40を形成し、その導電性塗膜40の表面を、5μm以下の算術平均粗さ(Ra)で、かつ20μm以下の十点平均粗さ(Rz)とする大型精密部材収納容器1に関する。 (もっと読む)


【課題】FPC用材料を輸送、運搬する際に発生する横揺れ等による材料のゆるみや巻きずれを防止することのできるFPC用材料ロール包装体、及びFPC用材料ロールの包装方法を提供すること。
【解決手段】巻取り管と、
前記巻取り管に巻かれたFPC用材料と、
前記FPC用材料の外側に巻かれたラッピングフィルムと、を含むFPC用材料ロール包装体であって、
前記ラッピングフィルムが、前記FPC用材料の両端部において少なくとも2回以上巻かれていると共に、前記ラッピングフィルムの両端部が前記巻取り管の内径部に折り込まれて固定された、FPC用材料ロール包装体 (もっと読む)


【課題】薄く撓む基板も安全に支持でき、基板に衝撃等が伝播するのを防ぎ、製造の安定化やコストを削減できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの容器本体1と、容器本体1に装着される半導体ウェーハ用の支持体50とを備え、容器本体1の天板8と底板3に取付突起4を形成し、容器本体1の背面壁12側部を湾曲突部13に形成してその表面には嵌合突起を形成する。支持体50を、容器本体1の側壁22内面前方に対向する前部支柱51と、湾曲突部13に対向する後部支柱54と、前部支柱51と後部支柱54間に位置する中間支柱と、これらに架設される半導体ウェーハ用の支持片62とから構成し、前部支柱51に、取付突起4に干渉する位置決め干渉片52を形成し、後部支柱54に、嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成し、複数の支持片62間に空隙63を区画し、かつ各支持片62を前部支持片64と後部支持片65に分割する。 (もっと読む)


【課題】コンテナ体内の気体を短時間で効率良く置換することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハWを整列収納可能なコンテナ体1と、コンテナ体1の開口した正面2を開閉するドア体30と、コンテナ体1の両側壁9前部に配設され、コンテナ体1の正面2に嵌合されたドア体30を施錠する施錠手段40と、コンテナ体1内のガスと外部の不活性ガスとを置換する気体置換手段60とを備えた基板収納容器であり、気体置換手段60は、正面2にドア体30が嵌合されたコンテナ体1の外部から内部に不活性ガスを供給する給気パージバルブ61と、正面2にドア体30が嵌合されたコンテナ体1の内部から外部にガスを排気する排気パージバルブ65とを備え、給気パージバルブ61をドア体30に内蔵し、排気パージバルブ65をコンテナ体1の底板4後方に装着する。 (もっと読む)


【課題】中蓋被着時の支持用溝への嵌め込みが容易で、ガラス基板の上端部をずれを生じさせずに保持でき、ガラス基板の撓み変形や溝外れによる破損を防止できる、ガラス基板の搬送容器を提供する。
【解決手段】対向する両側壁12bに支持用溝13を有する容器本体1と、側壁上端部に外嵌合する蓋体2と、底パッド4と、天パッド5と、蓋体2内で天パッド5を保持する中蓋3とを備え、中蓋3は、支持用溝13を有さない両側壁12aに沿う側の両辺に側壁上端部に内嵌合する端部壁32aを有し、支持用溝13を有する側壁12bに沿う側の両辺で側方に開口し、天板下面の開口部32bの側の両辺端部を含む複数個所に被着時に支持用溝13と同列になる支持用溝35を有する凸状部34を備え、各凸状部間の凹部36に支持用溝35に嵌り込むガラス基板Bが当接する天パッド5を装設する。 (もっと読む)


【課題】基板の支持部との接触部を少なくできると共に、基板の撓みを小さくできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に設けられるフロントリテーナとを備え、前記容器本体の開口側から観た場合の左右内壁面に一対の支持部が対向配置されている基板収納容器である。前記一対の支持部は、それぞれ前記容器本体の前記開口側と奥側において、収納された前記基板の周辺と当接する接触部分を有し、平面的に観て前記基板の収納方向に対する、前記一対の支持部の開口側の前記接触部分と収納された前記基板の中心を結ぶ線の角度をθ1とした場合、次式(1)の関係を有する。
70°≧θ1>θ0+10° …… (1)
ここで、前記θ0は、前記θ1を小さくなる方向に変化させた際に、前記基板の開口側の周縁が重力の方向への撓みから前記方向と反対側に撓み始める角度とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて収納し搬送する搬送用容器として、容器本体の開口端部に対し嵌合され被着される蓋体の縦横両方向のずれ動きを抑制でき、段積み状態で輸送する際の揺動を抑え、安定性のよい段積み状態を保持できるようにする。
【解決手段】上方に開口する平面矩形の容器本体1と、容器本体1に対し被着自在な蓋体3とからなり、容器本体1の開口端部11に有する切欠段部13に対し蓋体3の周縁部31に有する嵌合壁部32を嵌合して被着する搬送用容器であり、容器本体1の四方各辺の切欠段部13と、蓋体3の四方各辺の嵌合壁部32の下端部とに、それぞれ蓋体被着状態において互いに嵌合する少なくとも1つの凹部28a,28bと凸部38a,38bを設け、この凹部と凸部の嵌合により蓋体の縦横両方向のずれ動きを抑制する。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板等の板状体を水平状態で重ねて収納する搬送用容器として、容器の振動や落下により容器本体の隅角部が撓むように変形しても、板状体の隅角部が容器本体に接触しないようにし、板状体の隅角部の保護を良好になすようにする。
【解決手段】上方に開口する平面矩形の容器本体1と、容器本体1に対し被着自在な蓋体3とからなる搬送用容器であり、容器本体1の底部14の上面14aの四隅部に、底部14上に収納される板状体Bの隅角部b1の当接を回避するための凹部17を設け、凹部17の底面17aを、その内縁から外縁に向かって漸次下方へ傾斜させておく。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて水平状態で収納する搬送用容器として、容器本体の側壁内面の収納及び取り出し操作用の切欠凹部の上端部が外方へ開放されている場合にも、蓋体被着状態においては良好な密封性を保有できるようにする。
【解決手段】容器本体1と蓋体3とからなり、容器本体1の側壁上端の開口端部11における凸状縁12の外側の切欠段部13に、蓋体3の周縁部31の嵌合壁部32を嵌合して被着する搬送用容器であり、容器本体1の少なくとも一方の相対向する側壁15a,15cの内面に、凸状縁12の部分から底部上面14aに至る収納及び取り出し操作用の切欠凹部18を設け、その上端部の凸状縁12の部分を切欠して外方へ開放し、蓋体3の嵌合壁部32の内側に切欠凹部18に嵌合しかつ上端部の外方への開放部分18aを閉塞する遮蔽壁33を設ける。 (もっと読む)


【課題】大型の太陽電池パネルであっても効果的に、かつ、低コストで梱包できる梱包構造を提供する。
【解決手段】一対の太陽電池パネル体2を端子箱9が対向するように積層梱包した梱包構造1であって、矩形状をし、太陽電池パネル体2が載置される底面部と、底面部の四辺にそれぞれ外側に向かって突出するように設けられた矩形状の短辺折曲部27および長辺折曲部29とを有する外側段ボール17と、一対の太陽電池パネル体2の間に介装される略矩形状をした仕切板19と、積層された太陽電池パネル体2の上部にアルミフレーム枠15よりも小さな範囲を覆うように載置される気泡緩衝材21と、を有し、短辺折曲部27および長辺折曲部29は、一対の太陽電池パネル体2の側面および上面の周縁部を覆うように折り曲げられ、四隅に短辺折曲部27および長辺折曲部29が重なった重複部が形成され、各重複部の間がバンド23によって締結されてなる。 (もっと読む)


【課題】 異物の侵入が無く、かつ、器具等を要さず、開封が容易な、製品包装袋による製品収納方法を提供する。
【解決手段】 製品収納袋の最奥部まで内容物を入れ、入れられた内容物の製品収納袋の開口側の端部位置と製品収納袋の開口部の距離の1/2の位置で一旦袋を折り曲げた後、更にその1/2の位置で袋を折り曲げ、その後内容物の端部に相当する位置で製品収納袋を折り返し、製品収納袋が開かないように折り返し部と収納物上の製品収納袋の外を粘着テープで留めることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板包装用ボックスを発泡性材質で構成することによる利点が得られると共に、有機物とその他異物の転写による基板の汚れ及び微細なスクラッチを防止でき、ボックスの再使用のための洗浄を簡便、かつ、完壁に行うことができる。
【解決手段】表示装置ガラス基板包装用ボックスは、ボックス本体10とスロットプレート20とを含んでいる。スロットプレート20は、ボックス本体10と分離構成された板状部材からなる。前記板状部材の両側高さ方向の隅部は、スロットプレート挿入溝12a〜12dに乗って上昇、下降し、ボックス本体10に着脱式で結合される。ボックス本体10は、発泡性樹脂材質で発泡形成され、スロットプレート20は、PET、非晶質PET(A−PET)又はPET−G樹脂で形成されている。 (もっと読む)


【課題】ボトムプレートをシェルに取り付けたとき、あるいは、ボトムプレートをシェルから取り外したときに、確実な稼働を達成でき、途中で止まることのないリテーナ機構を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】ボトムプレートと、ボトムプレートに載置され基板を並設配置させるカセットと、カセットを被ってボトムプレートに係合されるシェルと、シェルの内壁に取り付けられるリテーナ機構とを備えて構成される。リテーナ機構は、互いに傾斜面で当接して配置されたスライドパーツとリテーナとを備えて構成される。スライドパーツがボトムプレートから離れる方向へ移動でき、この際に、リテーナは前記傾斜面から力を受けカセットに近接する方向へ移動できるように構成されている。リテーナには、カセットに配置された各基板に接触し各基板を保持する基板保持部を備える。 (もっと読む)


【課題】曲げ剛性が高めることができる構造でありながら、軽量化を図ることができるとともにコストを低減することができるビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセットを提供する。
【解決手段】荷重を受けるビーム材B(ガラス基板支持ビーム1)を、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の一対の外側板材2,2、これら外側板材2,2の間に挿入されて長手方向に延び、平面視において蛇行する断面縦長の内側板材3,3、並びに、外側板材2,2と内側板材3,3とを連結固定する連結固定手段4により構成した。 (もっと読む)


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