【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート１上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体１０と、この容器本体１０の底部に形成されてロードポート１の複数の位置決めピン４上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具１４とを備え、容器本体１０の底部に、ロードポート１の位置決めピン４に位置決め芯出し具１４が適正に嵌合する場合にロードポート１のセンサ３に対向して検出される被検出領域５０と、この被検出領域５０の周囲に位置する非検出領域５１とを配設し、被検出領域５０の高さを非検出領域５１よりも相対的に高くしてロードポート１のセンサ３が被検出領域５０を誤検出するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】電子回路基板のコストアップを招くことなく、搬送時や収納時における塵の発生を防止して塵の付着を減少させることができる電子回路基板用の搬送箱を提供する。
【解決手段】電子回路基板１１を収納して搬送するための搬送箱１０の内側底面１５１に、電子回路基板１１の縁端面１１２に当接する突出部１７を設けたので、電子回路基板１１の縁端面１１２は突出部１７に接触して支持される。このため、搬送箱１０の内側底面１５１と接触する電子回路基板１１の縁端面１１２の面積が減少するので、電子回路基板１１のコストアップを招くことなく、接触によって縁端面１１２から発生する塵等を減少させることができ、電子回路基板１１に付着する塵等を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体に装着可能であり、基板支持部の寸法精度の向上を図り、基板支持部によって支持された基板の撓みを抑制することができる支持部材、及び支持部材を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の内面に設けられ基板を支持する支持部材５と、支持部材を容器本体に固定する支柱部材５１Ａ，５１Ｂとを有する基板収納容器であって、支持部材５は、基板を載置可能な複数の支持片６１を有し、支柱部材５１Ａ，５１Ｂは、支持片６１を所定間隔で挟持する複数の棚部５２を有し、支持片６１は、棚部５２間に嵌入されている。これにより、複数の支持片６１が支柱部材５１Ａ，５１Ｂとは、別部材として形成されているため、支持片６１の成形が容易となり寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 エンボスキャリアテープにおいて、カバーテープとのシール性を良好にする。
【解決手段】 基材シート又は基材フィルムと該基材シート又は基材フィルムの片面又は両面に設けられたポリチオフェンの導電性コート層と、該導電性コート層に設けられたトップコート層とを有し、該トップコート層がＭＭＡ（メタクリル酸メチル）モノマ−３５〜４５重量％とＢＭＡ（メタクリル酸ｎ−ブチル）モノマー５５〜６５重量％との共重合樹脂６０〜７０重量％と、分子量２０万以上のＩＢＭＡ（メタクリル酸ｉ−ブチル）樹脂３０〜４０重量％との混合樹脂層である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の輸送トレイにおいて、従来外枠として用いている金属フレームを省略することによって、低コストでかつ、薄型化と軽量化によって積層密度を向上させ、輸送費用を低減できる、緩衝材からなるガラス基板輸送用トレイを提供すること。
【解決手段】ガラス基板を収納して搬送するために用いられる輸送トレイであって、金属フレームによる補強をおこなわずに、機械的強度を有する構造部分が緩衝材のみで構成されていることを特徴とする緩衝材輸送トレイ。 （もっと読む）

【課題】ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供する。
【解決手段】梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、前記緩衝材は、前記ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、前記支持膜が貼張される枠体と、前記ペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構と、を有することを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態でも、トレイの各々にガラス基板２０が収納されているか否かを、トレイの外部から容易に判定できるガラス基板収納用トレイ３０を提供する。
【解決手段】基板サポート部３上にガラス基板２０が積載されているか否かの表示機構で、ａ）支持部２上のバネ６により上昇し、その上部が基板サポート部３上面より突出し、また、積載したガラス基板の重量により、その上部が基板サポート部３上面と同一面まで下降する昇降部材１３と、ｂ）フレーム部に設けた確認窓７とで構成される機構が設けられ、表示機構は、ａ）ガラス基板が積載されている時は確認窓に昇降部材側面１３Ｃを表示し、ｂ）ガラス基板が積載されてない時は該側面を表示しない。 （もっと読む）

【課題】主表面に傷を付けることなく、磁気ディスク用基板を効率良く搬送することができる磁気ディスク用基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板の搬送方法は、複数の磁気ディスク用基板を、紫外線硬化型樹脂を介して積層して積層体を形成し、前記積層体を把持する治具を前記積層体に取り付け、紫外線を照射して前記紫外線硬化型樹脂を硬化させて前記積層体及び前記治具を固定し、固定された前記積層体及び前記治具を搬送カセットに収納して搬送することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い範囲の除電ができる帯電防止電気機器搬送装置の提供。
【解決手段】電気機器搬送装置は、電気機器用の載置領域に望むように支持基体に設けられて、電気機器の側面に弾性的に接触して除電する除電ブラシ装置と、除電ブラシ装置を、電気機器を支持基体上に載置できる開放位置と、電気機器に弾性的に接触する接触位置とに選択的に弾性的に保持する保持装置と、電気機器を通過させ得る開口を有する搬送容器と、搬送容器上で開口に望んで配置され、開口を通過する電気機器の外周面に弾性的に接触して除電する除電ブラシ装置とを備えている。
【効果】電気機器での静電気放電を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を水平に積載し、積重する基板搬送用パレット１０であって、上蓋１１が軽量で安価なまた高密度で積重できる基板搬送用パレットを提供する。
【解決手段】ステージの底板１３Ｃは四隅に延長部１３Ｄを有し、裏面に連結用穴１５が、表面に連結部４５が設けられ、積重する際に積重用部材を筒状枠部２３内に装着し、パレットの裏面の連結用穴１５を、積重用部材４０の連結用突起４５に嵌合し、連結部と積重用部材とで基板搬送用パレット１０を保持する。ガラス基板を積載したパレットを積重する際に積重用部材を座台２２上に装着して積重用部材上部の高さを高くし、空のパレットを積重する際、積重用部材を延長部に装着して積重用部材上部の高さを低くする。 （もっと読む）

【課題】基板の破損や汚染のおそれを低減し、輸送効率を向上させ、基板を容易に出し入れすることのできる基板支持枠及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】ベース体１０に中空の基板支持枠３０を着脱自在に積層配置し、各基板支持枠３０には、半導体ウェーハＷを支持する複数の支持部３２を間隔をおき配設した基板収納容器で、各支持部３２を、基板支持枠３０からその中空方向に指向する指向段差片３５と、この指向段差片３５に形成されて半導体ウェーハＷを水平に支持する支持棚３６と、指向段差片３５を貫通した可撓性の抑え片４０を基板支持枠３０の中空方向に突出させ、かつ支持棚３６の下方に徐々に接近するよう傾けて位置させる基板抑え３８とから構成する。 （もっと読む）

【課題】板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルタ基板を傷、破損から守り、保管、輸送に有効な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体と、前記第１の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第２の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて収納する搬送用容器として、段積みの際の嵌合及び分離操作が容易で、かつ段積み状態の確認が容易であり、しかも収納したガラス基板等の板状体に段積み荷重をかける虞なく安全に段積できるようにする。
【解決手段】容器本体１と蓋体３とからなり、板状体を重ねた状態で収納して段積み可能な搬送用容器であり、蓋体３の上面周縁部に、段積み時に上段の容器本体１の底部下面１１ａの周縁部を受支する支持壁部３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄを設け、容器本体１の底部下面１１ａに、段積み時に下段の蓋体３の支持壁部に受支される周縁部を除く内方領域に、支持壁部の内側に嵌合する嵌合凸部１８を設け、嵌合状態で段積み可能に設けるとともに、支持壁部の一部に内方部から外側に連通する切欠部３５を設ける。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の開口内周縁にカム挿入口２０ｂが設けられ、蓋体３には蓋閉じ時に前記カム挿入口２０ｂに対向する側壁面に貫通孔３１が設けられ、貫通孔３１から出没する締め付け用カム５が設けられた精密基板収納容器１であって、締め付け用カム５のカム軸部４６（回転軸中心）の外側には、締め付け用カム５が貫通孔３１から出た際に、締め付け用カム５の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられたものである。また、リテーナ２３の載置面２３１に精密基板１０との接触面積を減らす凸部２３１ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】大型の、ガラス基板及び工程途中のガラス基板を一時的に収納、保管するための、ロボットによるランダムアクセス可能で、且つ、収納効率の高いバッファカセットを提供する。
【解決手段】後壁部材と両側壁部材の内側の多段の収納部のそれぞれが、両側壁部材に片側が拘持されて内側方向に相対向して張り出し、先端部が離間して配置された複数本の上部に所定の間隔で設けられた支持ピンを有する側壁側の支持フレームと、後壁部材に片側が拘持されて前記側壁側の支持フレームの離間部に張り出した複数本の上部に所定の間隔で設けられた支持ピンを有する後壁側の支持フレームとを有し、それぞれの前記支持フレームの先端部と前記側壁部材及び前記後壁部材のそれぞれの拘持部との間に金属ワイヤーが張架されていて、前記基板支持フレームの先端部が基板質量による下側への撓みに対抗する張力を受けながらガラス基板を担持する構造を有する。 （もっと読む）

【課題】がたつきなどを防止して摩擦による発塵を防止することができる精密基板収納容器と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】内部に精密基板５を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の底面に、精密基板５を保持するリアリテーナ４が設けられた精密基板収納容器１であって、容器本体２は、ポリカーボネート樹脂からなり、底面のリアリテーナ固定部から、複数の貫通孔を有する固定片が突設され、リアリテーナ４は、サーモプラスチックエラストマーからなり、この固定片を被覆し、貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に設けられたものである。リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底に支持溝４１０が設けられたものである。リテーナの載置面に、精密基板５との接触面積を減らす凸部２３１ａが設けられたものである。 （もっと読む）

【課題】平板状の被包装部材を、被包装部材の外形寸法に合わせて包装可能な包装部材を提供すること。
【解決手段】包装部材１は、被包装部材１００を積層する底部２１及び被包装部材１００の隣り合う側面と当接する第１壁部２２を有する基体１０と、基体１０を覆う蓋体１１と、基体１０及び蓋体１１に設けられ、被包装部材１００と離接する第１調整部材１２及び第２調整部材１３と、を備え、被包装部材１００と保護シート１５とを交互に積層させ、被包装部材１００を、第１壁部２２及び第１、第２調整部材１２，１３で狭持して固定し、固定部材１６で基体１０、蓋体１１、第１調整部材１２及び第２調整部材１３を固定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】液晶用ガラス基板その他の板状の物品を仕切り状態に支持して包装するための包装用支持枠として、起立した両側板を所定の起立状態に簡単かつ確実に保持できるようにする。
【解決手段】底板２と、底板２の両側にヒンジ部２ａを介して折曲起立可能に連設された側板３，３を有し、底板２及び両側板３，３には、それぞれヒンジ部延在方向に支持用凸部２２，３２により画された物品収納部２１，３１が並設された包装用支持枠において、底板２及び両側板３，３のヒンジ部延在方向の両端に、それぞれ折曲可能な連結片２６，３６を連設し、底板２の連結片２６と両側板３，３の連結片３６に、両側板３，３が起立させかつ各連結片２６，３６を折曲した状態において互いに係止可能な係止手段を設け、起立した両側板３，３を、連結片２６，３６同士の連結により起立状態に保持する。 （もっと読む）

【課題】精密デバイス用基板や、精密装置用部材を搬送、保管する際に、傷つき、塵埃付着や有機物汚染から表面を保護する目的で基板間に挟み込んで使用されるポリエチレン系樹脂製合紙を提供する。
【解決手段】ポリエチレン系樹脂製発泡シート(１)の片面又は両面にポリエチレン系樹脂製フィルム(２)が貼合されてなるポリエチレン系樹脂製合紙。 （もっと読む）

【課題】ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるようなペリクルフレームを提供すること、及び、このようなペリクルフレームを有するリソグラフィ用ペリクルを提供すること。
【解決手段】ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ²以下の四辺形の少なくとも一つの側辺に少なくとも一つの三角形状の窪みを有した形状であることを特徴とするペリクルフレーム、並びに、前記ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。 （もっと読む）