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Fターム[3E096BB04]の内容

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Fターム[3E096BB04]に分類される特許

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【課題】基板の全面に対して均一な処理を行えるようにした基板保持具を提供すると共に、その基板保持具を製造するための製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状の金属プレート10をプレスすることにより、金属プレート10の長手方向(X方向)に複数の波形形状を所定ピッチで形成し、波形形状における山部11および谷部12を金属プレート10の幅方向(Y方向)に沿って弓状に湾曲させた形状の基板保持具4を製造する際、金属プレート10の長手方向に沿って所定ピッチで波形形状の谷部12を1つずつ順次プレス形成していくことにより、基板9を保持する谷部12の湾曲形状と、山部11の湾曲形状とを順次形成していく。 (もっと読む)


【課題】気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体1と、容器本体1の開口した正面7に嵌合される蓋体20と、容器本体1と蓋体20の間に介在される変形可能なシールガスケット30とを備え、容器本体1の正面内周にシールガスケット30用のシール形成面8を形成し、蓋体20の裏面周縁部にシールガスケット30用の取付溝25を形成する。また、シールガスケット30を、取付溝25に嵌入される基体31と、基体31から突出する延出片33と、延出片33の先端部から伸びてシール形成面8に圧接する第一のシール片35と、延出片33から突出する第二のシール片37とから形成し、第二のシール片37を延出片33に直交させてシール形成面8に隣接する隣接面9に接触させる。 (もっと読む)


【課題】基板の位置決め精度を向上させること無く、プロセスへの影響を低減できる基板トレイ、基板の載置構造及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板を載置して、複数の基板と共に搬送される基板トレイ20において、載置する基板の数に対応して、基板の外径より大きい貫通孔21を複数設け、貫通孔21に、当該貫通孔21の内側を横断する梁22を少なくとも2本設け、梁22の上であって、貫通孔21の内側に基板を各々載置する。 (もっと読む)


【課題】複数の支持片が配置された前面開閉一体型ポッド(FOUP)を提供する。
【解決手段】本FOUPの複数の支持片の位置は、該支持片がポッド内のウェハを水平に支持するよう対称になるように較正される。また、天井吊下式搬送パッド(OHTパッド)がFOUPとウェハとの重量を均一に分配するので、OHTヘッドによるFOUPとウェハの搬送を更に安定化でき、プロセスの要求を満たすようより多くの重量を装填できる。 (もっと読む)


【課題】基板を支持する支持部材の寸法精度を向上させることができ、例え基板が大きく重い場合にも、支持部材が撓んでしまうおそれを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体に、半導体ウェーハを支持する支持部材30を固定部材60を介して内蔵固定した基板収納容器であり、支持部材30を、容器本体の側壁に装着される取付壁31と、取付壁31の表面前部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁前方を水平に支持する複数の第一の支持片39と、取付壁31の表面後部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁後方を水平に支持する複数の第二の支持片45とから構成し、取付壁31、第一、第二の支持片39・45を別体とする。第一の支持片39を、取付壁31の表面前部に挿入支持される挿入部40と、挿入部40から容器本体の内方向に張り出す半導体ウェーハ用の支持張り出し部42とから構成する。 (もっと読む)


【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体11とカバープレートの間に介在され、回転操作リール31の回転で施錠爪41が出没する施錠機構30と、回転操作リール31の回転位置を制御する位置制御手段50とを備え、位置制御手段50を、回転操作リール31の回転に応じて揺動するリンク51と、回転操作リール31とリンク51に連結されるバネ55と、リンク51の接触溝52と接触する位置規制ピン57とから構成する。回転操作リール31が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク51を揺動させてその回転途中の回転操作リール31に対する向きを変化させ、回転操作リール31に作用する付勢力の方向を回転操作リール31の回転方向に変更する。 (もっと読む)


【課題】照明器具を外箱内に固定する構造と外箱の段積みを支持する構造とに無駄がない構造として、作業コスト及び材料コストの低減を達成することによって、包装部材の販売コストを低減することが可能となる照明器具用包装部材を提供する。
【解決手段】段ボールの平面部における四方の対角位置に上方へ折り曲げ自在に形成した立上片を設け、各立上片には、夫々の立上片の上端の内方を所定深さで下方へ切り込んで段ボールの平面部の内方へ折り曲げ自在に形成した折曲部と、各立上片の折曲部の両側に設けられた垂直支持部とが一体的に形成され、折り曲げた折曲部を段ボールの平面部に載置した照明器具の本体の外周上部に当て、該折り曲げた折曲部と、照明器具の本体又は照明器具の本体を収納する包装材とを接合材で接合するようにした。 (もっと読む)


【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体10と、蓋体10施錠用の施錠機構40を備え、施錠機構40を、蓋体10に支持されてカバープレート30側から操作される回転操作体41と、回転操作体41の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部65を接離させる施錠バー64とから構成し、回転操作体41を第一、第二の回転操作体42・42Aに分割し、第一、第二の回転操作体42・42Aに、カムを形成する第一、第二のカム部51・60を形成し、第一、第二のカム部51・60に、蓋体10の厚さ方向に揺動する施錠バー64の末端部を挟持させる。 (もっと読む)


【課題】ウェハ同士の貼り付きを防止し、移送中の揺れによるウェハへのダメージを軽減するウェハカセットを得ること。
【解決手段】対向する一対の側面1aの双方の内壁に、底面に対して傾きを有するように形成された複数の保持溝11を備え、複数の保持溝11の各々に、複数のウェハWの各々を傾いた状態で収容する。ウェハカセットは、保持溝11同士の間に設けられた複数のリブ1bを備え、複数のウェハWの各々を複数のリブ1bの各々にもたれ掛かった状態で保持する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置1は、被処理物であるウエーハ10、ウエーハ10を収納する密閉型容器のFOUP20、半導体処理装置であるエッチング装置30及びFOUP20とエッチング装置30との間を密閉状態でウエーハ10の搬送を行うEFEM40を有する。FOUP20は、前面扉20a、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部21及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置25を有する。受信装置31は、送信装置25からの情報を受信し、その情報をパージ部43に供給する。パージ部43は、FOUP20内の温度などが予め定められた基準値を満足するまでパージを行う。 (もっと読む)


【課題】より好適にウェーハを支持することによって、パーティクルの発生を効果的に防ぎ、ウェーハの更なる汚染防止を図ることができるウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】前側に開口3を有すると共に、円盤状のウェーハ2を支持する支持部材25を備える容器本体4と、開口3を塞ぐと共に、ウェーハ2を保持するリテーナ21を備える蓋体5と、からなるウェーハ収納容器1であって、ウェーハ2の外周部のうち、結晶方位に起因してエッジが形成される領域を非接触領域Aとして設定し、リテーナ21及び支持部材25は、非接触領域Aを避けた位置でウェーハ2と接触する。 (もっと読む)


【課題】レンズ基材を装着するときに、レンズ基材のレンズ光学面を傷つけるおそれのない作業性に優れたレンズ保持用ラックおよびレンズ製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ保持用ラック1は、レンズ基材をレンズ装着位置に位置規制する下方保持部材10、側方回動保持部材20および側方固定保持部材30と、側方回動保持部材を押圧可能な付勢部材22と、を有するレンズ保持ユニットを備える。側方回動保持部材20は、レンズ基材を保持しない状態では、付勢部材22から離間することによりその付勢力を受けることなく、自身の重量のバランスによりレンズ装着位置から外れた待機位置に退避し、レンズ基材を保持する状態では、付勢部材22に接触することによりその付勢力を受けてレンズ基材の外周部に接触する。 (もっと読む)


【課題】梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器及び基板収納容器用梱包体を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体4と、この容器本体4の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器1であって、容器本体4の上壁7、側壁9の外面に、この外面を覆い、且つ、容器本体4の外部と内部の間における熱伝導を抑制する断熱壁31、32、33を設けてなる。さらに、蓋体、背面壁8、ボトムプレート11を覆う断熱壁34、35、36を追加することで、合計6枚の断熱壁により、基板収納容器用梱包体を構成することもできる。 (もっと読む)


【課題】手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、ウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止する。
【解決手段】ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリア11が備える複数のスロット12の数に対応し、スロット12の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群20からなり、各ウェハ保護プレート21は、スロット12内に収納されるウェハ10の直径以下の幅を有しスロット12に差し込まれる挿入部22と、挿入部22の幅方向に延びてスロット12の開口面15に接する一対のストッパー部23とを有し、挿入部22が隣り合うウェハ10同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具1。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハを傷つけることなく、半導体ウェハの裏面に材料が堆積されることを抑制することができる半導体ウェハカバーを提供する。
【解決手段】半導体ウェハカバーは、第1のカバー部と、第2のカバー部とを備える。第1のカバー部は、半導体ウェハの表面を露出させつつ半導体ウェハの裏面の少なくとも外縁部を被覆するように半導体ウェハを収容し、半導体ウェハの裏面の中心部分において第1の開口部を有する。第2のカバー部は、第1の開口部に嵌合し、半導体ウェハの裏面の中心部分を被覆する。第1の開口部の径が半導体ウェハの搭載面から半導体ウェハの非搭載面に向かって小さくなるように該第1の開口部の内側面はテーパーを有する。 (もっと読む)


【課題】コンタクトレンズを収容して市場に提供する流通用パッケージ等として好適に用いられ得る、新規なコンタクトレンズパッケージを提供すること。
【解決手段】保持シート34の表面に平置状態でコンタクトレンズ18を載置し、該保持シート34を筒状に巻いてコンタクトレンズ18を巻き込むことで保持せしめた状態で、かかる保持シート34を、パッケージ14の収容領域内で保存液16内に浸漬させて収容した。 (もっと読む)


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