【課題】半導体ウエハを常に平坦な状態に保って、搬送中の衝撃等や繰り返しの状態変化による半導体ウエハの破損発生を防止することができ、しかも半導体ウエハを取り出す際には半導体ウエハを破損することなく安全かつ容易に取り出すことができるウエハ載置クッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置クッションシートの表面に、半導体ウエハＷを着脱自在に吸着する自己吸着部および半導体ウエハＷを吸着することなく分離した状態を保つ非吸着部を形成し、半導体ウエハの中心部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を大きくし、半導体ウエハの外周部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を小さくする。 （もっと読む）

【課題】板状収容物の損傷を防止する。
【解決手段】カセット本体２１には、収容される液晶パネル１０と幅方向について対向する支柱２６が設けられている。カセット本体２１には、側方からガイド部材２２が着脱可能に取り付けられるようになっており、ガイド部材２２の側板３１が収容される液晶パネル１０と幅方向について対向する。支柱２６及び側板３１の内側面２８，３２は、後端側に行くに連れて幅方向について外側に引っ込む勾配の傾斜面として形成されている。 （もっと読む）

【課題】工場の設置スペースを削減可能な薄膜太陽電池製造システムを提供する。
【解決手段】薄膜太陽電池製造システムは、第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２と複数の処理装置１〜１６−２とを具備する。第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２は、基板を傾けて保管する。複数の処理装置１〜１６−２は、薄膜太陽電池の製造工程で基板の処理に使用され、第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２との間の領域に、基板の搬出部及び搬入部のいずれか一方が第１共通基板保管ラック４０−１に面し、他方が第２共通基板保管ラック４０−２に面するように配置されている。第１共通基板保管ラック４０−１及び第２共通基板保管ラック４０−２は、複数の処理装置１〜１６−２に共用される。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性が高く、外観にも優れる帯電防止性シートを提供する。
【解決手段】ポリプロピレン系樹脂（Ａ１）、ポリエチレン系樹脂（Ａ２）及び充填剤（Ａ３）で構成された基材層（Ａ）の少なくとも一方の面に、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）、ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）及び高分子型帯電防止剤（Ｂ３）で構成された帯電防止層（Ｂ）を積層して、帯電防止性シートを得る。前記帯電防止層（Ｂ）において、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）とポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）との割合（重量比）は、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）／ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）＝５５／４５〜７０／３０程度である。この帯電防止性シートは、電子部品などの包装用成形品として適している。 （もっと読む）

【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体、電子材料やハードディスク等のクリーン性が要求される用途に供される二重包装袋を提供すること。
【解決手段】内袋がインフレーション法で製膜された後、扁平状に押し潰ぶされたチューブ状フィルム、外袋が易剥離層を最内面に持つ複層フィルムからなる二重構造の包装袋において、外袋の端部が開口部以外の一辺又は二辺においてある程度の間隔を空けて外袋同士のみで熱封緘され、且つ残りの辺は内袋と外袋を重ねて熱封緘されてなるクリーン包装用二重袋。 （もっと読む）

【課題】有機機能層を備えてなる基板をより安価な装置で保管できる方法、運搬方法および保管装置を提供する。
【解決手段】有機機能層を備えてなる基板を不活性液体中に保管することを特徴とし、好ましくは前記不活性液体が、（イ）化学的に不活性であり、有機機能層を構成する化合物と化学反応を起こさず、（ロ）常温にて液体であり、かつ（ハ）常温において５０００Ｐa以上の蒸気圧を持つ基板の保管方法。該保管方法を適用する運搬方法。有機機能層を備えてなる基板を収納可能でありかつ密閉可能なチャンバー１０１と、チャンバー１０１に収納された不活性液体１０２と、チャンバー１０１に不活性液体１０２を出し入れするための手段１０３，１０４とを具備する基板保管装置。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器に基板を保管中にイオンや塩化メチレンのような発生ガスによって基板が汚染される恐れがない基板収納容器とその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板収納容器の表面に、ドーパントを含む酸化重合剤溶液とモノマー溶液とを用いてドーパント存在下にモノマーを重合させた電子共役系ポリマー層が形成されており、前記基板収納容器の表面固有抵抗値が１×１０³〜９×１０⁸Ωの範囲であることを特徴とする。
また、前記基板収納容器を密封し、２３℃×２４時間放置したときに、基板収納容器の内部に発生する塩化メチレン量が、前記基板収納容器を放置した環境から発生する塩化メチレン量と同じかそれよりも少ないものであることが好ましい。
さらに、基板収納容器の全光線透過率を４０〜８０％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制できるようにしたマスクブランクの収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランク収納ケースである。ここで、蓋体６の上部から被せる固定部材８を、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部より下方の位置でケース本体５と係合させることにより、蓋体５とケース本体６とを固定する。 （もっと読む）

【課題】内外部を連通する連通部に水分が入り込まない基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体１と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体１の内部と外部とを連通する連通部３が少なくとも１ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部３には、フィルタ保持部材５が取り付けられていて、フィルタ保持部材５の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ６と第二のフィルタ７が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ６の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ７の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に傷を生じることなく良好で簡単に基板収納用ケースから基板を取り出すことができる基板取り出し治具を提供する。
【解決手段】開口部がある底部を有し、略同一の円板形状の基板を、前記底部から起立させて、前記基板の厚みの方向に規則的に配列して収納し、前記底部の反対側の上端が、前記基板を自由に出し入れ可能に開放されている基板収納用ケースから、前記基板を取り出す基板取り出し治具において、前記開口部から前記基板収納用ケースの内側に挿入される柱状部材を有し、前記柱状部材は、該柱状部材の先端面に前記基板の下部を受ける溝を備え、前記溝が前記基板の下部を受けた後から、前記柱状部材の挿入が完了するまでの、前記柱状部材が挿入される長さが、前記基板収納用ケースに収納されている前記基板の中心から、前記基板収納用ケースの前記上端を面内とする上端面までの距離より長い。 （もっと読む）

【課題】各種設備に付属のロードロック室を簡素化して、小型化が可能な、蓋体の開閉機構を備えた基板収納用容器を提供する。
【解決手段】一面を開口部８とした箱状の筐体１０と、この筐体１０にその一端を回動可能に支持され、前記開口部８の周縁部を覆って減圧吸着させる蓋体１２と、筐体１０の一面に固定され、前記蓋体１２を回動させる回動機構およびその駆動源とからなる駆動機構１３を備え、前記駆動源は圧力シリンダー１６からなり、この圧力シリンダー１６の内部と外部との圧力差で蓋体１２を回動させて、筐体１０の開口部８を開閉させる。 （もっと読む）

【課題】環境温度変化等によって両者間に寸法誤差が生じた場合でも、常時、安定した状態で支持プレートを容器本体の底部内面と蓋体の天板内面に形成した支持プレート用取付部内に嵌着できるようにした板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底部内面と蓋体３の天板内面に支持プレート５を嵌着するための支持プレート用取付部３２を形成する。支持プレート用取付部３２には、嵌着する支持プレート５の長手方向の両端を位置決めする端側壁３４と、両端側壁３４、３４間に支持プレート５の移動を拘束する２つ以上の拘束体４１、４２とを形成する。支持プレート５には、表面側に収容した板状体の下縁または上縁を挿入して支持する複数の横溝５１を、裏面側には前記各拘束体４１、４２に係合する凸部および凹部５５と、長手方向に直交する方向の１つ以上の切り欠き５３を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板を破壊させることなく収納できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体１０と、前記容器本体１０に対向する面の一部に前記容器本体１０内に突出する突出部２１ａを有し前記容器本体１０に係合する蓋部材２０と、前記容器本体１０内に収納され前記基板と略同一形状を有し前記基板よりも高い剛性を有する変形防止板３０とを具備し、前記変形防止板３０を介して前記蓋部材２０の前記突出部２１ａによって前記基板を押圧することで、前記基板を前記容器本体１０内に保持する。 （もっと読む）

【課題】例え基板が大型の場合でも、十分な剛性を確保できる基板保持具を提供する。
【解決手段】可撓性を有する屈曲可能な基材１と、この基材１に配列形成されて液晶ガラス基板１０に対向する複数のバー３と、各バー３の液晶ガラス基板１０に対向する対向面４に積層形成される粘着層５とを備え、液晶ガラス基板１０に各バー３の粘着層５を着脱自在に粘着する。複数のバー３が液晶ガラス基板１０に粘着層５を介し一体化して構造体を構成するとともに、各バー３が断面略矩形の板体としてＸ方向に伸長され、これらにより十分な剛性を得ることができるので、液晶ガラス基板１０が大型の場合でも、基材１自体の剛性を高めたり、重くする必要がない。 （もっと読む）

【課題】半導体チップや精密電子部品等を生産ラインの各ステージに連続的に供給する部品収納テープにおいて、エンボステープの厚みを増すことなく、ポケットが深い場合であっても、容易に変形しない剛性の高いポケットであって、外力から収納部品を保護する能力の高いポケットを有する部品収納テープを提供する。
【解決手段】エンボステープのポケットの底面に、上面が塞がれた円筒形補強突起を複数設ける。また、ポケットの側面を、その水平方向の断面が波形形状となる補強壁とする。
、ポケット幅方向の隆起壁を設ける。 （もっと読む）

【課題】リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】十分な耐電防止性を確保しつつ、コンタミネーションの発生を大幅に低減し得る電子部品用トレイを提供する。
【解決手段】磁気ヘッドアセンブリ２を搬送するための電子部品用トレイ１であって、直径が１５μｍ以下で、かつ繊維長と直径の比が１００以上１２０００以下の範囲内であるステンレス繊維を含有するポリカーボネート樹脂で成形されている。磁気ヘッドアセンブリ２は、電子部品用トレイ１に複数形成されたヘッド載置部２３に載置される。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の板状物をスペーサ上に積み重ねる作業及びそれらを積層させた状態から板状物を抜き取る作業を容易化して、作業能率の改善を図る。
【解決手段】複数枚のガラス板を水平姿勢で上下方向に積層させる際に上下に隣り合うガラス板の相互間に介在され、平面視で、ガラス板の外輪郭線よりもスペーサ１の外輪郭線が外方に位置しまたはその両線が内外方向で同一となる第１領域Ｂ１と、ガラス板の外輪郭線がスペーサの外輪郭線よりも外方に位置する第２領域Ｂ２とを有し、第２領域を左右両側にそれぞれ備えると共に、その左右両側では、ガラス板の左右方向における最外方部Ｇｅが、スペーサの左右方向における最外方部１Ｅよりも、外方側に位置するように構成される。 （もっと読む）

【課題】容器本体の背面側が突出しピンにより突き破られ、損傷することのない基板収納容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】三枚以下の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプで背の低い容器本体１が射出成形され、この射出成形された容器本体１の内部背面側に複数の突出しピン２が突き出されることにより容器本体１が金型から脱型される基板収納容器であって、容器本体１の背面壁と両側壁とにリブフランジ２０を一体成形し、背面壁のリブフランジ２０Ａを容器本体１の金型からの脱型時に複数の突出しピン２に外側から対向させる。金型の突出しピン２に容器本体１の背面壁のリブフランジ２０Ａが外側から対向して障害物となり、補強機能を発揮するので、突出しピン２が突き出されて大きな負荷が作用しても、容器本体１の背面側が突出しピン２により突き破られることがない。 （もっと読む）