【課題】粘着層から物品を取り外すまで、排気装置の排気等により粘着層を連続して変形させる必要がない保持治具を提供する。
【解決手段】トレー１の表面に中空のフレーム１０を着脱自在に搭載し、フレーム１０の表面に、ＬＥＤデバイス６を保持する変形可能な可撓性の粘着層１１を粘着した保持治具であり、トレー１の表面からフレーム１０に包囲される複数の支持突起３を粘着層１１方向に突出させ、トレー１の厚さ方向に、複数の支持突起３間と外部の排気装置５を連通する排気孔４を穿孔する。粘着層１１を、ＬＥＤデバイス６を着脱自在に粘着保持する第一の粘着層１２と、第一の粘着層１２の裏面に貼着されて複数の支持突起３に着脱自在に粘着する第二の粘着層１３とから形成する。第二の粘着層１３が粘着層１１の変形状態を維持するので、複数のＬＥＤデバイス６全てを取り外すまで粘着層１１を排気装置５の排気により常時変形させておく必要がない。 （もっと読む）

【課題】ポリオレフィン系発泡体を用いたことによる好ましい特徴を有していることはもとより、ガラス基板のボックス本体からの突出部分が保護される上、ガラス基板を縦挿したボックス本体に蓋体をかぶせるときに溝外れを生ずることがなく、しかも、ボックスからのガラス基板の取り出し操作をアンパッカーを用いて自動的に行うことができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】相対向する内壁に溝（ｇ）が形成された構造を有するポリオレフィン系製のボックス本体（１）と、ガラス基板（Ｇ）のボックス本体（１）からの突出部分を保護する溝（ｇ）付きのサポート部材（３）と、ポリオレフィン系発泡体製の蓋体（２）と、これらのサポート部材（３）および蓋体（２）に相対応するように設けた雌雄の面ファスナ（４），（４）とからなるガラス基板搬送用ボックスである。 （もっと読む）

【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。
【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄くて大きい面積であり、重量が大きなガラス板の中央部における大きな撓みを確実に防止してガラス板を支承し、移送時または保管時において、ガラス板の破損、亀裂を生ぜず、歩留まりが良く、またトレイ自体の薄形化がはかれ、小型化、軽量化がはかれ、構造簡単であり、製作および組付けが容易な板状物品搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ガラス板１、または自重により撓み易い金属薄板よりなる板状の被搬送物品Ｇを移送、運搬し、積み重ね可能に設けられるトレイＴが、被搬送物品の周囲を囲むフレーム枠２と、複数本の線条部材３と、フレーム枠に線条部材の両端を固定してフレーム枠の内域に線条部材を張設する固定手段と、により構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留りの向上を図る。
【解決手段】トレイ７には、それぞれにウェハレベルＣＳＰ５を収容可能な複数のポケット７ａが設けられており、かつそれぞれのポケット７ａには、ウェハレベルＣＳＰ５の複数の半田バンプ３を支持する台座部７ｂと、台座部７ｂの周囲に形成された側壁７ｃとが設けられており、ウェハレベルＣＳＰ５の製造の後工程における工程間の搬送などで、このトレイ７のポケット７ａでウェハレベルＣＳＰ５を収容した際に、半導体チップの主面の有機膜を支持するのではなく複数の半田バンプ３を台座部７ｂによって支持することにより、前記有機膜に傷が形成されたり、前記有機膜が剥離して異物となって製品に付着したりすることを防止でき、その結果、製品であるウェハレベルＣＳＰ５（半導体装置）の歩留りや品質の向上を図る。 （もっと読む）

【課題】カセット内に収納後の基板の安定を確保する基板用カセットを提供するものであって、基板用カセットの棚片をカセット内側方向に長くした場合であっても、収納された基板が運搬中の振動や傾きによって、膜面側に隣接する棚片との接触により膜面の損傷を引き起こすことを防ぐ構造の基板用カセットを提供すること。
【解決手段】基板の４辺の内の向き合う２辺もしくは３辺を支持して、該基板を一定の間隔を保って積み上げ状態に一時収納するための基板用カセットであって、棚片と基板位置抑制用爪部を有しており、前記棚片は前記基板用カセットに設けた棚片付き側板の少なくとも内側に整列配置され、前記基板位置抑制用爪部は前記棚片付き側板とは平行に独立して設けた可動性の爪部取り付け支柱から基板用カセットの内側向きに整列配置される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を所定の載置位置に高精度に位置決めする事が可能なキャリア、およびこれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】位置決め手段３１は、略Ｌ字状の支持部材３２と、この支持部材３２を回動させる付勢部材３３とを備えている。支持部材３２は、例えば、全体が樹脂によって形成された略Ｌ字型の部材である。この支持部材３２は、回転軸３４によってキャリアフレーム１５に回動自在に軸着されている。また、支持部材３２は、ガラス基板１１の底辺１１ｂ、および側辺１１ｃにそれぞれ当接する。こうした、支持部材３２がガラス基板１１に当接する部分は、円周面を成す形状、例えば、半円形のロール部３２ａ、３２ｂを形成しているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】蓋部材の構成の簡素化を図ることができながら基板の移載が行い易い基板用収納容器を提供する。
【解決手段】一端部に基板出し入れ用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して上方側から装着自在で且つ上方側へ離脱自在に構成されて容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備え、蓋部材４２が、容器本体４１における一端部の上端部分に位置する係合部１１４に係合支持される被係合部１１５を備えて、容器本体に装着した状態において被係合部１１５を中心に容器本体４１と蓋部材４２との並び方向と交差する横幅方向に沿う横軸心周りに揺動自在で且つ容器本体４１側に付勢される状態で容器本体４１に装着する。 （もっと読む）

【課題】基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において容器本体４１から蓋部材４２を離脱させる蓋離脱手段１２２を設け、容器搬送手段１１１にて、収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２から基板移載位置に鉛直下方に下降移動させて搬送する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】基板の搬入出過程を含めて、カセットが占める占有領域の低減が図られたカセットを提案する。
【解決手段】基板収容ケースは、一方向に向けて複数のガラス基板を配列させた状態で収容可能とされ、ガラス基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、ケース本体に対して、ガラス基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、開口部の領域Ｒ１を開閉可能なスライド蓋１３１と、領域Ｒ１に対して、隣り合う領域Ｒ２を開閉可能なスライド蓋１３２とを備え、スライド蓋１３２は、領域Ｒ２を閉塞する状態から、領域Ｒ１を閉塞するスライド蓋１３１に重なるように移動可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】輸送中にガラス板積層体に含まれるガラス板と保護シートとの間に生じるズレを可及的に低減することにより、ガラス板に傷が生じるという事態を防止するとともに、輸送完了後のガラス板取出作業の作業効率を良好に保つ。
【解決手段】複数枚のガラス板６の各相互間に保護シート５を介在させて平積みしたガラス板積層体４を、パレット２の支持面３で下方から支持してなるガラス板梱包体１であって、パレット２に対して支持面３に沿う面方向に力が入力された場合に、ガラス板積層体４の最下層と支持面３との間の面方向の滑り量が、ガラス板６と保護シート５との間の面方向の滑り量よりも大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、特に真空成形を用いて製造した容器であっても、洗浄性を損なわずに剛性を向上させることのできる大型ペリクル収納容器及びその製造方法を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル１を収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、ペリクル１を収納する樹脂材料からなるトレイ２と、該トレイ２を被覆する樹脂材料からなる蓋３とからなり、該トレイ２または蓋３の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板４を取り付けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 フオトマスク等の基板を収納して、保管時および運搬時に、基板が損傷したり、ケースの内部発塵により汚染したりすることを防止し、取扱いが容易で、基板の出し入れ時に発塵することが抑えられ、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れた、安価な基板収納ケースを提供する。
【解決手段】 上蓋および下蓋の四隅に各々の蓋の内面より突出した支持部が設けられており、基板の四隅の下面側の各２つのエッジでもって前記下蓋の支持部に基板の位置決めと支持を同時に行ない、かつ上蓋を閉めることによって、前記上蓋の支持部により前記基板の四隅の上面側の各２つのエッジを固定して基板を収納するもので、前記ヒンジの位置がケースの厚みの中心より上に位置し、上蓋と下蓋を封止するためのロック部の位置がヒンジよりも下に位置する。 （もっと読む）

【課題】密着保持層に保持された物品の取り外しに支障を来たすことが少なく、密着保持層５の損傷を抑制することのできる保持治具を提供する。
【解決手段】支持基板１に凹み形成される区画空間２と、区画空間２に間隔をおいて配列される複数の支持突起４と、区画空間２を被覆して複数の支持突起４に支持される可撓性の密着保持層５と、区画空間２の空気を外部に排気して密着保持層５を凹凸に変形させる排気孔６とを備える。複数の支持突起４の隣接する３本の支持突起４に平面視で正三角形を描かせ、密着保持層５に微小な複数の電子部品１０を着脱自在に保持させる。隣接する支持突起４と支持突起４との距離が常時同等となるので、密着保持層５の伸びが均一化し、密着保持層５に保持された複数の電子部品１０の剥離に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】 突起物を規則的に配置した大型パネルを立設梱包するパネル梱包体であって、荷崩れに対する充分な耐性、特にパネル配列方向に関して、充分な耐性を示しかつ効率的に収納しうるようなパネル梱包体を提供すること。
【解決手段】 突起物を所定の間隔を開けて規則的に配置した平面視長方形状のパネルを立設状態で梱包するパネル梱包体であって、
当該パネル梱包体は、前記各立設パネルの長辺縁部を把持する各長辺把持部から構成される棒状の長辺アドと、前記各立設パネルの各短辺縁部を把持する各短辺把持部から構成される棒状の短辺アドとを備え、
これら把持部は、対向突起物に関し、一方の突起物が他方の突起物から干渉されないように、所定の位置に配置することを特徴とするパネル梱包体。 （もっと読む）

【課題】内部への樹脂由来のガスの放散を抑制できる半導体用ケースを提供する。
【解決手段】少なくとも内側面が樹脂で構成され、レチクルまたはウェハを収容するケース本体と、内側面を被覆すると共に、内側面から樹脂に含まれる気化物質が放散することを防止するダイヤモンドライクカーボン膜とを備えた。 （もっと読む）

【課題】位置決め作業等に支障を来たすのを抑制し、位置決め精度の低下を招くことが少なく、位置決め具の滑り性を向上させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１の底板２に、一対の位置決めピン５１に嵌挿される位置決め具８を複数取り付け、各位置決め具８を、一対の位置決めピン５１にそれぞれ嵌挿されて相互に対向する一対の位置決めブロック９とから構成する。各位置決めブロック９を対向面１１が開口した平面略正方形に形成するとともに、断面略Ｖ字形に凹み形成してその傾斜した内面１２を位置決めピンの上部に接触可能とし、一対の位置決めブロック９の開口した対向面１１同士を突き合わせて連通させる。位置決め具８を後付けするので、位置決め具８の肉厚を薄肉化でき、しかも、成形時の冷却不足で位置決め具８の表面に凹凸が生じたり、変形して位置決め作業等に支障を来たすのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納用の収納体５１に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部５２を上下方向に並設し、基板支持部５２を、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の支持用回転軸５３を、基板出し入れ方向に並設して構成し、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された連動用回転軸５４を、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって基板支持部５２における複数の支持用回転軸５３の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸５３の夫々と連動連結し、連動用回転軸５４における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体６５を設ける。 （もっと読む）

【課題】天板の撓みに伴う容器本体の変形を抑制し、シール性の悪化やパーティクルの発生を防ぐことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１と、容器本体１に取り付けられて工場の天井搬送機構に保持される搬送用のトップフランジ１９とを備え、容器本体１を、底板に半導体ウェーハの収納空間をおいて対向する天板１６と、底板と天板１６の後部間を上下に連結する背面壁２４と、底板と天板１６の両側部間を上下に連結する一対の側壁２６とから形成して正面部２８を開口させる。そして、容器本体１の天板１６と各側壁２６との撓みにくい稜線近傍部に、トップフランジ１９の取付部である複数の螺子ボス３Ｂ等を位置させる。 （もっと読む）