【課題】回収費用や洗浄費用を削減して、磁気ディスク用基板の製造コストを低減することができる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】使い捨て可能な梱包材で、ＲＴＰ基板Ｗが収納されるケース本体２と、ケース本体２内においてＲＴＰ基板Ｗを位置決め状態で保持する保持部６とを形成し、保持部６は、シート材に施された折り目によって蛇腹状に形成され、ケース本体２の少なくとも一対の対向面において、ＲＴＰ基板Ｗの外周縁部を保持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置を特に必要とすることなく、簡単な構成によって、基板の収納空間に気流を生じさせ、内部をクリーンな状態に保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に取り付けられた搬送部材とを備える基板収納容器であって、前記基板収納容器の搬送時に、空気を前記基板収納容器内に取り込む吸い込み口と、前記吸い込み口から流入する空気をろ過するろ過手段と、前記基板収納容器内の空気を外部に排気する排気口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】使用環境に応じて，収納された基板に異物が付着することを効果的に防止する。
【解決手段】基板収納装置１００内に外気を取り込む給気部１１０と，給気部に対向して配置された排気部１２０と，給気部と排気部との間に設けられ，これらの間を連通する連通孔１４２を有する基板載置板１４０と，給気部に設けられた給気フィルタ１１２と，給気部又は排気部に設けられたファン１２２とを備え，基板収納装置１００内の状態を検出する状態センサと，パーティクル帯電装置と，温調装置とのいずれか又は２つ以上の組合せを装着孔１５０に着脱自在に設けた。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。 （もっと読む）

【課題】積重した基板収納用トレイ１０に適切な頻度で洗浄を施すために、適切な時点を外部から容易に判別できるパレットを提供する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット７０の側面部に測定部４０と情報出力部５０で構成される微小異物測定装置６０が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター５２は適切な時点であると表示する。 （もっと読む）

【課題】薄型化および大型化した家電テレビ、パソコンディスプレイ等の梱包作業を単純化させ、短時間で梱包・運搬・運送ができ、さらに繰り返し使用できる運送用エコバッグを提供する。
【解決手段】後胴１０および底面２０各々の内面に所定の衝撃緩衝材１１、２１を固着し、６枚のフラップ１２Ｆ、１３Ｆ、１３ＵＦ、１４Ｆ、１４ＵＦ、３２Ｆおよび複数の結束具にて、薄型化および大型化した家電テレビ等を梱包することにより、短時間で梱包・運搬・運送ができ、さらに繰り返し使用できる運送用エコバッグ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦエキシマレーザー光のような短波長のレーザー光を用いて長期間使用しても、フォトマスク上へのヘイズの析出を防止しうるリソグラフィ用ペリクルを提供する。また、そのリソグラフィ用ペリクルに張設するペリクル膜の製造方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ用ペリクル１は、枠状のペリクルフレーム４の一方の開口枠にリソグラフィ用のレーザー光を透過するペリクル膜２が張設されており、ペリクルフレーム４の他方の開口枠がフォトマスク１０に貼着可能なリソグラフィ用ペリクル１であって、ペリクル膜２が、異物粒子１６を通過不能でガス分子１５を通気可能な孔サイズで貫通する通気孔７を有しているものである。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板や容器に付着している汚染物質及び容器内に存在する汚染物質を取り除くことができるだけでなく、二次的に発生する汚染物質が基板や容器に付着することを抑制することができる可搬容器を提供する。
【解決手段】基板１の容器であって、容器内を区画するための隔壁５を備え、前記隔壁５には前記基板１を収納する区画Ｋ１とその他の区画とを連通する孔５ａ，５ｂが設けられており、前記その他の区画Ｋ２には前記基板１を収納する区画に存在する汚染物質を取り除くための除去手段６を備えた。 （もっと読む）

【課題】揮発性炭化水素等の少ないプロピレン系樹脂組成物を用い製造され、特に半導体およびその関連部品を収納した場合に、特に揮発性物質などによる内容物への汚染や汚染による不具合の発生などの影響のないプロピレン系樹脂製の射出成形半導体関連部品搬送ケースを提供する。
【解決手段】 プロピレン系重合体１００重量部に対し、フェノール系酸化防止剤が０．０３〜０．２重量部の範囲で配合された、揮発性成分含有量が１０重量ｐｐｍ以下のプロピレン系樹脂組成物を成形材料として使用して、その材料の射出成形後の揮発性成分含有量を１５重量ｐｐｍ以下とすることにより、ケース内に収納した半導体関連部品の揮発性物質による汚染の影響を少なくした半導体関連部品搬送ケース。 （もっと読む）

【課題】 ハンドル、ペリクル固定部材、補強材などの機能部品をペリクル収納容器に取り付けた際でも、容器内部を清浄に保つことができるペリクル収納容器を得ることを課題とする。
【解決手段】 ペリクルを載置するペリクル収納容器本体２０と、ペリクルを被覆すると共にペリクル収納容器本体２０と周縁部で嵌め合い係止する蓋体からなるペリクル収納容器において、樹脂製の容器本体２０あるいは蓋体に、取っ手、ペリクルの固定部材、補強材のいずれかからなる機能部品がネジ締結手段により取り付けられているとともに、容器本体２０あるいは蓋体の内側にオスネジ及びメスネジの表面が露出していないペリクル収納容器である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のような板状体のための合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックスにおいて、搬送用ボックスが大型化する場合であっても、蓋体の天面に形成した各横溝内に、容器本体に収容した各ガラス基板の上縁を確実に挿入できるようにし、それにより、搬送中に収容したガラス基板などの板状体同士が接触したりするのを確実に防止する。
【解決手段】一方の相対向する側壁に板状体の左右の側縁を挿入して支持するための複数の縦溝２０が一定ピッチで形成されている容器本体１０と、容器本体１０に収容した板状体の上縁を挿入して支持するための複数の横溝３６を天面部に一定ピッチで形成している蓋体３０とからなる合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックス１において、蓋体３０を、横溝３６に交差する方向で２分割された第１の蓋部材５０と第２の蓋部材６０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】強度を向上し、軽量化した板状体の収納容器を提供する。
【解決手段】本発明の収納容器１０は、台座１２の本体１４を軽量なアルミニウム合金の金属材２８によって構成し、本体１４の底部の外側枠部材１８を、アルミニウム合金よりもヤング率の高いステンレス鋼で構成する。台座１２において、外側枠部材１８のみをステンレス鋼とすることにより、重量物の積層体２０を収納する容器として十分な強度が得られる。外側枠部材１８のみがステンレス鋼であるので、台座の底面全体に鉄板が設けられた収納容器と比較して大幅な軽量化が図られる。 （もっと読む）

【課題】被収納物を収納時には被収納物を適切に保護することができるとともに、被収納物を未収納時にはよりコンパクトに保管することができる収納トレーを提供すること。
【解決手段】被収納物が収納される収納部と、前記収納部を取り囲むように設けられた壁部とを備え、前記収納部は、平坦部と、平坦部から垂直方向に突出してなる凸部であり、それぞれが壁部の一の内面と接するとともに、互いに離間して設けられた複数の仕切部と、隣り合う仕切部の間において、平坦部から仕切部よりも低く垂直方向に突出してなる凸部である複数の載置部とを備え、複数の仕切部の一の内面に垂直な方向の長さが、被収納物の長手方向における印刷部を除いた領域の長さよりも小さく、複数の載置部は、一の内面と離間するとともに、載置部の上に載置されたときに被収納物の重心位置が載置部の上に位置するように設けられる。 （もっと読む）

【課題】複数の板材を収納する板材収納枠において、板材の挿入が禁止される平行溝内への板材の挿入を確実に防止する。板材の挿入が許容される平行溝内への板材の挿入を高能率に行えるようにする。
【解決手段】対向に配置され、その内面に複数条の平行溝７がそれぞれ同一ピッチで形成された側板５，６を有し、一方の側板５に形成された平行溝７と、これと対向に配置される他方の側板６に形成された平行溝７とに板材Ｐの外周部を挿入することにより、これを保持する板材収納枠１Ａにおいて、側板５，６の端面に、板材Ｐの挿入が禁止される平行溝７を選択的に塞ぎ、板材Ｐの挿入が許容される平行溝７を開放状態とする収納位置規制部材６０Ａを、連結部材５０を介して着脱可能に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】 検査中に平滑性が悪化する恐れのない収納体を提供する。
【解決手段】本発明の収納体は、可視光の透過率が５０％以上であるカバー３３ａ、３３ｂを有しており、カバー３３ａ、３３ｂは、厚さ２ｍｍにおける可視光の透過率が５０％以上、７０％以下であるポリプロピレンで構成されている。 （もっと読む）

【課題】レチクルを保護する保護部材を設けた場合でも、レチクルを搬送して露光装置の取り付ける場合に、適当な位置に取り付け可能なレチクル搬送装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置２９はレチクル１の下面に形成された位置測定用マーク２６の位置を測定し、これによりレチクル１の位置を測定する。位置測定装置３０は、下蓋２ｂの下面に形成された位置測定用マーク２７の位置を測定し、これにより下蓋２ｂの位置を測定する。レチクル１の位置と下蓋２ｂの位置が分かれば、レチクル１と下蓋２ｂの相対的な位置ずれが分かる。よって、搬送装置によりレチクル１を搭載した下蓋２ｂを搬送して露光装置にセットするとき、このずれを勘案して下蓋２ｂの停止位置を決定することにより、レチクル１を正しく露光装置にセットできる。 （もっと読む）

【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板１１収納する基板カセットに用いられる基板整列治具２５であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体２を備え、前記カセット本体２内部には、基板１１を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部７が設けられており、前記基板整列治具２５は、前記カセット本体２の開放した下部に設けられ、基板１１を整列させて保持するための溝２３が設けられたコーム２４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）